一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置的制作方法

本技术涉及实验室设备，具体涉及一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置。

背景技术：

1、微电子实验室对环境的温湿度、空气洁净度、震动性、噪音和电磁干扰等都有极高的要求，高精度芯片的光刻机需尽量减小环境和空气中细小颗粒物对光刻工艺的干扰，在实验室建立的位置、设计时要充分考虑各种环境影响因素，比如电子束光刻机，温度的波动性对芯片样品制作影响很大，需要在高精密稳定的恒温恒湿百级洁净的环境中(温度22℃±0.1℃、湿度±2％)才能降低芯片制成中对芯片样品质量的影响。

2、目前市面上已经建造的微纳电子实验室的百级实验室，大多数对空气层流的过程采用超高效ffu过滤模块，实现了对室内空气中颗粒污染物的百级要求，但是现有技术中，并没有对工艺产生质量影响的室外新风采取充分的处理措施，导致恒温恒湿环境的控制处于比较粗犷的水平，达不到波动度和稳定度的精密控制的要求。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提出了一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置，可以对进入实验室的室外新风进行处理，便于对微电子实验室内恒温恒湿环境的精密控制。

2、为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置，由第一外壳体、第二外壳体和第三外壳体拼接而成，其中，所述第一外壳体内沿气体流动方向依次设置有进风室、第一过滤室、预热室和第一表冷室，所述第一过滤室内安装有过滤器组件，所述预热室内安装有电热管，所述第一表冷室内安装有蒸发盘管，所述第二外壳体内沿气体流动方向依次设置有加湿室、第二表冷室和再热室，所述加湿室内安装有加湿器，所述第二表冷室内安装有蒸发盘管，所述再热室内安装有电热管，所述第三外壳体内沿气体流动方向依次设置有风机室、高效过滤室和出风室，所述风机室内安装有ec风机，所述高效过滤室内安装有高效过滤器。

3、在上述技术方案中，实际工作时，首先通过风机室内安装的ec风机产生抽吸力，使得室外空气依次经过第一外壳体内的进风室、第一过滤室、预热室、第一表冷室，第二外壳体内的加湿室、第二表冷室、再热室，第三外壳体内的风机室、高效过滤室、出风室，最后进入微电子实验室的室内。当室外空气经过第一过滤室时，通过安装在第一过滤室内的过滤器组件对室外空气中可能含有的大颗粒杂质、灰尘以及有污染的化学气体进行过滤，然后进入预热室，通过安装在预热室内的电热管对空气进行预热至设定的温度，然后再进入第一表冷室，通过安装在第一表冷室内的蒸发盘管对空气进行湿度的控制，然后进入加湿室对空气的湿度再次进行调控，加湿后的空气进入第二表冷室，通过安装在第二表冷室内的蒸发盘管再次进行精确的湿度控制，经过湿度精确控制的空气被输送至再热室进行温度的精确调节，然后通过风机室内的ec风机的引风，经过高效过滤室内高效过滤器的高效过滤后，经由出风室进入微电子实验室的室内，为微电子实验室提供温度和湿度稳定的新风，减少了新风的湿度和温度波动，便于对微电子实验室内恒温恒湿环境的精密控制。此外微电子实验室工作期间需保持稳定的压差，当微电子实验室室内排风量变化时，ec风机可以实时自动增大或减少转速，以对新风风量进行微调，实时保持微电子实验室室内正压稳定。

4、优选的，所述第一外壳体上位于进风室和第一过滤室之间安装有第一压差开关，所述风机室的进风口处安装有第二压差开关，所述风机室的出风口处与高效过滤室之间安装有第三压差开关。实际工作过程中，只有当风机室内安装的ec风机产生抽吸力后，达到第一压差开关、第二压差开关、第三压差开关启动的压差后，第一压差开关、第二压差开关、第三压差开关才会自动打开，若压差达不到第一压差开关、第二压差开关、第三压差开关启动的设定值，则第一压差开关、第二压差开关、第三压差开关会处于关闭状态，整个系统也处于关闭状态。

5、优选的，所述第一外壳体上位于第一表冷室处安装有与第一表冷室内蒸发盘管相连通的进水管和出水管，所述进水管和出水管上分别安装有第一电动调节水阀和第二电动调节水阀。实际工作时，可以通过控制第一电动调节水阀和第二电动调节水阀的开度，来控制对空气中水分的蒸发量，进而实现对空气湿度的精确控制。

6、优选的，所述第二外壳体上位于加湿室处安装有第一温湿度传感器和焓值传感器，所述第三外壳体上位于出风室处安装有第二温湿度传感器。实际工作时，可以通过第一温湿度传感器和焓值传感器精确采集加湿室内空气的湿度和焓值，以便为后续的控制提供参数。可以通过第二温湿度传感器精确采集出风室内空气的湿度，为后续的精确控制提供参数。

