一种低应力盘式多层膜双槽刷镀装置

本发明涉及低应力多层膜刷镀，尤其涉及一种低应力盘式多层膜双槽刷镀装置以及一种低应力盘式多层膜双槽刷镀设备。

背景技术：

1、随着电镀技术的逐步发展，对于多层镀层的需求越来越多。电镀技术由于其操作简单、成本较低、镀层质量高、加工周期短、材料可控等优点被广泛应用于零件表面处理等领域，解决零件的耐腐蚀性、耐磨性、防粘附等要求。但是单个镀层能够满足的需求还比较局限，多层膜由于其优异的力学性能、电学性能等，拥有广泛的应用前景，受到人们的广泛关注。

2、目前制备多层膜的方法，主要有物理法、化学法和电化学方法。物理法和化学法，对于加工环境有着较严格的要求，同时加工设备昂贵，成本较高，不利于广泛应用。而电化学方法制备成本低廉、工艺简单、成型精度高，能够实现传统机加工难以达到的精度。但是电化学方法的显著问题在于电镀液、阴极的更换以及镀层较高的内应力，每次只能沉积一种镀层并且镀层容易出现翘曲的问题，导致镀层质量不高的同时，时间成本较高。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种操作简单，成本较低，能够通过控制其旋转进而调控镀层成分、镀层厚度，以及电镀位置实现多层膜的沉积，并可根据生产需求选择对应的电镀液以及阴、阳两极，同时可通过优化电镀工艺参数、改变电源类型、改变电镀液成分、引入新材料等实现低应力多层膜成型的一种低应力盘式多层膜双槽刷镀装置。

2、为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

3、一种低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，包括电镀槽模块、阴极模块；电镀槽材料为pmma,利用其自重以及底部密封圈与阴极模块紧密接触实现电镀液的密封，电镀槽的周向设有限位块，用于保证电镀槽不随阴极模块转动，电镀槽内设有交替的两个电镀液槽以及两个水槽，分别用于不同镀层的成型以及镀层表面电镀液的清洗，电镀槽内装有阳极夹具以及可更换阳极，电镀槽顶部装有电镀槽盖板用于防止异物进入电镀液以及电镀液的蒸发，阳极导线实现阳极与电镀电源的连接；阴极模块包括阴极、阴极转台，阴极转台内设有环状凹槽结构，用于阴极的同轴定位，再通过阴极转台圆周的螺栓夹紧固定阴极，实现阴极与阴极转台的同步旋转，通过阴极转台控制阴极旋转进而调控镀层成分、镀层厚度，以及电镀位置实现多层膜的沉积；

4、电镀液槽内壁焊接有阳极夹具，通过旋紧阳极夹具上的螺栓将可更换阳极与阳极夹具固定在一起，阳极夹具上连接有阳极导线实现阳极与电镀电源的连接，通过阴极转台控制阴极旋转进而将阴极的不同位置暴露在相应的电镀液槽中实现多层镀层的沉积。

5、电镀槽内设有交替的两个电镀液槽以及两个水槽，在一个电镀液槽中镀层沉积完成后，进入水槽清洗掉镀层表面的电镀液后进入下一个电镀液槽，保证电镀液之间不相互污染。

6、电镀槽材料为pmma，利用其自重以及底部密封圈与阴极模块紧密接触实现电镀液的密封，电镀槽底部的密封圈嵌入粘接在电镀槽的底部，电镀槽的周向设有限位块，用于电镀槽与工作台的周向定位，保证电镀槽不随阴极旋转，电镀槽顶部装有电镀槽盖板用于防止异物进入电镀液以及电镀液的蒸发。

7、可根据生产需求选择对应的电镀液以及阴、阳两极，并可通过优化电镀工艺参数、改变电源类型、改变电镀液成分、引入新材料等实现低应力多层膜成型。

8、一种低应力盘式多层膜双槽刷镀设备，包括如上述中所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，还包括过滤储液模块以及工作台；

