一种用于夹具的散热柜的制作方法

本技术涉及散热柜，特别是涉及一种用于夹具的散热柜。

背景技术：

1、夹具是晶圆老化测试中较为常见的一种工具，用于放置晶圆。在对晶圆进行老化测试过程中，需要对夹具内的晶圆进行加温测试，夹具也会被一起加温，在完成晶圆高温老化测试后，需要对夹具进行降温，因此，夹具的散热效率也是晶圆高温老化测试中需要考虑的问题。

2、现有技术中，存在用于散热的散热柜，若是将夹具放置在散热柜中进行散热，虽然可以加快夹具的散热效率。但是一般散热部件是位于夹具底部的，若是直接将夹具从散热柜前方通过滑轨水平移动至散热部件的上方，会出现与散热部件发生剐蹭的情况，存在夹具刮伤的情况。

技术实现思路

1、本实用新型的一个目的是要提供一种用于夹具的散热柜，解决现有技术中夹具在放置散热柜的过程中与散热部件发生剐蹭的技术问题。

2、本实用新型的另一个目的使得夹具进入散热柜时更便捷。

3、根据本实用新型的目的，本实用新型提供了一种用于夹具的散热柜，所述夹具的底部的一端处设有第一定位孔，所述散热柜包括：

4、壳体，具有开口；

5、至少一个第一散热组件，设置在所述壳体的内部，用于对夹具进行散热；

6、至少一个支撑组件，每个所述支撑组件设置在一个所述第一散热组件的上方，用于支撑夹具，所述支撑组件靠近所述壳体的所述开口处具有向上凸起的定位部件，所述定位部件设置成在所述夹具从所述壳体的所述开口处进入所述壳体内时对所述夹具进行支撑，以使得所述夹具倾斜进入所述壳体内，并在所述夹具移动至所述第一定位孔与所述定位部件配合时使得所述夹具呈水平方向放置。

7、可选地，所述壳体具有相对的两个侧面，所述支撑组件包括：两个滑轨，分别设置在所述壳体的靠近所述两个侧面处，所述滑轨包括呈l形的第一部分和第二部分，所述第一部分沿水平方向布置，所述定位部件设置在所述第一部分上。

8、可选地，所述第一部分靠近所述壳体的所述开口处设有安装槽，所述定位部件包括：

9、底座，安装在所述安装槽处，且凸出于所述安装槽。

10、可选地，所述底座的上表面呈一斜面，所述斜面沿所述壳体的开口朝向所述壳体的内部方向向下倾斜。

11、可选地，所述底座上设有沿竖向贯穿的安装孔，所述定位部件还包括：

12、配合件，设置在所述安装孔内；

13、球体，安装在所述配合件的顶部，且凸出于所述底座的上表面，所述球体设置成在与所述夹具抵接且所述夹具移动时滚动。

14、可选地，所述滑轨的远离所述壳体的所述开口的一端处设有定位柱，所述夹具远离所述第一定位孔的一端设有与所述定位柱配合的第二定位孔。

15、可选地，所述散热柜还包括：

16、至少一组第二散热组件，设置在所述壳体的所述两个侧面的至少一个侧面处，用于对所述夹具进行散热。

17、可选地，所述第二散热组件的数量为两组，两组所述第二散热部件分别设置在所述壳体的所述两个侧面处。

18、可选地，所述第二散热组件包括至少一排散热风扇，所述至少一排散热风扇沿所述壳体的竖向间隔开布置，所述壳体与所述至少一排散热风扇对应的位置设置成镂空结构。

19、可选地，所述第一散热组件为翅片。

20、本实用新型中，第一散热组件，设置在壳体的内部，用于对夹具进行散热；每个支撑组件设置在一个第一散热组件的上方，用于支撑夹具，支撑组件靠近壳体的开口处具有向上凸起的定位部件，定位部件设置成在夹具从壳体的开口处进入壳体内时对夹具进行支撑，以使得夹具倾斜进入壳体内，并在夹具移动至第一定位孔与定位部件配合时使得夹具呈水平方向放置，以使进入散热柜中的夹具落在第一散热组件上方，从而实现夹具以倾斜的方式落入散热柜，避免夹具在放入散热柜的过程中与散热组件直接接触，防止出现夹具与散热组件剐蹭的情况，避免夹具刮伤。

21、进一步地，本实用新型的底座上设有沿竖向贯穿的安装孔，定位部件还包括设置在安装孔内的配合件和安装在配合件的顶部的球体，其中，球体凸出于底座的上表面，且将球体设置成在与夹具抵接且夹具移动时滚动，使得夹具沿支撑组件以滚动的方式倾斜进入散热柜，使得夹具更容易进入散热柜。

22、根据下文结合附图对本实用新型具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。

技术特征：

1.一种用于夹具的散热柜，其特征在于，所述夹具的底部的一端处设有第一定位孔，所述散热柜包括：

2.根据权利要求1所述的散热柜，其特征在于，所述壳体具有相对的两个侧面，所述支撑组件包括：两个滑轨，分别设置在所述壳体的靠近所述两个侧面处，所述滑轨包括呈l形的第一部分和第二部分，所述第一部分沿水平方向布置，所述定位部件设置在所述第一部分上。

3.根据权利要求2所述的散热柜，其特征在于，所述第一部分靠近所述壳体的所述开口处设有安装槽，所述定位部件包括：

4.根据权利要求3所述的散热柜，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的散热柜，其特征在于，所述底座上设有沿竖向贯穿的安装孔，所述定位部件还包括：

6.根据权利要求2-5中任一项所述的散热柜，其特征在于，所述滑轨的远离所述壳体的所述开口的一端处设有定位柱，所述夹具远离所述第一定位孔的一端设有与所述定位柱配合的第二定位孔。

7.根据权利要求2-5中任一项所述的散热柜，其特征在于，所述散热柜还包括：

8.根据权利要求7所述的散热柜，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的散热柜，其特征在于，

10.根据权利要求1-5中任一项所述的散热柜，其特征在于，

技术总结本技术提供了一种用于夹具的散热柜，涉及散热柜技术领域。夹具的底部的一端处设有第一定位孔，散热柜包括壳体，具有开口；至少一个第一散热组件，设置在壳体的内部，用于对夹具进行散热；至少一个支撑组件，每个支撑组件设置在一个第一散热组件的上方，用于支撑夹具，支撑组件靠近壳体的开口处具有向上凸起的定位部件，定位部件设置成在夹具从壳体的开口处进入壳体内时对夹具进行支撑，以使得夹具倾斜进入壳体内，并在夹具移动至第一定位孔与定位部件配合时使得夹具呈水平方向放置，以使进入散热柜中的夹具落在第一散热组件上方，从而实现夹具以倾斜的方式落入散热柜，防止出现夹具与散热组件剐蹭的情况，避免夹具刮伤。技术研发人员：廉哲,马飞,周斌,郭孝明,徐鹏嵩受保护的技术使用者：苏州联讯仪器股份有限公司技术研发日：20231030技术公布日：2024/6/13