一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置的制作方法

本技术涉及光伏组件生产设备领域，特别是涉及一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置。

背景技术：

1、在光伏电池生产过程中，扩散工序用于制备光伏电池的核心组件pn节，其通过氮气等惰性气体流经三氯氧磷源瓶将磷源携带进扩散炉，经扩散炉高温加热后使磷源还原为磷原子并与硅片结合构成pn节。随着光伏行业快速发展，硅片的尺寸越来越大，与之对应的扩散炉尺寸也越来越大，携带磷源的惰性气体在扩散炉内的分布均匀性直接影响电池片效率。

2、为提高气体分布均匀性，专利cn216624217u公开了一种反应气体可均匀扩散的历史扩散炉，通过增加出气孔的方式提高气体分布均匀性，但各个出气孔均设置于扩散炉一侧，输送气体时必然导致扩散炉内一侧气体多、另一侧气体少，未能充分解决气体均匀分布的问题。

3、有鉴于此，如何提供一种能够保证扩散炉内气体均匀分布的装置，是本领域人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，以解决现有技术存在的问题，可实现扩散炉内气体均匀分布。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：本实用新型提供一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，包括：

3、扩散炉，所述扩散炉包括内炉体、外炉体、进口炉盖和出口炉盖，所述内炉体和外炉体的两端均与所述进口炉盖、所述出口炉盖固定连接，所述内炉体和外炉体之间形成气流通道，所述内炉体贯穿内外表面均匀开设有多个进气孔；

4、进气管，所述进气管一端与三氯氧磷源瓶连通，另一端贯穿所述外炉体并与所述气流通道连通，所述三氯氧磷源瓶与氮气源连通；

5、出气管，所述出气管贯穿所述出口炉盖并与所述内炉体连通，所述出气管上设置有真空泵。

6、进一步的，所述进气管有多个，多个进气管的另一端沿所述外炉体的长度方向均匀间隔设置。

7、进一步的，所述进气管有两组，两组所述进气管相对于所述内炉体的轴线对称设置。

8、进一步的，还包括连接管，所述连接管与两组所述进气管的一端连接，所述三氯氧磷源瓶与所述连接管连通。

9、进一步的，所述内炉体对应所述进气管另一端设置有第一封闭区，所述内炉体在所述第一封闭区以外的区域均匀开设多个所述进气孔。

10、进一步的，所述进气管有三个，其中一个所述进气管对应所述外炉体的中部，其余两个所述进气管相对于所述外炉体的中部对称设置。

11、进一步的，所述内炉体靠近所述出口炉盖设置有第二封闭区，所述内炉体在所述第二封闭区以外的区域开设均匀开设多个所述进气孔。

12、进一步的，所述内炉体的管径为456mm。

13、本实用新型公开了以下技术效果：扩散炉设置内炉体和外炉体并在内炉体和外炉体之间形成气流通道，携带磷源的氮气通过气流通道和内炉体均匀开设的多个进气孔能够从内炉体的任一位置、任一方向进入扩散炉内，大大提高扩散炉内气体分布的均匀性，提高电池片效率和质量。

技术特征：

1.一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有多个，多个进气管(5)的另一端沿所述外炉体(2)的长度方向均匀间隔设置。

3.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有两组，两组所述进气管(5)相对于所述内炉体(1)的轴线对称设置。

4.根据权利要求3所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，还包括连接管(8)，所述连接管(8)与两组所述进气管(5)的一端连接，所述三氯氧磷源瓶(7)与所述连接管(8)连通。

5.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述内炉体(1)对应所述进气管(5)另一端设置有第一封闭区(102)，所述内炉体(1)在所述第一封闭区(102)以外的区域均匀开设多个所述进气孔(101)。

6.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有三个，其中一个所述进气管(5)对应所述外炉体(2)的中部，其余两个所述进气管(5)相对于所述外炉体(2)的中部对称设置。

7.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述内炉体(1)靠近所述出口炉盖(3)设置有第二封闭区(103)，所述内炉体(1)在所述第二封闭区(103)以外的区域开设均匀开设多个所述进气孔(101)。

8.根据权利要求1所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述内炉体(1)的管径为456mm。

技术总结本技术公开一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，属于光伏电池生产设备领域，包括：扩散炉，扩散炉包括内炉体、外炉体、进口炉盖和出口炉盖，内炉体和外炉体之间形成气流通道，内炉体贯穿内外表面均匀开设有多个进气孔；进气管，进气管一端与三氯氧磷源瓶连通，另一端贯穿外炉体并与气流通道连通，三氯氧磷源瓶与氮气源连通；出气管，出气管贯穿出口炉盖并与内炉体连通，出气管上设置有真空泵。扩散炉设置内炉体和外炉体并在内炉体和外炉体之间形成气流通道，携带磷源的氮气通过气流通道和内炉体均匀开设的多个进气孔能够从内炉体的任一位置、任一方向进入扩散炉内，大大提高扩散炉内气体分布的均匀性，提高电池片效率和质量。技术研发人员：任园园,汪振鲁受保护的技术使用者：一道新能源科技股份有限公司技术研发日：20231122技术公布日：2024/7/15