清洗结构及清洗设备的制作方法

本技术涉及真空镀膜，特别是涉及一种清洗结构及清洗设备。

背景技术：

1、当前hjt电池制造行业均使用清洗、pecvd、pvd、丝网印刷四大工序。hjt太阳能电池采用pvd生产工艺，属于真空镀膜技术，现有pvd机台ito膜层采用高温工艺，pvd镀膜采用磁控溅射技术，物理气相沉积会无差别打在载板上，va机台在对硅片进行镀膜的同时，也会对载板进行镀膜。而随着产能的不断增加，载板上的ito膜层会越来越厚，当载板使用圈数到达一定程度时，载板上的ito薄膜会影响到电池片的效率。为了保证电池片的效率，目前电池片的制造工艺中需要对载板进行清洗，即当载板需要清洗时，将待清洗的载板移动至清洗腔体的传输层，再通过人工将载板主动搬运至清洗槽体内进行清洗，待清洗完成，再将载板人工搬运至传输层的指定位置。因此，目前载板的清洗方式极大耗费人力，且清洗效率低。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对目前载板的清洗方式极大耗费人力，且清洗效率低的问题，提供一种清洗结构及清洗设备。

2、其技术方案如下：

3、一方面，提供了一种清洗结构，包括：

4、传输装置，设置于清洗槽的上方，用于驱动载板移动至所述清洗槽的上方或从所述清洗槽的上方移出；及

5、转移装置，位于所述传输装置的一侧，并能够相对所述传输装置升降，以带动所述载板进出所述清洗槽、以及带动所述载板于所述转移装置与所述传输装置之间的转移。

6、下面进一步对技术方案进行说明：

7、在其中一个实施例中，所述传输装置包括第一传输机构、第二传输机构以及驱动机构，所述第一传输机构及所述第二传输机构均设置于所述清洗槽的上方并分别位于所述清洗槽的两侧，所述第一传输机构及所述第二传输机构用于配合驱动所述载板移动至所述清洗槽的上方或从所述清洗槽的上方移出；

8、所述驱动机构分别与所述第一传输机构及所述第二传输机构传动连接，使得所述第一传输机构及所述第二传输机构能够沿相互靠近或相互远离的方向往复移动，以与所述转移装置配合带动所述载板的转移。

9、在其中一个实施例中，所述转移装置包括支撑升降机构，所述支撑升降机构包括第一驱动组件及支撑件，所述支撑件位于所述第一传输机构与所述第二传输机构之间，所述第一驱动组件与所述支撑件传动连接，使得所述支撑件能够支撑所述载板并带动所述载板沿竖直方向往复升降。

10、在其中一个实施例中，所述第一传输机构及所述第二传输机构均包括导轨及第二驱动组件，所述第二驱动组件安装于所述导轨上，所述第二驱动组件用于与所述载板传动连接，使得所述载板能够沿所述导轨的延伸方向移动。

11、在其中一个实施例中，所述清洗结构还包括第一位置检测元件及控制器，所述第一位置检测元件用于检测所述载板相对于所述导轨的位置，所述控制器分别与所述第一位置检测元件、所述第一驱动组件、所述第二驱动组件及所述驱动机构均电性连接。

12、在其中一个实施例中，所述驱动机构为至少两个，至少两个所述驱动机构与两个所述导轨对应传动连接。

13、在其中一个实施例中，所述驱动机构包括滑轨及第三驱动组件，所述滑轨沿所述导轨的移动方向延伸，所述第三驱动组件安装于所述滑轨上并与所述导轨传动连接，所述滑轨的外壁设有沿所述导轨的移动方向间隔设置的第一限位机构及第二限位机构，当所述第二驱动组件与所述载板传动连接时，所述第一限位机构可选择性的将所述导轨与所述滑轨锁止配合，当所述第二驱动组件与所述载板分离时，所述第二限位机构可选择性的将所述导轨与所述滑轨锁止配合。

14、在其中一个实施例中，所述清洗结构还包括第二位置检测元件及控制器，所述第二位置检测元件与所述控制器电性连接，所述第二位置检测元件用于检测所述导轨相对于所述滑轨的位置。

