一种清灰助燃装置的制作方法

本技术涉及半导体过滤设备，尤其是涉及一种清灰助燃装置。

背景技术：

1、目前，在拉晶过程中融熔状态的超高温硅液和石英坩埚壁会发生反应产生大量的一氧化硅(sio)悬浮颗粒物，之后大量一氧化硅(sio)聚集成絮状物随着氩气从单晶炉进入到单晶硅除尘器中，经过除尘器过滤后形成一氧化硅(sio)粉尘，最终尘积在积尘腔中，待拉晶结束后由相关清理人员进行清理。

2、目前清理过程完全靠人工来完成，但一氧化硅(sio)粉尘化学性质活泼，在常温常压下就可与空气发生反应产生二氧化硅(sio2)，2sio+o2＝2sio2期间放出大量的光和热，如果反应不受控制，极易发生尘爆，造成人员及财产的损失。

3、常规过滤罐具备灰尘自然氧化功能，但因灰尘堆积较厚，进入的空气率先与表面一氧化硅(sio)反应产生稳定产物二氧化硅(sio2)，而稳定产物二氧化硅(sio2)又犹如一道屏障阻碍了空气与一氧化硅(sio)的进一步反应，致使人工再清灰时又有大量的一氧化硅(sio)粉尘复燃，放出大量热量，烘烤清灰人员及设备，极易发生危险。

4、然而，人工清灰时，通常采用用铁锄搂掏，吸灰管吸，笤帚扫，气枪吹等反复交替的清扫方式，极大的增加了劳动强度；同时，清扫时还会产生大量浮灰漂浮在空气中，极易被人员吸入，损害人身健康，也容易污染电气元件，影响电气元件的使用寿命。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种清灰助燃装置，其优点是能够实现全自动化安全除尘，解放了生产劳动力，同时，避免了人工清灰时灰尘氧化不充分而发生尘暴的风险和清灰时浮尘对人体及电路元件的损害，规范清灰标准，提高生产效益。

2、本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：一种清灰助燃装置，包括清灰助燃组件、驱动组件以及支撑组件；所述清灰助燃组件穿设于所述支撑组件的一端，所述清灰助燃组件与所述支撑组件连通，所述驱动组件的一端穿过所述支撑组件与所述清灰助燃组件连接；所述清灰助燃组件用于对积尘腔内的一氧化硅粉尘搅拌助燃以及对所述一氧化硅氧化后的二氧化硅粉尘吹扫清灰；所述驱动组件用于驱动所述清灰助燃组件转动。

3、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述清灰助燃组件包括第一转动单元、第二转动单元以及连接单元，所述第一转动单元与所述连接单元的顶端连接，所述连接单元的底端穿过所述支撑组件与所述驱动组件和所述第二转动单元连接，所述第一转动单元与所述第二转动单元均与所述连接单元连通；所述驱动组件驱动所述连接单元转动，所述连接单元同时带动所述第一转动单元与所述第二转动单元转动。

4、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述第一转动单元包括吹扫管、配重杆以及连接套管，所述吹扫管与所述配重杆分别设置于所述连接套管的相对两侧，所述吹扫管的一端与所述配重杆的一端均与所述连接套管螺纹连接。

5、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述第二转动单元包括吹管、第一扇叶以及与所述第一扇叶相对设置的第二扇叶，所述第一扇叶与所述第二扇叶相对设置于靠近所述连接单元的底端的外周壁，所述吹管设置于所述第一扇叶和/或所述第二扇叶的底端，所述吹管朝向所述连接单元的一端与所述连接单元的底端连通。

