一种双层循环阳极电镀装置的制作方法

本技术涉及线路板以及光伏硅片，尤其涉及一种双层循环阳极电镀装置。

背景技术：

1、常规的电镀槽通常将阳极垂直设置于电镀槽中，目的是使阳极所产生的氧气从阳极的上方进入到空气中，不会进入电镀槽内将电镀槽内药水中的光剂分解。但是这种方式，阳极的下部还是浸泡于药水中，阳极的下部与药水接触产生的氧气一旦不能及时排出，还是会分解药水中的光剂，导致电镀效果不好。

2、故丞需要一种电镀效果佳，并且阳极产生的氧气不会接触到电镀槽内药水的装置。

技术实现思路

1、针对上述不足，本实用新型的目的在于提供一种双层循环阳极电镀装置，通过在电镀槽内分别设置上下阳极，从而可同时对多晶硅片的上下表层电镀，提高电镀效率，上下阳极的外部均包裹有盒子，下阳极连接有释氧槽，从而有效将下阳极与电镀槽内药水产生的氧气排出，不会分解药水中的光剂，进一步保证电镀的正常进行，提高电镀效率。

2、本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：

3、一种双层循环阳极电镀装置，包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于所述药水主槽组件的一电镀槽、依次排列设置于所述电镀槽内的数个阳极组件、设置于所述电镀槽一侧且与所述阳极组件相连接的一释氧槽组件；所述阳极组件包括设置于所述电镀槽内的一下阳极、设置于所述电镀槽内且正位于下阳极上方的一上阳极。

4、作为本实用新型的进一步改进，所述下阳极包括一下离子膜压板、设置于下离子膜压板下方的一下离子膜网板、设置于所述下离子膜压板与下离子膜网板之间的一下离子膜、分别设置于所述下离子膜网板两端下方的一下阳极板后导条、分别设置于所述下离子膜网板两侧且与所述下阳极板后导条对应连接的一下阳极板侧导条、内嵌入所述下阳极板侧导条以及下阳极板后导条中部的一下阳极板、以及设置于所述下阳极板侧导条以及下阳极板后导条下方的一下阳极盒封板；所述释氧槽组件连接于任意一个下阳极板后导条侧边上。

5、作为本实用新型的进一步改进，所述下离子膜压板以及下离子膜网板上均排列开设有数个下电镀孔。

6、作为本实用新型的进一步改进，所述下阳极盒封板下端面上还设置有贯穿电镀槽且向下延伸的一下透气管，所述下透气管上均匀排列开设有数个下透气孔。

7、作为本实用新型的进一步改进，所述上阳极包括一上离子膜压板、设置于上离子膜压板上方的一上离子膜网板、设置于所述上离子膜压板与上离子膜网板之间的一上离子膜、分别设置于所述上离子膜网板上方两端的一上阳极板后导条、分别设置于所述上离子膜网板两侧且与所述上阳极板后导条对应连接的一上阳极板侧导条、内嵌入所述上阳极板侧导条以及上阳极板后导条中部的一上阳极板、设置于所述上阳极板侧导条以及上阳极板后导条下方的一上阳极盒封板、以及设置于所述上阳极盒封板上且向上延伸的一上透气管，所述上透气管上均匀排列开设有数个上透气孔。

8、作为本实用新型的进一步改进，所述上离子膜压板以及上离子膜网板上均排列开设有数个上电镀孔。

9、作为本实用新型的进一步改进，所述释氧槽组件包括分别连接于所述下阳极侧边上的一释氧水管、连接于释氧水管另一端的一抽氧磁力泵、连接于抽氧磁力泵另一端的一释氧槽本体；所述释氧槽本体与所述药水主槽组件上端连接。

10、作为本实用新型的进一步改进，所述药水主槽组件包括架设于平面上的一药水主槽本体、设置于药水主槽本体上的抽水磁力泵、以及分别将所述电镀槽两侧与药水主槽本体连接的至少一药水管。

11、本实用新型的有益效果为：

12、通过将本装置设置为包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于所述药水主槽组件的一电镀槽、依次排列设置于所述电镀槽内的数个阳极组件、设置于所述电镀槽一侧且与所述阳极组件相连接的一释氧槽组件。所述药水主槽用于给所述电镀槽提供电镀药水。所述阳极组件在所述电镀槽内为电镀槽内的多晶硅片上下表层分别进行电镀。所述释氧槽组件将下阳极和药水主槽组件内的氧气抽出，进而防止氧气与电镀槽内的药水或者药水主槽组件内的药水接触，分解药水中的光剂，影响后续电镀的效果。

