一种温控设备双通道热交换温控系统模组的制作方法

本技术属于储能设备，具体涉及一种温控设备双通道热交换温控系统模组。

背景技术：

1、热交换器温控装置用来在半导体制造工艺中提供稳定流量、稳定温度的循环液体。设备在实际工艺中以制冷为主，加热为辅，对于空载及负载状态时的温控精度要求较高，同时需要兼顾整个设备的能耗效率。目前使用的温控设备制冷系统、循环液系统、电器系统交叉设计，热循环系统和制冷系统分开独立设置，均具有自己的冷凝设备，交叉独立设计不便于拆卸及更换配件。外部管路接头太长，客户端放置场地使用过大。以上缺点均需要进行优化，为此，我们提出一种温控设备双通道热交换温控系统模组，将制冷系统、循环液系统、电器系统单独做模组化设计，将外部管路接头设计在箱体内部，便于拆卸、减少空间浪费；将两个系统共用一个冷凝器，一路厂务水，将两个系统的冷热量进行置换，合理利用空间，减少生产成本。

技术实现思路

1、针对现有的技术方案存在的问题。本实用新型的目的在于提供一种温控设备双通道热交换温控系统模组。

2、为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

3、一种温控设备双通道热交换温控系统模组，包括柜体，所述柜体内设置两通道循环系统及冷凝器；第一通道循环系统包括蒸发器一、水箱一、加热桶一、磁力泵一；

4、第一通道循环系统高温液体通过手阀调节流量后经过y型过滤器进入到蒸发器一中换热变为低温液体，再进入到加热桶一中控制加热棒给液体百分比辅助加热后，经过磁力泵一连接到客户端管路，加热桶一上方通过水箱一补液；

5、蒸发器一换热的高温气体进入压缩机一压缩，压缩机一的高温高压气态排出进入到冷凝器中冷却出液为常温高压液态，经过干燥过滤器一和膨胀阀ⅰ后变为低温低压液态再进入蒸发器一，从蒸发器一出来变为低温低压气态循环回到压缩机一；

6、第二通道循环系统包括蒸发器二、水箱二、加热桶二、磁力泵二；

7、第二通道循环系统高温液体通过手阀调节流量后经过y型过滤器进入到蒸发器二中换热变为低温液体，再进入到加热桶二中控制加热棒给液体百分比辅助加热后，经过磁力泵二连接到客户端管路，加热桶二上方通过水箱二补液；

8、蒸发器二换热的高温气体进入压缩机二压缩，压缩机二的高温高压气态排出进入到冷凝器中冷却出液为常温高压液态，经过干燥过滤器二和膨胀阀ⅳ后变为低温低压液态再进入蒸发器二，从蒸发器二出来变为低温低压气态循环回到压缩机二。

9、进一步的，当第一通道循环系统不需要多余的冷量时，压缩机一降频，由压缩机一排气高温高压气态经过膨胀阀ⅱ进入到蒸发器一中，在循环回到压缩机一；当压缩机一的回气温度高于35℃时，冷凝器冷凝后的常温高压液态经过膨胀阀ⅲ降低回气温度后回到压缩机一。

10、进一步的，当第二通道循环系统不需要多余的冷量时，压缩机二降频，由压缩机二排气高温高压气态经过膨胀阀ⅴ进入到蒸发器二中，在循环回到压缩机二；当压缩机二的回气温度高于35℃时，冷凝器冷凝后的常温高压液态经过膨胀阀ⅵ降低回气温度后回到压缩机二。

11、进一步的，加热桶一和加热桶二下端均连接到放液端，第一通道循环系统循环液进出管路中间增加旁通管和一手阀ⅰ；第二通道循环系统循环液进出管路中间增加旁通管和一手阀ⅱ；水箱一和水箱二均通过两根管路对应连接到加热桶一和加热桶二，底部的一根管路连接到加热桶补液管，最高处的一根管路连接到加热桶排气管。