6、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述连接单元包括转轴、第一转轴套以及第二转轴套，所述转轴的顶端穿过所述第一转轴套插设于所述连接套管内，所述转轴的底端穿过所述第二转轴套与所述吹管的端部连接，所述第一扇叶与所述第二扇叶分别设置于靠近所述转轴的底端的相对两侧；靠近所述转轴的顶端的外周壁上开设有第一z型通道，所述第一z型通道贯通所述转轴的外周壁，所述第一z型通道的一端与所述吹扫管连通，所述第一z型通道的另一端与所述第一转轴套连通；靠近所述转轴的底端的外周壁上开设有第二z型通道，所述第二z型通道贯通所述转轴的外周壁，所述第二z型通道的一端与所述吹管连通，所述第二z型通道的另一端与所述第二转轴套连通。

7、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述驱动组件包括驱动单元与传动单元，所述驱动单元的一端穿过所述支撑组件与所述传动单元的一端连接，所述传动单元的另一端与所述清灰助燃组件连接；所述驱动单元通过所述传动单元驱动所述清灰助燃组件转动。

8、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述驱动单元包括驱动气缸、梯形套筒以及缸杆密封圈，所述驱动气缸安装于所述支撑组件上，所述驱动气缸的气缸杆依次穿过所述支撑组件与所述梯形套筒和所述传动单元连接；所述缸杆密封圈容置在所述梯形套管内、且套设于所述气缸杆上。

9、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述传动单元包括i型接头、y型接头、第一连杆、轴承座以及第二连杆，所述i型接头的一端与所述驱动气缸的气缸杆螺纹连接，所述i型接头的另一端与所述y型接头的一端铰接，所述y型接头的另一端与所述第一连接杆一端螺纹连接，所述第一连杆的另一端与所述轴承座的一端螺纹连接，所述轴承座的另一端与所述第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端套设于所述清灰助燃组件上；当所述气缸杆做伸缩运动时，所述气缸杆通过所述i型接头驱动所述y型接头摆动，所述y型接头通过所述第一连杆与所述轴承座带动所述第二连杆做定轴摆动，所述第二连杆带动所述清灰助燃组件转动。

10、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述第二连杆背离所述轴承座的一端开设有安装孔，所述安装孔内插设有中空六棱体，所述中空六棱体的内壁向内凹陷形成与所述清灰助燃组件上的传动键相适配的凹槽，所述传动键用于插设于所述凹槽内。

11、优选地，本实用新型实施例提供的清灰助燃装置，所述支撑组件包括底座、第一横管以及第二横管，所述底座上开设有第一通孔与第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔间隔设置，所述第一横管的一端与所述第一通孔连通，所述第一横管的另一端套设于所述清灰助燃组件上，所述第一横管与所述清灰助燃组件连通，所述第二横管的一端与所述第二通孔连通，所述第二横管的另一端套设于所述清灰助燃组件上，所述第二横管与所述清灰助燃组件连通；通过所述第一横管与所述第二横管向所述清灰助燃组件内通入气体，所述气体通过所述清灰助燃组件排出，以对所述一氧化硅氧化后的二氧化硅粉尘吹扫。

12、综上所述，本实用新型的有益技术效果为：本申请提供的清灰助燃装置，包括清灰助燃组件、驱动组件以及支撑组件；清灰助燃组件穿设于支撑组件的一端，清灰助燃组件与支撑组件连通，驱动组件的一端穿过支撑组件与清灰助燃组件连接；清灰助燃组件用于对积尘腔内的一氧化硅粉尘搅拌助燃以及对一氧化硅氧化后的二氧化硅粉尘吹扫清灰；驱动组件用于驱动清灰助燃组件转动；通过设置清灰助燃组件和驱动组件，由此，实现了全自动化安全除尘，解放了生产劳动力，同时，避免了人工清灰时灰尘氧化不充分而发生尘暴的风险和清灰时浮尘对人体及电路元件的损害，规范清灰标准，提高生产效益。

技术特征：

1.一种清灰助燃装置，其特征在于：包括清灰助燃组件、驱动组件以及支撑组件；

2.根据权利要求1所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述清灰助燃组件包括第一转动单元、第二转动单元以及连接单元，所述第一转动单元与所述连接单元的顶端连接，所述连接单元的底端穿过所述支撑组件与所述驱动组件和所述第二转动单元连接，所述第一转动单元与所述第二转动单元均与所述连接单元连通；