7、优选的，所述第一过滤室内安装的过滤器组件包括沿气体流动方向依次设置的初效过滤器、化学过滤模块和中效过滤器。实际工作时，可以通过初效过滤器和中效过滤器过滤去除空气含有的大颗粒杂质、灰尘等，通过设置的应用化学分子气相过滤技术的专项化学过滤模块经化学反应去除空气中可能含有的化学污染物nox、so2、h2s等。

8、本实用新型提供的一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置的有益效果在于：本微电子实验室的室外新风温湿度处理装置设计合理，操作方便，可以对进入实验室的室外新风进行处理，便于对微电子实验室内恒温恒湿环境的精密控制。实际工作时，首先通过风机室内安装的ec风机产生抽吸力，使得室外空气依次经过第一外壳体内的进风室、第一过滤室、预热室、第一表冷室，第二外壳体内的加湿室、第二表冷室、再热室，第三外壳体内的风机室、高效过滤室、出风室，最后进入微电子实验室的室内。当室外空气经过第一过滤室时，通过安装在第一过滤室内的过滤器组件对室外空气中可能含有的大颗粒杂质、灰尘以及有污染的化学气体进行过滤，然后进入预热室，通过安装在预热室内的电热管对空气进行预热至设定的温度，然后再进入第一表冷室，通过安装在第一表冷室内的蒸发盘管对空气进行湿度的控制，然后进入加湿室对空气的湿度再次进行调控，加湿后的空气进入第二表冷室，通过安装在第二表冷室内的蒸发盘管再次进行精确的湿度控制，经过湿度精确控制的空气被输送至再热室进行温度的精确调节，然后通过风机室内的ec风机的引风，经过高效过滤室内高效过滤器的高效过滤后，经由出风室进入微电子实验室的室内，为微电子实验室提供温度和湿度稳定的新风，减少了新风的湿度和温度波动，便于对微电子实验室内恒温恒湿环境的精密控制。

技术特征：

1.一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置，其特征在于由第一外壳体、第二外壳体和第三外壳体拼接而成，其中，所述第一外壳体内沿气体流动方向依次设置有进风室、第一过滤室、预热室和第一表冷室，所述第一过滤室内安装有过滤器组件，所述预热室内安装有电热管，所述第一表冷室内安装有蒸发盘管，所述第二外壳体内沿气体流动方向依次设置有加湿室、第二表冷室和再热室，所述加湿室内安装有加湿器，所述第二表冷室内安装有蒸发盘管，所述再热室内安装有电热管，所述第三外壳体内沿气体流动方向依次设置有风机室、高效过滤室和出风室，所述风机室内安装有ec风机，所述高效过滤室内安装有高效过滤器，所述第一过滤室内安装的过滤器组件包括沿气体流动方向依次设置的初效过滤器、化学过滤模块和中效过滤器，所述第二外壳体上位于加湿室处安装有第一温湿度传感器和焓值传感器，所述第三外壳体上位于出风室处安装有第二温湿度传感器。

2.如权利要求1所述的微电子实验室的室外新风温湿度处理装置，其特征在于：所述第一外壳体上位于进风室和第一过滤室之间安装有第一压差开关，所述风机室的进风口处安装有第二压差开关，所述风机室的出风口处与高效过滤室之间安装有第三压差开关。

3.如权利要求2所述的微电子实验室的室外新风温湿度处理装置，其特征在于：所述第一外壳体上位于第一表冷室处安装有与第一表冷室内蒸发盘管相连通的进水管和出水管，所述进水管和出水管上分别安装有第一电动调节水阀和第二电动调节水阀。

技术总结本技术提供了一种微电子实验室的室外新风温湿度处理装置，由第一外壳体、第二外壳体和第三外壳体拼接而成，其中，所述第一外壳体内沿气体流动方向依次设置有进风室、第一过滤室、预热室和第一表冷室，所述第二外壳体内沿气体流动方向依次设置有加湿室、第二表冷室和再热室，所述加湿室内安装有加湿器，所述第三外壳体内沿气体流动方向依次设置有风机室、高效过滤室和出风室，所述风机室内安装有EC风机，所述高效过滤室内安装有高效过滤器。本微电子实验室的室外新风温湿度处理装置设计合理，操作方便，可以对进入实验室的室外新风进行处理，便于对微电子实验室内恒温恒湿环境的精密控制。技术研发人员：邓财亮,唐汉湘,李正洪,蒋永昌,孙英健受保护的技术使用者：广州澳企实验室技术股份有限公司技术研发日：20230619技术公布日：2024/7/15