一种废气处理装置的制作方法

本技术涉及一种废气处理装置。

背景技术：

1、高温炉内通入的气体(氢气)经过高温的真空环境下在硅片表面形成一层膜，当镀膜工艺结束后，剩余的氢气需要经过指定的管路排出，然后才能进行下一步开门动作。

2、这种操作方式存在的问题是：1、废气直接排放到指定位置，需要配有另外的存储装置，成本高；2、废气未经燃烧处理，可能导致管路堵塞；3、如果管路堵塞，势必造成泄漏，环保标准无法达标，无法满足客户的个性化需求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种废气处理装置。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种废气处理装置，包括：

4、壳体，所述的壳体具有容置空间，所述的壳体具有相对的第一侧、第二侧，所述的第一侧、第二侧上均开设有与所述的容置空间贯通的开孔，所述的壳体的第一侧与主炉体连接，并通过该侧开孔与所述的主炉体贯通；所述的壳体的第二侧的开孔处设置有挡板；

5、加热组件，所述的加热组件包括电阻丝、接线柱、加热控制单元，所述的电阻丝与所述的接线柱连接，所述的接线柱与所述的壳体连接，所述的接线柱一端位于所述的容置空间内，所述的接线柱另一端伸出所述的容置空间与所述的加热控制单元连接。

6、根据本实用新型的一些实施方面，所述的装置还包括用于定位所述的接线柱的第一定位件，所述的第一定位件包括两个第一紧固件，两个第一紧固件设置在所述的接线柱上，所述的电阻丝一端位于两个第一紧固件之间。

7、根据本实用新型的一些实施方面，两个所述的第一紧固件之间设置有连接片。

8、根据本实用新型的一些实施方面，所述的接线柱设置有多个，一所述的电阻丝的两端分别与相邻两个所述的接线柱连接。

9、根据本实用新型的一些实施方面，位于所述的壳体外的所述的接线柱另一端上设置有绝缘件、第二紧固件，所述的绝缘件较所述的第二紧固件靠近所述的壳体。

10、根据本实用新型的一些实施方面，所述的壳体包括第一部分、第二部分，所述的第一部分包括主板、与所述的主板垂直的环形侧板，所述的主板与所述的环形侧板连接并包围形成一个具有开口的容纳空间；所述的第二部分设置在所述的容纳空间内，所述的第二部分包括第一板、两个第二板，两个第二板分别与所述的第一板同一侧的两端连接，所述的第二板与所述的环形侧板连接，所述的第一板与所述的主板正相对，且所述的第一板与所述的主板上均开设有开孔。

11、根据本实用新型的一些实施方面，所述的第二板与所述的环形侧板上开设有相对应的安装孔，通过在所述的安装孔内安装紧固件将所述的第二板与所述的环形侧板连接。

12、根据本实用新型的一些实施方面，所述的壳体与主炉体可拆卸地连接，所述的壳体的第一侧的外侧壁上设置有用于与主炉体相配合的第一卡接件。

13、根据本实用新型的一些实施方面，所述的壳体的第二侧的外侧壁上设置有用于与所述的挡板相配合的第二卡接件，所述的第二卡接件设置有两个，两个所述的第二卡接件分别设置在所述的壳体第二侧开孔的上下两侧，所述的第二卡接件包括第一段、第二段，所述的第一段与所述的壳体固定连接，所述的第二段朝向所述的开孔并与所述的第二侧的外侧壁之间形成供所述的挡板穿过的间隙。

14、根据本实用新型的一些实施方面，所述的装置还包括第二定位件，所述的第二定位件设置在所述的接线柱另一端，所述的第二定位件包括两个第三紧固件，所述的加热控制单元通过电线与所述的接线柱连接，电线一端位于两个所述的第三紧固件之间。

15、由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

16、本实用新型提供的废气处理装置，当电阻丝加热，从主炉体流至电阻丝的氢气气体和氧气燃烧成水蒸汽，燃烧后产物为水蒸汽，无二次污染；装置设计简单、体积小、操作维护简单，成本低；相比较传统模式，可以省去额外的管路及存储机构，节约空间，降低成本。

技术特征：

1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的装置还包括用于定位所述的接线柱的第一定位件，所述的第一定位件包括两个第一紧固件，两个第一紧固件设置在所述的接线柱上，所述的电阻丝一端位于两个第一紧固件之间。

3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，两个所述的第一紧固件之间设置有连接片。

4.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的接线柱设置有多个，一所述的电阻丝的两端分别与相邻两个所述的接线柱连接。

5.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，位于所述的壳体外的所述的接线柱另一端上设置有绝缘件、第二紧固件，所述的绝缘件较所述的第二紧固件靠近所述的壳体。

6.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的壳体包括第一部分、第二部分，所述的第一部分包括主板、与所述的主板垂直的环形侧板，所述的主板与所述的环形侧板连接并包围形成一个具有开口的容纳空间；所述的第二部分设置在所述的容纳空间内，所述的第二部分包括第一板、两个第二板，两个第二板分别与所述的第一板同一侧的两端连接，所述的第二板与所述的环形侧板连接，所述的第一板与所述的主板正相对，且所述的第一板与所述的主板上均开设有开孔。

7.根据权利要求6所述的废气处理装置，其特征在于，所述的第二板与所述的环形侧板上开设有相对应的安装孔，通过在所述的安装孔内安装紧固件将所述的第二板与所述的环形侧板连接。

8.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的壳体与主炉体可拆卸地连接，所述的壳体的第一侧的外侧壁上设置有用于与主炉体相配合的第一卡接件。

9.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的壳体的第二侧的外侧壁上设置有用于与所述的挡板相配合的第二卡接件，所述的第二卡接件设置有两个，两个所述的第二卡接件分别设置在所述的壳体第二侧开孔的上下两侧，所述的第二卡接件包括第一段、第二段，所述的第一段与所述的壳体固定连接，所述的第二段朝向所述的开孔并与所述的第二侧的外侧壁之间形成供所述的挡板穿过的间隙。

10.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述的装置还包括第二定位件，所述的第二定位件设置在所述的接线柱另一端，所述的第二定位件包括两个第三紧固件，所述的加热控制单元通过电线与所述的接线柱连接，电线一端位于两个所述的第三紧固件之间。

技术总结本技术涉及一种废气处理装置，包括壳体和加热组件，壳体具有容置空间，壳体具有相对的第一侧、第二侧，第一侧、第二侧上均开设有与容置空间贯通的开孔，壳体的第一侧与主炉体连接，并通过该侧开孔与主炉体贯通；壳体的第二侧的开孔处设置有挡板；加热组件包括电阻丝、接线柱、加热控制单元，电阻丝与接线柱连接，接线柱与壳体连接，接线柱一端位于容置空间内，接线柱另一端伸出容置空间与加热控制单元连接。本技术提供的废气处理装置，装置设计简单、体积小、操作维护简单，成本低，相比较传统模式，可以省去额外的管路及存储机构，节约空间，降低成本。技术研发人员：陈瑞,任俊江,薇儿妮卡·夏丽叶,肖益波,云飞受保护的技术使用者：赛姆柯（苏州）智能科技有限公司技术研发日：20231103技术公布日：2024/5/16