一种用于硅片上料的传送装置的制作方法

本技术涉及特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置，特别涉及一种用于硅片上料的传送装置。

背景技术：

1、硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。其加工工艺包括前期的截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件。

2、硅片在进行上料时通常采用传送组件进行传输，因为传送组件可以保障在传输的过程中稳定且分布均匀，同时效率也相对较高，但是由于硅片在生产的过程中会出现不良品，在进行上料时还需避免将不良品传输至下一工位，但是现有结构中进行筛选时通常借用机械手将不良品从传输带上取下并存储，但是由于机械手的成本极高，导致整条生产线的制造成本有所上升，鉴于此，我们提出了一种用于硅片上料的传送装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于硅片上料的传送装置，能够解决机械手拿取不良品成本较高的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片上料的传送装置，包括第一传输组件与第二传输组件，所述第二传输组件设置在第一传输组件的上方，第一传输组件的上表面开设有通槽，第一传输组件的内壁固定连接有支撑板，第一传输组件的上表面设置有硅片放置盒，支撑板的下表面固定连接有驱动箱，驱动箱的内壁固定连接有电机，硅片放置盒的上表面开设有与其下表面相通的空槽，空槽的内部设置有转运结构。

3、优选的，所述转运结构包括放置盘，放置盘滑动连接在空槽的内部，放置盘的下表面设置有支撑杆，支撑杆的上端滑动贯穿进放置盘的内部，支撑杆的下端设置有运动轮。

4、优选的，所述运动轮的下表面与支撑板的上表面接触，支撑板的上表面设置有凸块，凸块的左右两侧表面均设置为倾斜状，电机的输出端延伸出驱动箱，电机的输出端固定连接有凸轮，凸块的下表面固定连接有滑动杆。

5、优选的，所述滑动杆的下端滑动贯穿出支撑板的下表面，第二传输组件的上表面同样开设有通槽，第二传输组件的上表面设置有转运块。

6、优选的，所述转运块的下表面固定连接有触发杆，支撑杆的外表面开设有限位槽，放置盘顶壁固定连接有弹簧，弹簧的下端固定连接有触发块，触发块的下表面滑动贯穿出放置盘的下表面。

7、优选的，所述触发块与触发杆相近的一侧表面均设置为倾斜状，放置盘的下表面开设有与其内部相通的通孔，放置盘的下表面开设有t形槽，t形槽的内部滑动连接有t形块。

8、优选的，所述t形块的下表面延伸出t形槽，t形块靠近支撑杆的一侧表面固定连接锁定环，锁定环与限位槽吻合，触发块的上端固定连接有线缆。

9、优选的，所述线缆的另一端与t形块远离锁定环的一侧表面固定连接，放置盘的下表面固定连接有复位板，复位板靠近t形块的一侧表面固定连接有第二弹簧，第二弹簧远离复位板的一端与t形块固定连接。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、（1）、该用于硅片上料的传送装置，正常运转时通过第一传输组件运输硅片放置盒，当检测到不良品时，通过电机带动转运结构运转，转运结构将硅片放置盒内部的硅片转运至第二传输组件上，同时第二传输组件的运输方向与第一传输组件相反，从而将不良品运回，通过上述结构，可以使得在进行硅片的上料时，可以自动将检测到的不良品进行转运，在一定程度上避免不良品进入后续工位进行加工的问题，同时也降低了使用机械手造成的成本过高的问题，在一定程度上降低了硅片生产的所需成本。

12、（2）、该用于硅片上料的传送装置，随后在第二传输组件的作用下，带动转运块移动，转运块同步带动触发杆运动，触发杆运动后与触发块接触，并接触两者之间的倾斜面将触发块挤压进放置盘的内部，并同步挤压弹簧，触发块移动后通过线缆拉动t形块运动，t形块运动挤压第二弹簧，同时在t形块运动时会同步带动锁定环运动，锁定环运动进而对支撑杆进行解锁，随后由触发杆提供支撑对放置盘进行运输，通过上述结构，可以使得在进行硅片的上料时，可以较为轻松便捷的对不良品进行捡出并运回，避免因后续工位加工不良品导致的浪费资源的问题。