15、在其中一个实施例中，所述支撑件的顶部设有至少一个支撑部，所述支撑部用于支撑所述载板。

16、另一方面，提供了一种清洗设备，包括清洗槽及所述的清洗结构，所述清洗结构对应设置于所述清洗槽的上方。

17、上述实施例中的清洗结构及清洗设备，使用时，首先，将需要待清洗的载板移动至传输装置上，使得传输装置驱动载板移动至清洗槽的上方。其次，转移装置沿竖直方向上升，使得转移装置与载板接触并受力承重。接着，转移装置与传输装置配合带动载板的转移，使得载板与传输装置分离。然后，转移装置沿竖直方向下降，使得转移装置带动载板下降至清洗槽内以进行清洗；待载板清洗完成后，转移装置再驱动载板复位。最后，载板与传输装置重新传动连接，使得传输装置能够驱动载板从清洗槽的上方移出并进入下一步工序，从而实现对载板进行一次清洗。相对于目前载板的清洗方式，本申请能够通过传输装置与转移装置的配合，使得载板能够自动在传输装置所在的载板移动区域和清洗槽之间往复移动，克服传输装置与清洗槽不兼容的问题，实现清洗槽与载板移动区域的自动一体化，进而使得人工的工作量减小，从而极大提高载板的清洗效率及稳定性，且对电池片工艺制程无任何不良影响。另外，传输装置与清洗槽能够保持间隔设置，保证传输装置不会与清洗槽发生干涉、且清洗槽内的清洗液不会溅至传输装置上，提高清洗结构及清洗设备的可靠性和使用寿命。

技术特征：

1.一种清洗结构(10)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述传输装置包括第一传输机构(100)、第二传输机构(200)以及驱动机构(300)，所述第一传输机构(100)及所述第二传输机构(200)均设置于所述清洗槽(500)的上方并分别位于所述清洗槽(500)的两侧，所述第一传输机构(100)及所述第二传输机构(200)用于配合驱动所述载板(600)移动至所述清洗槽(500)的上方或从所述清洗槽(500)的上方移出；

3.根据权利要求2所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述转移装置包括支撑升降机构(400)，所述支撑升降机构(400)包括第一驱动组件(410)及支撑件(420)，所述支撑件(420)位于所述第一传输机构(100)与所述第二传输机构(200)之间，所述第一驱动组件(410)与所述支撑件(420)传动连接，使得所述支撑件(420)能够支撑所述载板(600)并带动所述载板(600)沿竖直方向往复升降。

4.根据权利要求3所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述第一传输机构(100)及所述第二传输机构(200)均包括导轨(110)及第二驱动组件(120)，所述第二驱动组件(120)安装于所述导轨(110)上，所述第二驱动组件(120)用于与所述载板(600)传动连接，使得所述载板(600)能够沿所述导轨(110)的延伸方向移动。

5.根据权利要求4所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述清洗结构(10)还包括第一位置检测元件(700)及控制器，所述第一位置检测元件(700)用于检测所述载板(600)相对于所述导轨(110)的位置，所述控制器分别与所述第一位置检测元件(700)、所述第一驱动组件(410)、所述第二驱动组件(120)及所述驱动机构(300)均电性连接。

6.根据权利要求4所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述驱动机构(300)为至少两个，至少两个所述驱动机构(300)与两个所述导轨(110)对应传动连接。

7.根据权利要求6所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述驱动机构(300)包括滑轨(310)及第三驱动组件(320)，所述滑轨(310)沿所述导轨(110)的移动方向延伸，所述第三驱动组件(320)安装于所述滑轨(310)上并与所述导轨(110)传动连接，所述滑轨(310)的外壁设有沿所述导轨(110)的移动方向间隔设置的第一限位机构(330)及第二限位机构(340)，当所述第二驱动组件(120)与所述载板(600)传动连接时，所述第一限位机构(330)用于将所述导轨(110)与所述滑轨(310)锁止配合，当所述第二驱动组件(120)与所述载板(600)分离时，所述第二限位机构(340)用于将所述导轨(110)与所述滑轨(310)锁止配合。

8.根据权利要求7所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述清洗结构(10)还包括第二位置检测元件(800)及控制器，所述第二位置检测元件(800)与所述控制器电性连接，所述第二位置检测元件(800)用于检测所述导轨(110)相对于所述滑轨(310)的位置。

9.根据权利要求3至8任一项所述的清洗结构(10)，其特征在于，所述支撑件(420)的顶部设有至少一个支撑部(421)，所述支撑部(421)用于支撑所述载板(600)。

10.一种清洗设备，其特征在于，包括清洗槽(500)及如权利要求1至9任一项所述的清洗结构(10)，所述清洗结构(10)对应设置于所述清洗槽(500)的上方。

技术总结本技术提供一种清洗结构及清洗设备，清洗设备包括传送装置及转移装置。其中，传输装置设置于清洗槽的上方，用于驱动载板移动至所述清洗槽的上方或从所述清洗槽的上方移出；转移装置位于所述传输装置的一侧，并能够相对所述传输装置升降，以带动所述载板进出所述清洗槽、以及带动所述载板于所述转移装置与所述传输装置之间的转移。本申请能够通过传输装置与转移装置的配合，使得载板能够自动在传输装置所在的载板移动区域和清洗槽之间往复移动，克服传输装置与清洗槽不兼容的问题，实现清洗槽与载板移动区域的自动一体化，进而使得人工的工作量减小，从而极大提高载板的清洗效率及稳定性，且对电池片工艺制程无任何不良影响。技术研发人员：王陈受保护的技术使用者：通威太阳能（安徽）有限公司技术研发日：20230908技术公布日：2024/7/11