一种片夹甩干机的制作方法

本技术属于晶片加工，更具体地说，是涉及一种片夹甩干机。

背景技术：

1、晶圆单片手动清洗时，用于夹持晶片的片夹用完后表面会附着少许水或药液，可用红外加热的方式烘干或用无尘布擦干，但是红外加热烘干，浪费大量能源的同时，会使得水或药液里的污染物附着在片夹上，从而污染后续晶片；而用无尘布擦干，浪费无尘布的同时，无尘布的少量粉尘会污染片夹，从而污染晶片。因此，亟需一种片夹甩干机来解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种片夹甩干机，来解决背景技术中存在的问题。

2、为实现上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案为：

3、一种片夹甩干机，包括：箱体，所述箱体内设置有隔板，所述隔板上部为工作腔，所述隔板下部为控制腔，所述工作腔内设置有电机安装座，所述电机安装座内安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有转盘，所述转盘上设置有限位柱，所述限位柱内卡接有片夹，所述控制腔内设置有plc控制器,所述plc控制器与伺服电机电连接。

4、优选的，所述箱体的前端设置有电机检修门，所述箱体的顶端设置有片夹取放门，所述箱体的后端设置有控制器检修门。

5、优选的，所述片夹取放门采用透明可视材料。

6、优选的，所述箱体的前端还设置有智能触控屏，所述智能触控屏与plc控制器电连接。

7、本实用新型提供的一种片夹甩干机，与现有技术相比具有以下优点：

8、本实用新型通过甩干的方式去除片夹表面的水和药液，相较传统烘干的方式，节省了能源，避免了药液附着在片夹上对后续晶片造成污染；同时，相较无纺布擦干的方式，节省了人力，避免了纤维附着在片夹上对后续晶片造成污染，并且降低了生产成本，提升了后续晶片的生产质量。

技术特征：

1.一种片夹甩干机，其特征在于，包括：箱体(1)，所述箱体(1)内设置有隔板(2)，所述隔板(2)上部为工作腔(3)，所述隔板(2)下部为控制腔(4)，所述工作腔(3)内设置有电机安装座(5)，所述电机安装座(5)内安装有伺服电机(6)，所述伺服电机(6)的输出端连接有转盘(7)，所述转盘(7)上设置有限位柱(8)，所述限位柱(8)内卡接有片夹(9)，所述控制腔(4)内设置有plc控制器,所述plc控制器与伺服电机(6)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种片夹甩干机，其特征在于，所述箱体(1)的前端设置有电机检修门(10)，所述箱体(1)的顶端设置有片夹取放门(11)，所述箱体(1)的后端设置有控制器检修门(12)。

3.根据权利要求2所述的一种片夹甩干机，其特征在于，所述片夹取放门(11)采用透明可视材料。

4.根据权利要求1所述的一种片夹甩干机，其特征在于，所述箱体(1)的前端还设置有智能触控屏(13)，所述智能触控屏(13)与plc控制器电连接。

技术总结本技术涉及一种片夹甩干机，属于晶片加工技术领域，包括：箱体，所述箱体内设置有隔板，所述隔板上部为工作腔，所述隔板下部为控制腔，所述工作腔内设置有电机安装座，所述电机安装座内安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有转盘，所述转盘上设置有限位柱，所述限位柱内卡接有片夹，所述控制腔内设置有PLC控制器,所述PLC控制器与伺服电机电连接。本技术通过甩干的方式去除片夹表面的水和药液，相较传统烘干的方式，节省了能源，避免了药液附着在片夹上对后续晶片造成污染；同时，相较无纺布擦干的方式，节省了人力，避免了纤维附着在片夹上对后续晶片造成污染，并且降低了生产成本，提升了后续晶片的生产质量。技术研发人员：洪庆福,贺友华,王文彬受保护的技术使用者：北京通美晶体技术股份有限公司技术研发日：20231030技术公布日：2024/7/11