接着剂层形成用组合物、层叠体、接着剂层的制造方法、层叠体的制造方法及处理方法与流程

本发明关于接着剂层形成用组合物、层叠体、接着剂层的制造方法、层叠体的制造方法及层叠体的处理方法。

背景技术：

1、近年来随着数码机器等的高功能化而发展搭载的可挠性显示器及半导体芯片(chip)等的薄型化。但因薄型化而使强度降低的可挠性显示器及半导体芯片(chip)等难以用以往的自动搬运而运送。

2、因此探讨将薄型化的可挠性显示器及半导体芯片(chip)等安全且容易地运送的方法。例如探讨制作于玻璃基板等光透射性的支撑体上介由接着剂层固定可挠性显示器及半导体芯片(chip)等被黏体的层叠体，并连同该层叠体而运送上述可挠性显示器及半导体芯片(chip)等的方法。此时，上述接着剂层有使用照射光会变质或分解使接着力降低的组合物的情形。若使用上述接着剂层，则可在运送后从支撑体侧朝接着剂层照射光，据此可从支撑体分离(剥离)被黏体并例如转印至其它基板(激光剥离制程，以下仅称为“llo制程”)。

3、作为可进行llo制程的接着剂用组合物，专利文献1中记载将具有9,9’-二苯基芴(卡多，cardo)结构及不饱和基的硬化性树脂溶解于溶剂的组合物。专利文献1中记载将该组合物涂布于玻璃支撑体上并加热，所形成的接着层可通过照射具有308nm的波长的激光而从被黏体容易地剥离玻璃支撑体。另外，专利文献1中记载将具有苯并三唑结构的树脂溶解于溶剂而成的组合物涂布于玻璃支撑体上并加热，所形成的接着层可通过照射具有355nm的波长的激光而从被黏体容易地剥离玻璃支撑体。

4、另外，专利文献2中记载一种作为上述接着剂用组合物的感光性组合物，具有含有卡多(cardo)结构及不饱和基的硬化性树脂、光聚合性单体、及光吸收剂(炭黑)。专利文献2中记载该感光性组合物涂布于玻璃支撑体上并加热所形成的硬化膜对被黏体的接着性优异。

5、[现有技术文献]

6、[专利文献]

7、专利文献1：日本特开2012-106486号公报

8、专利文献2：日本特开2018-001604号公报。

技术实现思路

1、[发明所欲解决的课题]

2、以往，llo制程所使用的接着剂的开发以可通过能量较高且加工性优异的短波长激光(波长248nm及266nm等)剥离被黏体的组成为中心而探讨。但为了以这些波长的激光加工，需要使用短波长区域的透射性较高的石英玻璃或蓝宝石基板等高价材料所构成的支撑体。因此，以往的llo制程中有运行成本变高的问题。因此，为了可使用更便宜的透明玻璃而要求开发一种可通过更长波长的激光(例如355nm等)剥离被黏体的接着剂层。

3、另外，本发明人等发现，在通过接着剂组合物形成接着剂层之后，于接着之前在接着剂层中实施图案化，据此可仅于支撑体与被黏体的接着部分形成硬化性组合物所形成的接着剂层，可抑制分离支撑体与被黏体时被黏体的剥离不良或位移。

4、但以往已知的接着剂组合物在355nm中的透射率较高，难以通过照射激光而剥离被黏体或是图案化性不优选。例如专利文献1所记载的组合物由于具有苯并三唑结构的树脂而被期待提高335nm激光的吸收效率。但为了对专利文献1所记载的组合物赋予碱显影性而掺配碱可溶性树脂时，为了确保碱显影性而需要增加上述树脂的掺配量，而减少具有苯并三唑结构的树脂的相对量，因此无法提高355nm的激光的吸收效率。另一方面，若为了提高355nm的激光的吸收效率而增加上述树脂的掺配量，则碱可溶性树脂的掺配量会变少，图案化性并不良好。

5、本发明为有鉴于此点而研究，目的在于提供一种通过照射355nm的激光而容易剥离被黏体且接着前的图案化性良好的接着剂层形成用组合物、使用该接着剂层形成用组合物接着支撑体与被黏体所成的层叠体、该接着剂层及层叠体的制造方法、以及该层叠体的处理方法。

6、[用以解决课题的手段]

7、为了解决上述课题的本发明一态样关于下述[1]至[9]所述的接着剂层形成用组合物。

8、[1]一种接着剂层形成用组合物，用以形成接着剂层，该接着剂层为将支撑体与被黏体接着在一起且通过照射光而可分离前述支撑体与前述被黏体，该接着剂层形成用组合物含有：