9、低应力盘式多层膜双槽刷镀装置被定位安装在工作台的凹槽中，过滤储液模块包括两个相同的过滤储液装置，分别用于两个电镀液槽中电镀液的过滤、储存以及运输，过滤储液模块安装在工作台两侧。

10、与现有技术相比，本发明的优点在于可根据生产需求选择对应的电镀液以及阴、阳两极，大大降低了生产成本的同时操作简单，并可选择镀层成分、镀层厚度以及电镀位置，还可通过优化电镀工艺参数、改变电源类型、改变电镀液成分、引入新材料等实现低应力多层膜的成型。

技术特征：

1.一种低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，包括电镀槽模块、阴极模块；

2.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，阴极(24)通过螺栓夹紧固定在阴极转台(1)上实现阴极(24)与阴极转台(1)的同步旋转，阴极转台(1)底部设有开孔，实现阴极(24)与电镀电源的导通。

3.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，电镀槽内设有交替的两个电镀液槽1(16)、电镀液槽2(21)以及两个水槽1(18)、水槽2(23)，在一个电镀液槽中镀层沉积完成后，进入水槽清洗掉镀层表面的电镀液后进入下一个电镀液槽沉积镀层。在实现多层膜成型的同时，保证电镀液之间不相互污染。

4.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，电镀液槽1(16)、电镀液槽2(21)内壁焊接有阳极夹具1(6)、阳极夹具2(11)，通过旋紧阳极夹具1(6)、阳极夹具2(11)上的螺栓将可更换阳极1(5)、阳极2(10)与阳极夹具1(6)、阳极夹具2(11)固定在一起，阳极夹具1(6)、阳极夹具2(11)上连接有阳极导线1(7)、阳极导线2(9)实现阳极1(5)、阳极2(10)与电镀电源的连接，通过阴极转台(1)控制阴极(24)旋转进而将阴极的不同位置暴露在相应的电镀液槽中实现镀层的沉积。

5.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，电镀槽(2)材料为pmma，利用其自重以及底部密封圈(13、14、15、17、19、22)与阴极模块紧密接触实现电镀液的密封。

6.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，电镀槽(2)底部的密封圈(13、14、15、17、19、22)嵌入粘接在电镀槽(2)的底部凹槽中。

7.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，电镀槽(2)的周向设有限位块，用于电镀槽(2)与工作台(25)的周向定位，保证电镀槽(2)不随阴极(24)旋转。

8.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，电镀槽(2)顶部装有电镀槽盖板1(4)、电镀槽盖板2(5)、电镀槽盖板3(8)、电镀槽盖板4(12)用于防止异物进入电镀液以及电镀液的蒸发。

9.根据权利要求1所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，其特征在于，可根据生产需求选择对应的电镀液以及阴、阳两极，并可通过优化电镀工艺参数、改变电源类型、改变电镀液成分、引入新材料等实现低应力多层膜成型。

10.一种低应力盘式多层膜双槽刷镀设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的低应力盘式多层膜双槽刷镀装置；

技术总结本发明提出一种低应力盘式多层膜双槽刷镀装置，包括电镀槽模块、阴极模块；其中，电镀槽模块包括电镀槽、密封圈、阳极夹具、阳极；阴极模块包括阴极转台、阴极；阴极转台内固定有阴极，通过阴极转台控制其旋转，电镀槽的周向设有限位块，保证电镀槽不随阴极旋转，电镀槽内设有交替的两个电镀液槽以及两个水槽，分别用于不同镀层的成型以及镀层表面电镀液的清洗，电镀槽内装有阳极夹具以及可更换阳极，所述低应力盘式多层膜双槽刷镀装置能够通过控制其旋转进而调控镀层成分、镀层厚度，以及电镀位置实现多层膜的成型，可根据生产需求选择对应的电镀液以及阴、阳两极，并可通过优化电镀工艺参数、改变电镀液成分等实现低应力多层膜成型。技术研发人员：张露,杨迪,蒋炳炎受保护的技术使用者：中南大学技术研发日：技术公布日：2024/5/27