3.根据权利要求2所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述第一转动单元包括吹扫管、配重杆以及连接套管，所述吹扫管与所述配重杆分别设置于所述连接套管的相对两侧，所述吹扫管的一端与所述配重杆的一端均与所述连接套管螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述第二转动单元包括吹管、第一扇叶以及与所述第一扇叶相对设置的第二扇叶，所述第一扇叶与所述第二扇叶相对设置于靠近所述连接单元的底端的外周壁，所述吹管设置于所述第一扇叶和/或所述第二扇叶的底端，所述吹管朝向所述连接单元的一端与所述连接单元的底端连通。

5.根据权利要求4所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述连接单元包括转轴、第一转轴套以及第二转轴套，所述转轴的顶端穿过所述第一转轴套插设于所述连接套管内，所述转轴的底端穿过所述第二转轴套与所述吹管的端部连接，所述第一扇叶与所述第二扇叶分别设置于靠近所述转轴的底端的相对两侧；

6.根据权利要求1所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述驱动组件包括驱动单元与传动单元，所述驱动单元的一端穿过所述支撑组件与所述传动单元的一端连接，所述传动单元的另一端与所述清灰助燃组件连接；

7.根据权利要求6所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述驱动单元包括驱动气缸、梯形套筒以及缸杆密封圈，所述驱动气缸安装于所述支撑组件上，所述驱动气缸的气缸杆依次穿过所述支撑组件与所述梯形套筒和所述传动单元连接；

8.根据权利要求7所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述传动单元包括i型接头、y型接头、第一连杆、轴承座以及第二连杆，所述i型接头的一端与所述驱动气缸的气缸杆螺纹连接，所述i型接头的另一端与所述y型接头的一端铰接，所述y型接头的另一端与所述第一连杆一端螺纹连接，所述第一连杆的另一端与所述轴承座的一端螺纹连接，所述轴承座的另一端与所述第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端套设于所述清灰助燃组件上；

9.根据权利要求8所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述第二连杆背离所述轴承座的一端开设有安装孔，所述安装孔内插设有中空六棱体，所述中空六棱体的内壁向内凹陷形成与所述清灰助燃组件上的传动键相适配的凹槽，所述传动键用于插设于所述凹槽内。

10.根据权利要求1所述的清灰助燃装置，其特征在于：所述支撑组件包括底座、第一横管以及第二横管，所述底座上开设有第一通孔与第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔间隔设置，所述第一横管的一端与所述第一通孔连通，所述第一横管的另一端套设于所述清灰助燃组件上，所述第一横管与所述清灰助燃组件连通，所述第二横管的一端与所述第二通孔连通，所述第二横管的另一端套设于所述清灰助燃组件上，所述第二横管与所述清灰助燃组件连通；

技术总结本技术涉及一种清灰助燃装置，包括清灰助燃组件、驱动组件以及支撑组件；清灰助燃组件穿设于支撑组件的一端，清灰助燃组件与支撑组件连通，驱动组件的一端穿过支撑组件与清灰助燃组件连接；清灰助燃组件用于对积尘腔内的一氧化硅粉尘搅拌助燃以及对一氧化硅氧化后的二氧化硅粉尘吹扫清灰；驱动组件用于驱动清灰助燃组件转动；通过设置清灰助燃组件和驱动组件，由此，实现了全自动化安全除尘，解放了生产劳动力，同时，避免了人工清灰时灰尘氧化不充分而发生尘暴的风险和清灰时浮尘对人体及电路元件的损害，规范清灰标准，提高生产效益。技术研发人员：张承臣,李恒盛,赵威,戈锐,王涵,时姣,李勇受保护的技术使用者：沈阳隆基电磁科技股份有限公司技术研发日：20230814技术公布日：2024/4/7