管道堵塞在线清理装置及其系统的制作方法

本发明涉及半导体废气处理设备，具体而言，涉及一种管道堵塞在线清理装置及其系统。

背景技术：

1、在半导体行业，废气处理设备在应用过程中，气体输送管路往往会出现堵塞管路的情况。例如，在废气处理设备的顶盖进口(inlet口)位置，因顶盖位置处有氧气通入，氧气与废气处理设备中的制程气体在高温的情况下发生氧化还原反应形成二氧化硅等粉末，从而在经过一段时间的积累后造成堵塞现象。

2、在解决废气处理设备堵塞问题上，往往采用在堵塞位置刮除堵塞物的形式。现有技术中，采用气缸刮刀自动清理刮除堵塞物的方式，如设定动作间隔时间和动作次数，进行管路自动清理。但是一些工艺，例如metal etch(金属蚀刻)因为气缸的伸缩杆移动处于管路中，粉尘会进入到气缸的结构中，导致气缸无法缩回而功能失效。一旦气缸在使用过程中出现损坏，如气缸伸出后不能缩回而导致长期占据气体通路，反而加剧管路堵塞，影响废气处理设备的pm(预防性维护和生产维修的总称)维护周期。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种管道堵塞在线清理装置及其系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的因粉尘进入气缸结构中而导致气缸自动清理失效的技术问题。

2、为了实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：

3、一种管道堵塞在线清理装置，包括壳体、压缩气囊、伸缩杆、弹性件和刮除件；

4、所述壳体与所述压缩气囊密封连接；

5、沿所述伸缩杆轴向，所述伸缩杆的第一端与所述压缩气囊连接，相对应的第二端穿过所述壳体并与所述刮除件连接；所述刮除件配置为随所述伸缩杆沿所述伸缩杆的轴向移动；

6、所述弹性件设置在所述壳体内部；所述压缩气囊被配置为在外力驱使下压缩，以驱使所述伸缩杆沿自身的轴向移动，并形成令所述弹性件在所述伸缩杆轴向产生驱使所述伸缩杆复位的弹性形变；

7、所述伸缩杆上设置有在所述伸缩杆复位时密封所述壳体的密封结构；且所述密封结构位于所述刮除件与所述壳体之间；

8、所述壳体上设置有与所述壳体的内部空间连通的吹扫入口。

9、在上述任一技术方案中，可选地，所述密封结构包括相配合第一密封件和第二密封件；所述第一密封件设置在所述壳体的外部；所述第二密封件设置在所述伸缩杆或所述刮除件上。