13、通过将所述阳极组件设置为包括所述阳极组件包括设置于所述电镀槽内的一下阳极、设置于所述电镀槽内且正位于下阳极上方的一上阳极。多晶硅片被传送至所述下阳极和所述上阳极中间，所述上阳极给多晶硅片的上表面镀铜，所述下阳极给多晶硅片的下表面镀铜，从而实现同一时间将多晶硅片的表面电镀完成，提高了电镀效率，满足现代高速发展的生产需求。

14、上述是实用新型技术方案的概述，以下结合附图与具体实施方式，对本实用新型做进一步说明。

技术特征：

1.一种双层循环阳极电镀装置，其特征在于：包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于所述药水主槽组件的一电镀槽、依次排列设置于所述电镀槽内的数个阳极组件、设置于所述电镀槽一侧且与所述阳极组件相连接的一释氧槽组件；所述阳极组件包括设置于所述电镀槽内的一下阳极、设置于所述电镀槽内且正位于下阳极上方的一上阳极。

2.根据权利要求1所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下阳极包括一下离子膜压板、设置于下离子膜压板下方的一下离子膜网板、设置于所述下离子膜压板与下离子膜网板之间的一下离子膜、分别设置于所述下离子膜网板两端下方的一下阳极板后导条、分别设置于所述下离子膜网板两侧且与所述下阳极板后导条对应连接的一下阳极板侧导条、内嵌入所述下阳极板侧导条以及下阳极板后导条中部的一下阳极板、以及设置于所述下阳极板侧导条以及下阳极板后导条下方的一下阳极盒封板；所述释氧槽组件连接于任意一个下阳极板后导条侧边上。

3.根据权利要求2所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下离子膜压板以及下离子膜网板上均排列开设有数个下电镀孔。

4.根据权利要求2所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述下阳极盒封板下端面上还设置有贯穿电镀槽且向下延伸的一下透气管，所述下透气管上均匀排列开设有数个下透气孔。

5.根据权利要求1所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述上阳极包括一上离子膜压板、设置于上离子膜压板上方的一上离子膜网板、设置于所述上离子膜压板与上离子膜网板之间的一上离子膜、分别设置于所述上离子膜网板上方两端的一上阳极板后导条、分别设置于所述上离子膜网板两侧且与所述上阳极板后导条对应连接的一上阳极板侧导条、内嵌入所述上阳极板侧导条以及上阳极板后导条中部的一上阳极板、设置于所述上阳极板侧导条以及上阳极板后导条下方的一上阳极盒封板、以及设置于所述上阳极盒封板上且向上延伸的一上透气管，所述上透气管上均匀排列开设有数个上透气孔。

6.根据权利要求5所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述上离子膜压板以及上离子膜网板上均排列开设有数个上电镀孔。

7.根据权利要求1所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述释氧槽组件包括分别连接于所述下阳极侧边上的一释氧水管、连接于释氧水管另一端的一抽氧磁力泵、连接于抽氧磁力泵另一端的一释氧槽本体；所述释氧槽本体与所述药水主槽组件上端连接。

8.根据权利要求1所述的双层循环阳极电镀装置，其特征在于：所述药水主槽组件包括架设于平面上的一药水主槽本体、设置于药水主槽本体上的抽水磁力泵、以及分别将所述电镀槽两侧与药水主槽本体连接的至少一药水管。

技术总结本技术公开了一种双层循环阳极电镀装置，包括架设于平面上的至少一药水主槽组件、连接于所述药水主槽组件的一电镀槽、依次排列设置于所述电镀槽内的数个阳极组件、设置于所述电镀槽一侧且与所述阳极组件相连接的一释氧槽组件；所述阳极组件包括设置于所述电镀槽内的一下阳极、设置于所述电镀槽内且正位于下阳极上方的一上阳极。本技术通过在电镀槽内分别设置上下阳极，从而可同时对多晶硅片的上下表层电镀，提高电镀效率，上下阳极的外部均包裹有盒子，下阳极连接有释氧槽，从而有效将下阳极与电镀槽内药水产生的氧气排出，不会分解药水中的光剂，进一步保证电镀的正常进行，提高电镀效率。技术研发人员：杨毅,林琼辉,李冠章受保护的技术使用者：东莞市优唯智能设备有限公司技术研发日：20231013技术公布日：2024/5/16