应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置的制作方法

本技术涉及ito靶材生产，具体为应用于烧结窑内的ito靶材架设装置。

背景技术：

1、ito靶材是一种用于溅射和蒸镀技术材料，ito靶材的主要分类包括溅射靶和蒸镀靶，因其具有较高的耐热冲击性能、导热率和机械强度，并且电阻率较低，还能够提高电子产品的使用寿命，因此作为主要材料应用于平面液晶显示器的制造，在电子工业、信息产业方面有着广阔而重要的应用。

2、烧结是成型过程中的最后一个步骤，同时也是由之前的物理结合向转化为化学结合的最重要的一步，在对ito靶材进行烧结时，一般将其放置在烧结窑内支架上水平放置的承烧板上，承烧板虽然可以起到承载作用，但是其与ito靶材接触的部分难以被充分烧结到，基于此，本实用新型提出能够解决上述问题的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，包括：

3、垫架；

4、衬板，位于垫架上，所述衬板上端面设置有若干凸起，若干所述凸起的顶部形成一承载ito靶材的平面，且若干所述凸起呈纵横交错排列形成多条通道，多条通道相互连通，每个所述凸起上均开设有流道，所述流道竖直向下贯穿衬板；

5、接触料，填充在通道内，所述接触料可与ito靶材相接触。

6、作为一种优选的技术方案，所述凸起为半球型结构，所述流道与所述凸起中心线共线。

7、作为一种优选的技术方案，所述接触料为氧化铝粉料。

8、作为一种优选的技术方案，所述接触料具有孔隙。

9、作为一种优选的技术方案，所述衬板外侧设置有向上延伸的边沿。

10、作为一种优选的技术方案，所述衬板与所述垫架相铰接。

11、作为一种优选的技术方案，所述衬板下端面设置有进气管，所述进气管与多个流道相连通。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，将ito靶材放置在若干凸起的顶部形成的平面上，ito靶材与填充在通道内的接触料相接触，接触料起到主要支撑作用，若干凸起起到辅助支撑作用，烧结时，氧气可通过接触料的孔隙和凸起上的流道与ito靶材接触，ito靶材在烧结过程中收缩与氧气充分接触，有效提高ito靶材的烧结效果，且ito靶材收缩时可带动接触料运动，降低摩擦力，成型质量高。

技术特征：

1.应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，所述凸起(21)为半球型结构，所述流道(211)与所述凸起(21)中心线共线。

3.根据权利要求1所述的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，所述接触料(30)为氧化铝粉料。

4.根据权利要求3所述的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，所述接触料(30)具有孔隙。

5.根据权利要求1所述的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，所述衬板(20)外侧设置有向上延伸的边沿(22)。

6.根据权利要求1所述的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，所述衬板(20)与所述垫架(10)相铰接。

7.根据权利要求1所述的应用于烧结窑内的ito靶材架设装置，其特征在于，所述衬板(20)下端面设置有进气管(23)，所述进气管(23)与多个流道(211)相连通。

技术总结本技术公开了一种应用于烧结窑内的ITO靶材架设装置，包括垫架、衬板和接触料衬板位于垫架上，衬板上端面设置有若干凸起，若干凸起的顶部形成一承载ITO靶材的平面，且若干凸起呈纵横交错排列形成多条通道，多条通道相互连通，每个凸起上均开设有流道，流道竖直向下贯穿衬板，接触料填充在通道内，接触料可与ITO靶材相接触；本技术ITO靶材放置在若干凸起的顶部形成的平面上，ITO靶材与填充在通道内的接触料相接触，烧结时，氧气可通过接触料的孔隙和凸起上的流道与ITO靶材接触，ITO靶材在烧结过程中收缩与氧气充分接触，有效提高ITO靶材的烧结效果，成型质量高。技术研发人员：于军,贾桃桃,吴东升受保护的技术使用者：南通富热特窑炉有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/7/4