一种半导体外延生产尾气处理器的制作方法

本技术涉及半导体生产，特别涉及一种半导体外延生产尾气处理器。

背景技术：

1、半导体生产时，会产生有害尾气，如果直接排放会污染大气，因此，需要对尾气进行处理。

2、尾气处理时，常使用燃烧法将尾气中的有害物燃烧处理掉，然后将燃烧后的气体和水蒸气排出，但是，燃烧的过程中，需要填充较多量的燃烧助剂，增加了处理成本，使用起来不够方便。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种半导体外延生产尾气处理器，通过设置的加压罩、电动推杆，能够将处理容器内的气体进行压缩，使助燃剂与尾气气体相互之间混合均匀，同时有助于尾气的燃烧，而且还节省了助燃剂的投放量，从而节省处理成本，使用起来方便。

2、本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：一种半导体外延生产尾气处理器，包括处理容器，所述处理容器的上部安装有点火装置、助燃剂容器，所述处理容器的左侧固定安装有抽风机，所述处理容器的左侧面固定连接有支撑架，所述抽风机的进风端固定连接有收集管道，所述抽风机的出风端与处理容器相连通，所述收集管道的端部固定连接有收集罩，所述收集管道从支撑架穿过，所述处理容器的右部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端穿过处理容器的右侧壁固定连接有加压罩，所述加压罩的左侧和上侧均为开口设置，所述处理容器的下部固定安装有排风机，所述排风机的进风端与处理容器相连通，所述排风机的出风端固定连接有排风管，所述处理容器的下部固定连接有支撑腿。通过设置的加压罩、电动推杆，能够将处理容器内的气体进行压缩，使助燃剂与尾气气体相互之间混合均匀，同时有助于尾气的燃烧，而且还节省了助燃剂的投放量，从而节省处理成本，使用起来方便。

3、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述加压罩与处理容器相互适配，所述加压罩的右部固定连接有限位杆。

4、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述限位杆从处理容器的右侧壁穿过，且相互之间为滑动连接，所述限位杆的数量有四个，且为轴对称设置。

5、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述处理容器的上内壁固定安装有燃烧头，所述点火装置与燃烧头相连接，所述助燃剂容器与点火装置相连接。

6、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述支撑腿的数量有四个，且为轴对称设置。

7、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述排风机与处理容器的连通口开设于处理容器的下侧壁上。

8、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述加压罩与处理容器内壁相互接触的部位均设置有密封条。

9、根据所述的一种半导体外延生产尾气处理器，所述加压罩由耐高温材质制成。

10、有益效果

11、与现有技术相比，本实用通过设置的加压罩、电动推杆，能够将处理容器内的气体进行压缩，使助燃剂与尾气气体相互之间混合均匀，同时有助于尾气的燃烧，而且还节省了助燃剂的投放量，从而节省处理成本，使用起来方便。

12、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种半导体外延生产尾气处理器，包括处理容器(107)，其特征在于，所述处理容器(107)的上部安装有点火装置(101)、助燃剂容器(102)，所述处理容器(107)的左侧固定安装有抽风机(106)，所述处理容器(107)的左侧面固定连接有支撑架(103)，所述抽风机(106)的进风端固定连接有收集管道(105)，所述抽风机(106)的出风端与处理容器(107)相连通，所述收集管道(105)的端部固定连接有收集罩(104)，所述收集管道(105)从支撑架(103)穿过，所述处理容器(107)的右部固定安装有电动推杆(201)，所述电动推杆(201)的输出端穿过处理容器(107)的右侧壁固定连接有加压罩(203)，所述加压罩(203)的左侧和上侧均为开口设置，所述处理容器(107)的下部固定安装有排风机(108)，所述排风机(108)的进风端与处理容器(107)相连通，所述排风机(108)的出风端固定连接有排风管(109)，所述处理容器(107)的下部固定连接有支撑腿(110)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述加压罩(203)与处理容器(107)相互适配，所述加压罩(203)的右部固定连接有限位杆(202)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述限位杆(202)从处理容器(107)的右侧壁穿过，且相互之间为滑动连接，所述限位杆(202)的数量有四个，且为轴对称设置。

4.根据权利要求3所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述处理容器(107)的上内壁固定安装有燃烧头(1011)，所述点火装置(101)与燃烧头(1011)相连接，所述助燃剂容器(102)与点火装置(101)相连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述支撑腿(110)的数量有四个，且为轴对称设置。

6.根据权利要求5所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述排风机(108)与处理容器(107)的连通口开设于处理容器(107)的下侧壁上。

7.根据权利要求6所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述加压罩(203)与处理容器(107)内壁相互接触的部位均设置有密封条。

8.根据权利要求7所述的一种半导体外延生产尾气处理器，其特征在于，所述加压罩(203)由耐高温材质制成。

技术总结本技术公开了一种半导体外延生产尾气处理器，涉及半导体生产技术领域，其包括：处理容器，所述处理容器的上部安装有点火装置、助燃剂容器，所述处理容器的左侧固定安装有抽风机，所述处理容器的左侧面固定连接有支撑架，所述抽风机的进风端固定连接有收集管道，所述抽风机的出风端与处理容器相连通，所述收集管道的端部固定连接有收集罩。通过设置的加压罩、电动推杆，能够将处理容器内的气体进行压缩，使助燃剂与尾气气体相互之间混合均匀，同时有助于尾气的燃烧，而且还节省了助燃剂的投放量，从而节省处理成本，使用起来方便。技术研发人员：张雷受保护的技术使用者：四川雅吉芯电子科技有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/5/16