一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统的制作方法

本技术涉及空调，尤其涉及一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统。

背景技术：

1、目前，电子工业厂房洁净室的净化空调系统通常采用新风处理机组mau+风机过滤器机组ffu+干式冷却器dcc相结合的形式，净化空调系统的大量循环风由风机过滤器机组提供动力，在洁净室、下技术夹层、回风夹道、上技术夹层空间路径上循环流动。新风处理机组mau用于保证洁净室内的相对湿度和正压值，对室外新鲜空气经过滤、冷却或加热、加湿或除湿等多个功能段组合处理后，送入循环空气流动的路径上，有一种常见布置情况是将新风管道布置在回风夹道空间内，风管末端开口进行送风。电子工业厂房洁净室还存在服务于工艺制程需求的工艺排风系统，工艺排风系统的排风管道有些单独设置在洁净室之外的管道井内，有些则直接设置在洁净室的回风夹道内，空间管理根据管道数量进行排布。

2、电子工业厂房洁净室的新风处理机组mau用于保证洁净室内的相对湿度和正压值，在布置新风的送风口时，往往关注的重点是送风量和送风管道尺寸是否足够，对于送风管道和风口送风是否均匀在主观上并不太关注。另外，由于半导体工厂洁净室的工艺设备排风量很大，每平方米达90m3/h左右甚至更高，折合换气次数达到20次/h左右，为了保证洁净室正压，需要补充室外空气的新风量也大，因此工艺排风管道和新风管道数量需求多，尺寸大，同时洁净室内还有跨楼层使用的电缆、桥架、水管和其他风管等众多管线，这些管线都布置在回风夹道内，空间复杂，从客观上看新风管道往往也难以均匀布置。不过，正因为半导体工厂洁净室的单位面积工艺设备排风量大，新风如果送风不均匀，会造成房间温度难控制。经调查发现，现有半导体厂房新风管道通常采用不均匀布置、风口直接向下送风的形式，局部送风量很大。这种布置形式造成有布置新风管道的工艺生产区域局部位置温度偏低，洁净室内的用于控制温度的干式表冷器未发挥作用，管路上的阀门即使处于较低开度或甚至关闭状态，但该新风管及送风口对应的工艺区域温度仍处于偏低状态，为了能保证房间温度的控制精度，新风在送出到洁净室前就需要加热到较高温度。而未布置新风管道的发热大的工艺生产区域，没有新风的低温送风来消除工艺设备发热负荷，用于控制温度的干式表冷器开度都很大，有些大到超出了阀门本身的有效调节范围，阀门处于失调状态，区域温度无法进行有效控制，甚至需要提高该区域ffu的转速，加大送风量来解决，这既不节能，又降低了ffu内高效空气过滤器的使用寿命。经调研，现有半导体洁净厂房新风再热后平均温度达到了17℃～18℃，而部分区域在使用过程却还在不断增加用于制冷的干式表冷器，造成了能源上的极大浪费。此外，由于新风分布与工艺设备所在环境的温度控制区域没有形成很好的对应关系，在设备运行过程，就无法根据工艺设备发热特点，对新风量进行调节和重新分配，新风量过大的局部位置为了维持房间温度，需要对新风进行再加热，没有新风的位置又无法利用新风的低温送风特性来消除一部分室内发热量，整体能源利用效率较低。

3、因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员亟需研发一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，该系统可使新风送风均匀，且可根据工艺设备发热特性，对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配，达到提高房间温度控制精度和节能减排的目的。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、本实用新型的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，该系统包括：

4、洁净室；

5、与所述洁净室连通、并位于所述洁净室上方的上技术夹层；

6、与所述洁净室连通、并位于所述洁净室下方的下技术夹层；以及

7、位于所述洁净室侧面、并与所述上技术夹层和所述下技术夹层均连通的回风夹道；

8、所述洁净室内布置有多组工艺设备，所述工艺设备的侧面具有操作面；

9、部分所述工艺设备彼此靠近布置，且部分所述工艺设备间隔布置；

10、间隔布置的所述工艺设备的操作面相对设置，且间隔布置的所述工艺设备的操作面之间的空间为通道，该通道、以及对应的两台工艺设备和回风夹道之间形成为工艺bay温度控制区域；