10、在上述任一技术方案中，可选地，沿所述伸缩杆轴向，所述壳体包括相对应的第一端和第二端；所述壳体的第二端呈锥台体，所述第一密封件设置在所述锥台体的周壁上；

11、所述第二密封件呈与所述壳体的第二端形状相配合的碗型，且所述第二密封件的碗口朝向所述壳体。

12、在上述任一技术方案中，可选地，所述密封结构还包括第三密封件；所述第三密封件设置在所述伸缩杆上，且所述第三密封件位于所述第二密封件与所述壳体之间；

13、所述第三密封件配置为在所述伸缩杆复位时密封所述壳体的第二端的开口；

14、所述第三密封件呈碗型，且所述第三密封件的碗口朝向所述第二密封件。

15、在上述任一技术方案中，可选地，所述刮除件包括刮除主体和刮除连接件；所述刮除主体呈环型；

16、所述刮除主体外套在所述伸缩杆上，且所述刮除主体通过多个所述刮除连接件连接所述伸缩杆；相邻两个所述刮除连接件间隔设置，以使所述刮除件为镂空结构。

17、在上述任一技术方案中，可选地，沿所述伸缩杆的轴向，多个所述刮除连接件均布在所述伸缩杆的外周；

18、沿所述伸缩杆的轴向，所述刮除主体的高度为4mm-10mm；

19、所述刮除主体和所述刮除连接件的厚度为1mm-2mm。

20、在上述任一技术方案中，可选地，所述伸缩杆连接有位于所述壳体内部的止挡件；所述弹性件外套在所述伸缩杆上，且位于所述止挡件与所述壳体之间；

21、所述伸缩杆复位时，所述止挡件抵接所述壳体，且所述弹性件具有驱使所述伸缩杆朝所述压缩气囊方向移动的弹性形变，以使所述密封结构封堵所述壳体。

22、在上述任一技术方案中，可选地，所述压缩气囊被配置为在外力驱使下压缩，并形成令所述压缩气囊在所述伸缩杆轴向产生驱使所述伸缩杆复位的弹性形变；

23、所述伸缩杆的第一端伸入至所述压缩气囊内部，并与所述压缩气囊远离所述壳体的一端固定连接；

24、所述压缩气囊的材质为氟橡胶；

25、所述壳体的外壁连接有用于安装所述管道堵塞在线清理装置的安装板；所述吹扫入口位于所述安装板与所述压缩气囊之间；

26、所述安装板的外径配置为大于待安装管道的内径，所述壳体的位于所述安装板与所述刮除件之间的外径配置为小于待安装管道的内径；

27、所述壳体呈圆柱型。

28、在上述任一技术方案中，可选地，所述伸缩杆与所述壳体的第一端间隙设置，或者所述伸缩杆与所述壳体的第一端之间设置有轴承；

29、所述伸缩杆与所述壳体的第二端间隙设置。

30、一种管道堵塞在线清理系统，包括若干个上述的管道堵塞在线清理装置。

31、本发明的有益效果主要在于：

32、本发明提供的管道堵塞在线清理装置及其系统，安装于管道易堵塞位置，在外力驱使压缩气囊进行压缩时，例如手动按压所述压缩气囊以使压缩气囊被压缩，从而驱使伸缩杆沿自身的轴向移动，以使刮除件随伸缩杆移动并刮除管道上附着的堵塞物，可以实现在线解决管道堵塞问题；通过伸缩杆与壳体之间设置的密封结构，以在伸缩杆复位时密封结构封堵壳体，以防止管道堵塞在线清理装置不工作时管道内的粉尘进入壳体的内部空间，从而极大延长了管道堵塞在线清理装置的使用寿命；通过壳体上设置有与壳体的内部空间连通的吹扫入口，以在外力作用压缩气囊压缩时，也即伸缩杆移动而导致密封结构不能封堵壳体时，从吹扫入口流入的气体能够有效防止管路内的粉尘从伸缩杆与壳体之间的缝隙中进入壳体的内部空间，从而进一步有效延长了管道堵塞在线清理装置的使用寿命。

33、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种管道堵塞在线清理装置，其特征在于，包括壳体、压缩气囊、伸缩杆、弹性件和刮除件；

2.根据权利要求1所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，所述密封结构包括相配合第一密封件和第二密封件；所述第一密封件设置在所述壳体的外部；所述第二密封件设置在所述伸缩杆或所述刮除件上。

3.根据权利要求2所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，沿所述伸缩杆轴向，所述壳体包括相对应的第一端和第二端；所述壳体的第二端呈锥台体，所述第一密封件设置在所述锥台体的周壁上；

4.根据权利要求3所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，所述密封结构还包括第三密封件；所述第三密封件设置在所述伸缩杆上，且所述第三密封件位于所述第二密封件与所述壳体之间；

5.根据权利要求1所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，所述刮除件包括刮除主体和刮除连接件；所述刮除主体呈环型；

6.根据权利要求5所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，沿所述伸缩杆的轴向，多个所述刮除连接件均布在所述伸缩杆的外周；

7.根据权利要求1所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，所述伸缩杆连接有位于所述壳体内部的止挡件；所述弹性件外套在所述伸缩杆上，且位于所述止挡件与所述壳体之间；

8.根据权利要求1所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，所述压缩气囊被配置为在外力驱使下压缩，并形成令所述压缩气囊在所述伸缩杆轴向产生驱使所述伸缩杆复位的弹性形变；

9.根据权利要求1所述的管道堵塞在线清理装置，其特征在于，所述伸缩杆与所述壳体的第一端间隙设置，或者所述伸缩杆与所述壳体的第一端之间设置有轴承；

10.一种管道堵塞在线清理系统，其特征在于，包括若干个如权利要求1-9任一项所述的管道堵塞在线清理装置。

技术总结一种管道堵塞在线清理装置及其系统，涉及半导体废气处理设备技术领域。该管道堵塞在线清理装置包括壳体、压缩气囊、伸缩杆、弹性件和刮除件；壳体与压缩气囊密封连接；伸缩杆的第一端与压缩气囊连接，第二端穿过壳体并与刮除件连接；压缩气囊被配置为在外力驱使下压缩，以驱使伸缩杆沿自身的轴向移动，并形成令弹性件产生驱使伸缩杆复位的弹性形变；伸缩杆上设置有密封结构；壳体上设置有吹扫入口。该管道堵塞在线清理系统包括管道堵塞在线清理装置。本发明的目的在于提供一种管道堵塞在线清理装置及其系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的因粉尘进入气缸结构中而导致气缸自动清理失效的技术问题。技术研发人员：王松,薛山,张浩受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/15