一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置的制作方法

本技术属于半导体，具体涉及一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置。

背景技术：

1、半导体指的是在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件,在进行半导体加工时，陶瓷是一种经常会使用到的材料；

2、经查公开(公告)号：cn216827774u公开了基于半导体晶圆清洗用夹持装置，此技术中公开了“安装架；所述安装架整体由左右两处竖撑吊杆、焊接固定于两处竖撑吊杆顶端的固定板以及对称焊接于两处竖撑吊杆底部的定位框共同组成，其中两处竖撑吊杆上滑动安装有一处滑动杆，且固定板的中间段底部锁紧吊装有一处气缸，气缸伸缩杆的底部段与滑动杆的中间段贯穿锁紧连接。本实用的两处拦杆可对向内滑挡栏于被夹持晶圆的底部对在转移过程中滑落掉出的晶圆片进行拦截，对晶圆片进行较好的防坠落保护”；

3、虽然该设计能够对向内滑挡栏于被夹持晶圆的底部对在转移过程中滑落掉出的晶圆片进行拦截，对晶圆片进行较好的防坠落保护，但是在进行对陶瓷盘本体的清洁工作时，夹具和陶瓷盘本体之间的接触面会在清洁时产生卫生死角，从而影响清洁工作的效率以及陶瓷盘的整洁性。

4、为解决上述问题，本申请中提出一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，通过夹持组件的工作能够在对陶瓷盘本体进行清洁工作时切换陶瓷盘本体和夹具之间的接触面并进行清洁，能够有效的杜绝清洁死角的问题，有利于清洁工作的效率，而通过稳定组件的配合工作可以使夹具对陶瓷盘本体的夹持工作能够更加稳定的进行，可以进一步的稳定清洁工作的状态。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，包括陶瓷盘本体，还包括设置在陶瓷盘本体一侧的夹持组件，所述夹持组件包括立柱、螺柱、螺套、支架、夹具、复位弹簧和拉绳，所述立柱的表面固定安装有和所述螺套的内表面螺纹连接的所述螺柱，且所述立柱的表面还固定安装有和所述夹具的一端滑动连接的所述支架，并且所述夹具的表面还和所述复位弹簧的一端固定连接，同时所述复位弹簧的另一端固定连接在所述支架的表面上，所述夹具远离所述复位弹簧一侧的表面还和所述拉绳的一端固定连接，且所述拉绳的另一端贯穿所述立柱和所述螺柱并固定连接在所述螺套的内表面上，骑兵所述夹具远离所述支架的一侧和所述陶瓷盘本体的表面贴合连接。

3、作为本实用新型一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置优选的，所述螺柱和所述螺套在所述立柱的表面共设置有两组。

4、作为本实用新型一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置优选的，所述支架共设置有六个，且等角度分布在所述立柱的表面上。

5、作为本实用新型一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置优选的，所述拉绳共设有六个，且不相邻的每个所述拉绳连接在同一个所述螺套之上。

6、作为本实用新型一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置优选的，还包括设置在陶瓷盘本体一侧的稳定组件，所述稳定组件包括稳定柱、推簧和滑孔，所述稳定柱固定连接在所述夹具的表面上，且所述稳定柱的表面还套接有和所述夹具的表面固定连接的所述推簧，并且所述夹具的表面还开设有和所述稳定柱滑动连接的所述滑孔。

7、作为本实用新型一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置优选的，所述稳定柱的形状为“凸”状。

8、作为本实用新型一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置优选的，所述滑孔的形状为矩形的通孔。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过夹持组件的工作能够在对陶瓷盘本体进行清洁工作时切换陶瓷盘本体和夹具之间的接触面并进行清洁，能够有效的杜绝清洁死角的问题，有利于清洁工作的效率，而通过稳定组件的配合工作可以使夹具对陶瓷盘本体的夹持工作能够更加稳定的进行，可以进一步的稳定清洁工作的状态。

技术特征：

1.一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，包括陶瓷盘本体(1)，其特征在于：还包括设置在陶瓷盘本体(1)一侧的夹持组件(2)，所述夹持组件(2)包括立柱(21)、螺柱(22)、螺套(23)、支架(24)、夹具(25)、复位弹簧(26)和拉绳(27)，所述立柱(21)的表面固定安装有和所述螺套(23)的内表面螺纹连接的所述螺柱(22)，且所述立柱(21)的表面还固定安装有和所述夹具(25)的一端滑动连接的所述支架(24)，并且所述夹具(25)的表面还和所述复位弹簧(26)的一端固定连接，同时所述复位弹簧(26)的另一端固定连接在所述支架(24)的表面上，所述夹具(25)远离所述复位弹簧(26)一侧的表面还和所述拉绳(27)的一端固定连接，且所述拉绳(27)的另一端贯穿所述立柱(21)和所述螺柱(22)并固定连接在所述螺套(23)的内表面上，骑兵所述夹具(25)远离所述支架(24)的一侧和所述陶瓷盘本体(1)的表面贴合连接。

2.根据权利要求1所述的半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，其特征在于：所述螺柱(22)和所述螺套(23)在所述立柱(21)的表面共设置有两组。

3.根据权利要求1所述的半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，其特征在于：所述支架(24)共设置有六个，且等角度分布在所述立柱(21)的表面上。

4.根据权利要求1所述的半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，其特征在于：所述拉绳(27)共设有六个，且不相邻的每个所述拉绳(27)连接在同一个所述螺套(23)之上。

5.根据权利要求1所述的半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，其特征在于：还包括设置在陶瓷盘本体(1)一侧的稳定组件(3)，所述稳定组件(3)包括稳定柱(31)、推簧(32)和滑孔(33)，所述稳定柱(31)固定连接在所述夹具(25)的表面上，且所述稳定柱(31)的表面还套接有和所述夹具(25)的表面固定连接的所述推簧(32)，并且所述夹具(25)的表面还开设有和所述稳定柱(31)滑动连接的所述滑孔(33)。

6.根据权利要求5所述的半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，其特征在于：所述稳定柱(31)的形状为“凸”状。

7.根据权利要求5所述的半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，其特征在于：所述滑孔(33)的形状为矩形的通孔。

技术总结本技术属于半导体技术领域，尤其为一种半导体清洗用陶瓷盘夹持装置，包括陶瓷盘本体，还包括设置在陶瓷盘本体一侧的夹持组件，所述夹持组件包括立柱、螺柱、螺套、支架、夹具、复位弹簧和拉绳，所述立柱的表面固定安装有和所述螺套的内表面螺纹连接的所述螺柱，本装置通过夹持组件的工作能够在对陶瓷盘本体进行清洁工作时切换陶瓷盘本体和夹具之间的接触面并进行清洁，能够有效的杜绝清洁死角的问题，有利于清洁工作的效率，而通过稳定组件的配合工作可以使夹具对陶瓷盘本体的夹持工作能够更加稳定的进行，可以进一步的稳定清洁工作的状态。技术研发人员：周云飞,周诗琼,赵要时,钟少凯受保护的技术使用者：上海格意光电材料有限公司技术研发日：20231207技术公布日：2024/7/18