9、(a)具有紫外线吸收基的含有不饱和基的碱可溶性树脂；

10、(b)不具有紫外线吸收基的含有不饱和基的聚合性化合物；及

11、(c)光聚合引发剂，

12、前述(a)成分的含量相对于固体分的总质量为10质量％以上。

13、[2]如[1]所述的接着剂层形成用组合物，其中前述(a)成分为重均分子量为1000以上100000以下的丙烯酸共聚物，且酸价为20至200mg koh/g。

14、[3]如[1]至[2]中任一项所述的接着剂层形成用组合物，其中前述(a)成分在波长355nm的摩尔吸光系数为3000以上。

15、[4]如[1]至[3]中任一项所述的接着剂层形成用组合物，其中前述(b)含有不饱和基的聚合性化合物含有(b1)不具有碱可溶性基的含有不饱和基的聚合性化合物。

16、[5]如[4]所述的接着剂层形成用组合物，其中前述(b1)成分含有经环氧烷改质或内酯改质的具有(甲基)丙烯酰基的化合物。

17、[6]如[1]至[5]中任一项所述的接着剂层形成用组合物，其中前述(b)含有不饱和基的聚合性化合物含有(b2)碱可溶性树脂，

18、前述(b2)成分为重均分子量为1000以上40000以下的树脂。

19、[7]如[6]所述的接着剂层形成用组合物，其中前述(b2)碱可溶性树脂为下述通式(b2-1)所示的树脂。

20、

21、(式(b2-1)中，ar独立地为碳数6以上14以下的芳香族烃基，构成ar的氢原子的一部分可经选自由碳数1以上10以下的烷基、碳数6以上10以下的芳基或芳基烷基、碳数3以上10以下的环烷基或环烷基烷基、碳数1以上5以下的烷氧基、及卤素基所成组中的取代基取代。r1独立地为碳数2以上4以下的亚烷基。l独立地为0以上3以下的数。g独立地为(甲基)丙烯酰基、或下述通式(b2-2)或下述通式(b2-3)所示的取代基。y为4价羧酸残基。z独立地为氢原子或下述通式(b2-4)所示的取代基，z的至少一个为下述通式(b2-4)所示的取代基。n是平均值为1以上20以下的数)

22、

23、(式(b2-2)及(b2-3)中，r2为氢原子或甲基，r3为碳数2以上10以下的亚烷基或烷基亚芳基，r4为碳数2以上20以下的饱和或不饱和的烃基，p为0以上10以下的数。＊表示键结部位)

24、

25、(式(b2-4)中，w为2价或3价羧酸残基，m为1或2的数。＊表示键结部位)

26、[8]如[1]至[7]中任一项所述的接着剂层形成用组合物，其含有肟酯系光聚合引发剂作为(c)光聚合引发剂。

27、[9]如[1]至[8]中任一项所述的接着剂层形成用组合物，其中前述紫外线吸收基为具有苯并三唑结构或三嗪结构的官能团。

28、为了解决上述课题的本发明的其它态样关于下述[10]的层叠体。

29、[10]一种层叠体，具有：

30、支撑体；

31、被黏体；及

32、配置于前述支撑体与前述被黏体之间的含有如[1]至[9]中任一项所述的接着剂层形成用组合物的硬化物的接着剂层。

33、为了解决上述课题的本发明的又一其它态样关于下述[11]的接着剂层的制造方法。

34、[11]一种接着剂层的制造方法，具有下列步骤：

35、于支撑体及被黏体的至少一表面赋予如[1]至[9]中任一项所述的接着剂层形成用组合物的步骤；

36、介由光罩将前述接着剂层进行曝光的步骤；及

37、将前述曝光的接着剂层进行显影的步骤。

38、为了解决上述课题的本发明的又一其它态样关于下述[12]的层叠体的制造方法。

39、[12]一种层叠体的制造方法，包括介由通过[11]所述的接着剂层的制造方法制造的接着剂层使前述支撑体与前述被黏体接着的步骤。

40、为了解决上述课题的本发明的又一其它态样关于下述[13]的接着剂层的处理方法。

41、[13]一种层叠体的处理方法，具有下列步骤：

42、准备如[10]所述的层叠体或以如[12]所述的制造方法制造的层叠体的步骤；及

43、于前述层叠体所具有之前述接着剂层照射光而将前述支撑体与前述被黏体进行分离的步骤。

44、[发明的功效]

45、根据本发明可提供通过照射355nm的激光而容易剥离被黏体且接着前的图案化性良好的接着剂层形成用组合物、使用该接着剂层形成用组合物将支撑体与被黏体接着而成的层叠体、该接着剂层及层叠体的制造方法、以及该层叠体的处理方法。