蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管的制作方法

本技术涉及蚀刻机脱膜清洗的，具体涉及蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管。

背景技术：

1、蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类，最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，脱膜则是将多余的油漆清洗掉完成脱膜，在锈钢字键干膜蚀刻的过程中需要用到脱模装置。现有的蚀刻机台脱膜装置清洗段采用固定喷嘴，喷嘴采取错位排布，其缺点在于：喷嘴容易堵塞，导致清洗时，工件清洗压力不均匀，水压大后，局部冲击力较强。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的提供蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管，解决上述现有技术问题中的一个或者多个。

2、为实现上述目的，本实用新型提供的蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管，包括固定支架、设置于所述固定支架的驱动机构以及设置于所述固定支架的清洗管，所述驱动机构驱动所述清洗管呈往复性摇摆，所述固定支架和所述清洗管通过第一连接件和第二连接件连接，所述第一连接件为h型摆臂，所述h型摆臂的上下两端分别与所述固定支架和清洗管铰接，所述h型摆臂的第三端与所述驱动机构连接，所述第二连接件为直型摆臂，所述直型摆臂的上下两端分别与所述固定支架和清洗管铰接，所述清洗管包括清洗内管以及套设于所述清洗内管的清洗外管，所述清洗内管的侧壁和清洗外管的侧壁均开设有长条状开口，所述清洗内管和清洗外管的长条状开口相通，所述清洗内管的一端连接有水管接头，另一端连接有堵头。

3、在一些实施方式中，所述驱动机构包括设置于所述固定支架的电机以及设置于所述电机输出端的z型连接件，所述z型连接件的另一端铰接有直型连接件，所述直型连接件的另一端与所述h型摆臂的第三端铰接。

4、在一些实施方式中，所述清洗外管与所述水管接头通过螺纹连接，所述清洗外管的另一端通过螺纹连接有封盖，所述封盖与所述堵头之间设置有阻尼弹簧。

5、在一些实施方式中，所述清洗外管与所述水管接头之间设置有第一卡箍，所述清洗外管和所述封盖之间设置有第二卡箍。

6、与现有技术对比，本实用新型的有益效果在于：

7、本申请的蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管采取线段式出水，使得工件受力更为均匀，且开口大，不容易被堵塞，同时，通过驱动机构使清洗管左右摇摆，使得工件清洗基本无死角。

技术特征：

1.蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管，其特征在于，包括固定支架(10)、设置于所述固定支架(10)的驱动机构以及设置于所述固定支架(10)的清洗管(20)，所述驱动机构驱动所述清洗管呈往复性摇摆，所述固定支架(10)和所述清洗管(20)通过第一连接件(30)和第二连接件(40)连接，所述第一连接件(30)为h型摆臂，所述h型摆臂的上下两端分别与所述固定支架(10)和清洗管(20)铰接，所述h型摆臂的第三端与所述驱动机构连接，所述第二连接件(40)为直型摆臂，所述直型摆臂的上下两端分别与所述固定支架(10)和清洗管(20)铰接，所述清洗管(20)包括清洗内管(21)以及套设于所述清洗内管(21)的清洗外管(22)，所述清洗内管(21)的侧壁和清洗外管(22)的侧壁均开设有长条状开口(50)，所述清洗内管(21)和清洗外管(22)的长条状开口相通，所述清洗内管(21)的一端连接有水管接头(23)，另一端连接有堵头(24)。

2.如权利要求1所述的清洗管，其特征在于，所述驱动机构包括设置于所述固定支架(10)的电机(61)以及设置于所述电机(61)输出端的z型连接件(62)，所述z型连接件(62)的另一端铰接有直型连接件(63)，所述直型连接件(63)的另一端与所述h型摆臂的第三端铰接。

3.如权利要求1所述的清洗管，其特征在于，所述清洗外管(22)与所述水管接头(23)通过螺纹连接，所述清洗外管(22)的另一端通过螺纹连接有封盖(25)，所述封盖(25)与所述堵头(24)之间设置有阻尼弹簧(26)。

4.如权利要求3所述的清洗管，其特征在于，所述清洗外管(22)与所述水管接头(23)之间设置有第一卡箍(71)，所述清洗外管(22)和所述封盖(25)之间设置有第二卡箍(72)。

技术总结本技术公开蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管，包括固定支架、设置于固定支架的驱动机构以及设置于固定支架的清洗管，驱动机构驱动清洗管呈往复性摇摆，第一连接件为h型摆臂，h型摆臂的上下两端分别与固定支架和清洗管铰接，h型摆臂的第三端与驱动机构连接，第二连接件为直型摆臂，直型摆臂的上下两端分别与固定支架和清洗管铰接，清洗管包括清洗内管以及套设于清洗内管的清洗外管，清洗内管的侧壁和清洗外管的侧壁均开设有长条状开口，清洗内管和清洗外管的长条状开口相通。本申请的清洗管采取线段式出水，使得工件受力更为均匀，且开口大，不容易被堵塞，同时，通过驱动机构使清洗管左右摇摆，使得工件清洗基本无死角。技术研发人员：连大学受保护的技术使用者：南通卓力达金属科技有限公司技术研发日：20231205技术公布日：2024/7/23