12、进一步的，y型过滤器的前后管路上分别设有手阀和流量计。

13、进一步的，磁力泵一后方设有压力传感器一和温度传感器一；磁力泵二后方设有压力传感器二和温度传感器二。

14、进一步的，冷凝器设有厂务进水端和出水端。

15、进一步的，压缩机一和压缩机二的高压和低压端之间均并联一个高低压保护开关。

16、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本新型温控设备通过双通道热交换系统，系统模组采用双制冷双循环系统，两个系统共用一个冷凝器，一路厂务水，将两个系统的冷热量进行置换，合理利用空间，减少生产成本；制冷系统和循环液系统模组化，将水循环管路与制冷管路分开，便于批量组装、后期维护方便、减少空间浪费，提高生产效率。

技术特征：

1.一种温控设备双通道热交换温控系统模组，包括柜体，所述柜体内设置两通道循环系统及冷凝器(2)；其特征在于，第一通道循环系统包括蒸发器一(3)、水箱一(4)、加热桶一(5)、磁力泵一(9)；

2.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，当第一通道循环系统不需要多余的冷量时，压缩机一(1)降频，由压缩机一(1)排气高温高压气态经过膨胀阀ⅱ(13)进入到蒸发器一(3)中，在循环回到压缩机一(1)；当压缩机一(1)的回气温度高于35℃时，冷凝器(2)冷凝后的常温高压液态经过膨胀阀ⅲ(14)降低回气温度后回到压缩机一(1)。

3.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，当第二通道循环系统不需要多余的冷量时，压缩机二(21)降频，由压缩机二(21)排气高温高压气态经过膨胀阀ⅴ(16)进入到蒸发器二(23)中，在循环回到压缩机二(21)；当压缩机二(21)的回气温度高于35℃时，冷凝器(2)冷凝后的常温高压液态经过膨胀阀ⅵ(17)降低回气温度后回到压缩机二(21)。

4.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，加热桶一(5)和加热桶二(25)下端均连接到放液端，第一通道循环系统循环液进出管路中间增加旁通管和一手阀ⅰ(6)；第二通道循环系统循环液进出管路中间增加旁通管和一手阀ⅱ(26)；水箱一(4)和水箱二(24)均通过两根管路对应连接到加热桶一(5)和加热桶二(25)，底部的一根管路连接到加热桶补液管，最高处的一根管路连接到加热桶排气管。

5.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，y型过滤器(7)的前后管路上分别设有手阀ⅰ(6)和流量计(8)。

6.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，磁力泵一(9)后方设有压力传感器一(10)和温度传感器一(11)；磁力泵二(29)后方设有压力传感器二(210)和温度传感器二(211)。

7.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，冷凝器(2)设有厂务进水端和出水端。

8.根据权利要求1所述的一种温控设备双通道热交换温控系统模组，其特征在于，压缩机一(1)和压缩机二(21)的高压和低压端之间均并联一个高低压保护开关(22)。

技术总结本技术提供一种温控设备双通道热交换温控系统模组，包括柜体，所述柜体内设置两通道循环系统及冷凝器；两通道循环系统均包括各自的蒸发器、水箱一、加热桶、磁力泵；两通道循环系统高温液体分别经过Y型过滤器进入到蒸发器中换热变为低温液体，再进入到加热桶中控制加热棒给液体百分比辅助加热后，经过磁力泵连接到客户端管路，加热桶上方通过水箱补液；蒸发器换热的高温气体进入压缩机压缩，压缩机的高温高压气态排出均进入到同一个冷凝器中冷却出液为常温高压液态，经过干燥过滤器后变为低温低压液态再进入蒸发器，从蒸发器出来变为低温低压气态循环回到压缩机；两个系统共用一个冷凝器，一路厂务水，合理利用空间，便于批量组装。技术研发人员：张斌,曹亚峰,石明来受保护的技术使用者：安徽优睿半导体技术有限公司技术研发日：20231116技术公布日：2024/6/26