技术特征：

1.一种用于硅片上料的传送装置，包括第一传输组件（1）与第二传输组件（2），其特征在于：所述第二传输组件（2）设置在第一传输组件（1）的上方，第一传输组件（1）的上表面开设有通槽（3），第一传输组件（1）的内壁固定连接有支撑板（4），第一传输组件（1）的上表面设置有硅片放置盒（5），支撑板（4）的下表面固定连接有驱动箱（6），驱动箱（6）的内壁固定连接有电机（7），硅片放置盒（5）的上表面开设有与其下表面相通的空槽，空槽的内部设置有转运结构。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述转运结构包括放置盘（9），放置盘（9）滑动连接在空槽的内部，放置盘（9）的下表面设置有支撑杆（10），支撑杆（10）的上端滑动贯穿进放置盘（9）的内部，支撑杆（10）的下端设置有运动轮（11）。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述运动轮（11）的下表面与支撑板（4）的上表面接触，支撑板（4）的上表面设置有凸块（12），凸块（12）的左右两侧表面均设置为倾斜状，电机（7）的输出端延伸出驱动箱（6），电机（7）的输出端固定连接有凸轮（13），凸块（12）的下表面固定连接有滑动杆（14）。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述滑动杆（14）的下端滑动贯穿出支撑板（4）的下表面，第二传输组件（2）的上表面同样开设有通槽（3），第二传输组件（2）的上表面设置有转运块（15）。

5.根据权利要求4所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述转运块（15）的下表面固定连接有触发杆（16），支撑杆（10）的外表面开设有限位槽（17），放置盘（9）顶壁固定连接有弹簧（18），弹簧（18）的下端固定连接有触发块（19），触发块（19）的下表面滑动贯穿出放置盘（9）的下表面。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述触发块（19）与触发杆（16）相近的一侧表面均设置为倾斜状，放置盘（9）的下表面开设有与其内部相通的通孔（21），放置盘（9）的下表面开设有t形槽（22），t形槽（22）的内部滑动连接有t形块（23）。

7.根据权利要求6所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述t形块（23）的下表面延伸出t形槽（22），t形块（23）靠近支撑杆（10）的一侧表面固定连接锁定环（24），锁定环（24）与限位槽（17）吻合，触发块（19）的上端固定连接有线缆（25）。

8.根据权利要求7所述的一种用于硅片上料的传送装置，其特征在于：所述线缆（25）的另一端与t形块（23）远离锁定环（24）的一侧表面固定连接，放置盘（9）的下表面固定连接有复位板（20），复位板（20）靠近t形块（23）的一侧表面固定连接有第二弹簧（8），第二弹簧（8）远离复位板（20）的一端与t形块（23）固定连接。

技术总结本技术公开了一种用于硅片上料的传送装置，涉及特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置技术领域。该用于硅片上料的传送装置，包括第一传输组件与第二传输组件，所述第二传输组件设置在第一传输组件的上方，第一传输组件的上表面开设有通槽，第一传输组件的内壁固定连接有支撑板，第一传输组件的上表面设置有硅片放置盒，支撑板的下表面固定连接有驱动箱，驱动箱的内壁固定连接有电机，可以使得在进行硅片的上料时，可以自动将检测到的不良品进行转运，在一定程度上避免不良品进入后续工位进行加工的问题，同时也降低了使用机械手造成的成本过高的问题，在一定程度上降低了硅片生产的所需成本。技术研发人员：张尔吾,颜建平,王健军,陆建军,熊文文,徐镇,李小兴受保护的技术使用者：新疆东方希望光伏科技有限公司技术研发日：20230830技术公布日：2024/6/20