一种用于CVD设备的循环水冷排分流装置的制作方法

本技术涉及cvd设备水冷分流装置，具体为一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置。

背景技术：

1、cvd是一种常见的制造工艺，它广泛应用于各种领域，包括半导体、太阳能电池、涂层、纳米技术、医学等，cvd设备是这种制造工艺的关键设备之一，它利用化学反应将气体沉积在基板上，形成需要的材料，如硅、氮化物、氧化物等。

2、目前市场上cvd设备技术行业，由于设备在运行阶段会产生大量的热能，为了设备的正常运转以及避免伤害到工人，cvd设备均需要添加外部水冷对设备进行保护，但现有水冷装置在排流分流中存在结构臃肿庞大，占用空间较广，不利于工人的安放和使用，导致室内空间拥挤，且安装结构较多，导致安装效率缓慢，不利于工人的安装使用，故而提出了一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，具备结构简单、便于安装和提高安装效率等优点，解决了现有市场上的排流分流设备体积臃肿庞大，占用空间广，不利于工人安放，且安装效率缓慢的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，包括进水路和出水路，所述进水路的上方设置有分隔槽，所述进水路和出水路的外表面安装有分流组件；

5、所述分流组件包括进水宝塔接头、进水开关、进水快插接头、出水宝塔接头、出水开关、水流量及温度检测仪、出水快插接头和定位孔，所述进水路的左端安装有进水宝塔接头，所述进水路的前侧设置有数量为五个的进水开关，五个所述进水开关的前侧均安装有进水快插接头，所述出水路的左端安装有出水宝塔接头，所述出水路的前侧设置有数量为五个的出水开关，五个所述出水开关的前侧均设置有水流量及温度检测仪，五个所述出水开关的前侧设置均有出水快插接头，所述分隔槽的内后壁上开设有数量为两个的定位孔。

6、进一步，所述进水路与出水路固定连接，所述分隔槽位于进水路和出水路之间。

7、进一步，两个所述定位孔为左右对称设置，所述进水宝塔接头与进水路内部的主进水通道相连接。

8、进一步，所述出水宝塔接头与出水路内部的主进水通道相连接，所述进水宝塔接头的尺寸与出水宝塔接头的尺寸相同，且外边均设置有外螺纹。

9、进一步，五个所述进水快插接头均贯穿进水路并延伸至进水路的内部，且与进水路中的通道相连接，五个所述进水开关分别位于五个进水快插接头的外表面上。

10、进一步，五个所述出水快插接头均贯穿出水路并延伸至出水路的内部，且与出水路中的通道相连接，五个所述出水开关和五个水流量及温度检测仪分别安装在五个出水快插接头的外表面上。

11、(三)有益效果

12、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

13、该用于cvd设备的循环水冷排分流装置，采用进水路和出水路通过整体结构组成，降低使用成本，结构小巧紧凑，便于安装放置，进水路、出水路上的各构件均采用螺纹进行连接，降低了工人组装生产的难度，安装方便，固定牢固使用安全，通过在出水快插接头上增加水流量及温度检测仪，用于实时监测出水路内水温和水流量变化，增加cvd设备使用中的安全性，降低使用中的安全隐患，进而方便了工作人员的使用，提高了使用的便捷性。

技术特征：

1.一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，包括进水路(1)和出水路(2)，其特征在于：所述进水路(1)的上方设置有分隔槽(3)，所述进水路(1)和出水路(2)的外表面安装有分流组件(4)；

2.根据权利要求1所述的一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，其特征在于：所述进水路(1)与出水路(2)固定连接，所述分隔槽(3)位于进水路(1)和出水路(2)之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，其特征在于：两个所述定位孔(408)为左右对称设置，所述进水宝塔接头(401)与进水路(1)内部的主进水通道相连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，其特征在于：所述出水宝塔接头(404)与出水路(2)内部的主进水通道相连接，所述进水宝塔接头(401)的尺寸与出水宝塔接头(404)的尺寸相同，且外边均设置有外螺纹。

5.根据权利要求1所述的一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，其特征在于：五个所述进水快插接头(403)均贯穿进水路(1)并延伸至进水路(1)的内部，且与进水路(1)中的通道相连接，五个所述进水开关(402)分别位于五个进水快插接头(403)的外表面上。

6.根据权利要求1所述的一种用于cvd设备的循环水冷排分流装置，其特征在于：五个所述出水快插接头(407)均贯穿出水路(2)并延伸至出水路(2)的内部，且与出水路(2)中的通道相连接，五个所述出水开关(405)和五个水流量及温度检测仪(406)分别安装在五个出水快插接头(407)的外表面上。

技术总结本技术涉及CVD设备水冷分流装置技术领域，且公开了一种用于CVD设备的循环水冷排分流装置，包括进水路和出水路，所述进水路的上方设置有分隔槽，所述进水路和出水路的外表面安装有分流组件。该用于CVD设备的循环水冷排分流装置，采用进水路和出水路通过整体结构组成，降低使用成本，结构小巧紧凑，便于安装放置，进水路、出水路上的各构件均采用螺纹进行连接，降低了工人组装生产的难度，安装方便，固定牢固使用安全，通过在出水快插接头上增加水流量及温度检测仪，用于实时监测出水路内水温和水流量变化，增加CVD设备使用中的安全性，降低使用中的安全隐患，进而方便了工作人员的使用，提高了使用的便捷性。技术研发人员：高豪,吴志坚受保护的技术使用者：无锡光钻半导体科技有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/9