11、该系统还包括：

12、位于所述回风夹道内的新风管道，且所述新风管道的数量和布置位置与所述工艺bay温度控制区域匹配；

13、所述通道内设置有至少一个温度控制传感器，以通过该温度控制传感器检测对应的区域的温度值。温度控制传感器也可以是温湿度一体的控制传感器

14、进一步的，所述洁净室和所述上技术夹层之间设置有风机过滤器机组，且所述上技术夹层、洁净室、下技术夹层和回风夹道通过所述风机过滤器机组连通、并通过所述风机过滤器机组形成空气的导流以形成空气循环回路。

15、进一步的，所述通道内设置有至少一个温度控制传感器，以通过该温度控制传感器检测对应的区域的温度值。。

16、进一步的，所述回风夹道内布置有：

17、所述新风管道；

18、工艺排风管道和其他管线；

19、新风管道在回风夹道内均匀布置；

20、每个所述工艺bay温度控制区域至少布置一根所述新风管道。

21、进一步的，所述新风管道与工艺排风管道及其他管线在平面上均错位布置；

22、新风管道的送风量留有一定余量；

23、所述新风管道具有送风口。

24、进一步的，所述新风管道的侧面和/或端部设置有所述送风口，且所述侧面可以是一个面或多个面。

25、进一步的，所述新风管道上设置有第一风阀，所述新风管道通过所述第一风阀调节风量；

26、所述送风口上设置有第二风阀，所述送风口通过所述第二风阀调节风量。

27、进一步的，所述第一风阀和所述第二风阀均可以为手动风阀、电动风阀或气动风阀。

28、在上述技术方案中，本实用新型提供的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，具有以下有益效果：

29、本实用新型的系统将洁净室的新风管道与工艺设备所在的工艺bay温度控制区域一一对应，均匀布置，新风管道上的送风口搭配气流组织可多面开口，送风管道和排风管道布置在同一回风夹道空间时，在平面上错位排列，使侧送风口能够容易扩散均匀到对应的温度控制区域。

30、本实用新型的系统应用于半导体厂房时，半导体厂房的特点是设计时提供的工艺设备布置及发热负荷与实际运行时的工艺设备存在有一定的偏差，所以设计时新风管道与送风口均留有一定的余量，待工艺设备安装及量产后，对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配，发热量大的控制区域增加新风量，发热量小的控制区域相应减少新风量，从而可有效利用新风的低温送风特性来消除一部分室内发热量，减少或消除新风的加热需求，达到有效利用能源，节能减排的目的。

技术特征：

1.一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，该系统包括：

2.根据权利要求1所述的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，所述洁净室(1)和所述上技术夹层(101)之间设置有风机过滤器机组(103)，且所述上技术夹层(101)、洁净室(1)、下技术夹层(102)和回风夹道(2)通过所述风机过滤器机组(103)连通、并通过所述风机过滤器机组(103)形成空气的导流以形成空气循环回路。

3.根据权利要求1所述的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，所述回风夹道(2)内布置有：

4.根据权利要求3所述的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，所述新风管道(201)与工艺排风管道(202)及其他管线(203)在平面上均错位布置；

5.根据权利要求4所述的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，所述新风管道(201)的侧面和/或端部设置有所述送风口(204)，且所述侧面可以是一个面或多个面。

6.根据权利要求4或5所述的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，所述新风管道(201)上设置有第一风阀(205)，所述新风管道(201)通过所述第一风阀(205)调节风量；

7.根据权利要求6所述的一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，其特征在于，所述第一风阀(205)和所述第二风阀(206)均可以为手动风阀、电动风阀或气动风阀。

技术总结本技术公开了一种洁净室新风管道布置及风量定点调节系统，包括洁净室、上技术夹层、下技术夹层；以及回风夹道；洁净室内布置有多组工艺设备，间隔布置的工艺设备的操作面相对设置，且间隔布置的工艺设备的操作面之间的空间为通道，该通道、以及对应的两台工艺设备和回风夹道之间形成为工艺bay温度控制区域；该系统还包括位于回风夹道内的新风管道，且新风管道的数量和布置位置与工艺bay温度控制区域匹配。本技术的系统可使新风送风均匀，且可根据工艺设备发热特性，对相应温度控制区域进行定点调节和风量重新平衡分配，达到提高房间温度控制精度和节能减排的目的。技术研发人员：王江标,秦学礼,肖红梅,阎冬,徐可,王威,李传琰,李拨受保护的技术使用者：世源科技工程有限公司技术研发日：20230927技术公布日：2024/7/9