一种硅片用铜电镀半片花篮的制作方法

本技术涉及太阳能电池及半导体制造，尤其是指一种硅片用铜电镀半片花篮。

背景技术：

1、电镀过程中，需要将待镀件与直流电源的阴极连接，具有用于涂覆的金属的阳极与直流电源的阳极连接，两者浸没在含有金属离子的电镀液中，当电源接通后，金属离子沉积在零件表面形成金属镀层；电镀时需要将硅片放入电镀液当中，在此过程中，硅片需要以夹具作为载体。目前所使用的夹具采用平板式夹具，存在以下缺陷：

2、1、从两侧将硅片夹在中间，硅片表面由硬质装夹头夹紧，装夹力度较大，碎片率较高；

3、2、夹具采用锁紧装置锁紧，拆装耗时长，降低了生产效率；

4、3、硅片采用平铺式装载，占用面积较大，不仅容易出现夹具变形的情况，还导致设备体积较大，电镀液消耗较大。

技术实现思路

1、为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中硅片电镀过程中，夹具结构不合理，造成硅片电镀存在较大局限性的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片用铜电镀半片花篮，包括：花篮电极，其为对称设置的两个；棘轮组件，其设置在花篮电极上，每个所述花篮电极上设有两个棘轮组件；花篮外框架，其长度方向的两端均分别与花篮电极连接；e型架夹持组件，其设置为若干，并且若干e型架夹持组件处于同一直线且平行设置，所述e型架夹持组件上夹持有硅片。

3、在本实用新型的一个实施例中，所述花篮外框架长度方向的两端均连接有防护侧板，所述防护侧板分别位于若干e型架夹持组件所在直线的两端。

4、在本实用新型的一个实施例中，所述棘轮组件包括转轴、轴套和两个平行设置的棘轮本体，所述转轴的一端与花篮电极连接，所述轴套通过轴承和转轴连接，所述两个平行设置的棘轮本体与轴套的外壁固定连接。

5、在本实用新型的一个实施例中，所述花篮外框架包括连接架体和两块对称设置的电极安装板，所述两块对称设置的电极安装板分别设置在连接架体长度方向的两端，并且连接架体和两块对称设置的电极安装板呈“u”型设置，所述电极安装板上安装有花篮电极。

6、在本实用新型的一个实施例中，所述连接架体为由若干横纵交叉连接的矩形板构成栅格板状。

7、在本实用新型的一个实施例中，所述电极安装板的上端部设有挂钩，所述挂钩用于花篮的悬挂。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述连接架体上设有若干平行设置的e型连接板，所述e型架夹持组件的上端部与e型连接板固定连接。

9、在本实用新型的一个实施例中，所述e型架夹持组件包括侧杆一、中间杆、侧杆二和下连接杆，所述侧杆一、中间杆和侧杆二平行设置，所述侧杆一、中间杆和侧杆二的下端部与下连接杆固定连接，所述侧杆一、中间杆、侧杆二和下连接杆呈“e”字形设置，所述侧杆一、中间杆和侧杆二上均设有硅片夹爪一和硅片夹爪二，所述硅片夹爪一和硅片夹爪二之间夹持硅片。

10、在本实用新型的一个实施例中，所述硅片夹爪一包括安装部、夹持部和压紧凸部，所述安装部通过紧固件和e型架夹持组件固定连接，所述夹持部的一端和安装部固定连接，所述压紧凸部设置在夹持部与所述硅片夹爪二相对的端面上。

11、在本实用新型的一个实施例中，所述硅片夹爪二包括安装片、弹性连接片和v型压紧板，所述安装片通过紧固件和e型架夹持组件固定连接，所述v型压紧板通过弹性连接片和安装片连接，所述v型压紧板为v型板，并且所述v型压紧板的v型凸出朝向硅片夹爪一一侧，所述v型压紧板和压紧凸部之间设有硅片。

12、本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

13、本实用新型所述的硅片用铜电镀半片花篮，采用框架式设计，e型架设计到底部与上部连接；单组e型架均设有两组夹持机构，夹持机构单侧为固定，通过另一侧夹持对产品进行通电和固定，顶端两侧分别设计有电极，电极两侧增加棘轮机构，用于花篮的驱动，该机构设计简单，硅片夹持更加稳定，并且能够一次性装夹较多的硅片进行同时电镀，提高了生产效率。

技术特征：

1.一种硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述花篮外框架长度方向的两端均连接有防护侧板，所述防护侧板分别位于若干e型架夹持组件所在直线的两端。

3.根据权利要求1所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述棘轮组件包括转轴、轴套和两个平行设置的棘轮本体，所述转轴的一端与花篮电极连接，所述轴套通过轴承和转轴连接，所述两个平行设置的棘轮本体与轴套的外壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述花篮外框架包括连接架体和两块对称设置的电极安装板，所述两块对称设置的电极安装板分别设置在连接架体长度方向的两端，并且连接架体和两块对称设置的电极安装板呈“u”型设置，所述电极安装板上安装有花篮电极。

5.根据权利要求4所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述连接架体为由若干横纵交叉连接的矩形板构成栅格板状。

6.根据权利要求4所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述电极安装板的上端部设有挂钩，所述挂钩用于花篮的悬挂。

7.根据权利要求4所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述连接架体上设有若干平行设置的e型连接板，所述e型架夹持组件的上端部与e型连接板固定连接。

8.根据权利要求1所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述e型架夹持组件包括侧杆一、中间杆、侧杆二和下连接杆，所述侧杆一、中间杆和侧杆二平行设置，所述侧杆一、中间杆和侧杆二的下端部与下连接杆固定连接，所述侧杆一、中间杆、侧杆二和下连接杆呈“e”字形设置，所述侧杆一、中间杆和侧杆二上均设有硅片夹爪一和硅片夹爪二，所述硅片夹爪一和硅片夹爪二之间夹持硅片。

9.根据权利要求8所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述硅片夹爪一包括安装部、夹持部和压紧凸部，所述安装部通过紧固件和e型架夹持组件固定连接，所述夹持部的一端和安装部固定连接，所述压紧凸部设置在夹持部与所述硅片夹爪二相对的端面上。

10.根据权利要求9所述的硅片用铜电镀半片花篮，其特征在于：所述硅片夹爪二包括安装片、弹性连接片和v型压紧板，所述安装片通过紧固件和e型架夹持组件固定连接，所述v型压紧板通过弹性连接片和安装片连接，所述v型压紧板为v型板，并且所述v型压紧板的v型凸出朝向硅片夹爪一一侧，所述v型压紧板和压紧凸部之间设有硅片。

技术总结本技术涉及一种硅片用铜电镀半片花篮，包括：花篮电极，其为对称设置的两个；棘轮组件，其设置在花篮电极上，每个所述花篮电极上设有两个棘轮组件；花篮外框架，其长度方向的两端均分别与花篮电极连接；E型架夹持组件，其设置为若干，并且若干E型架夹持组件处于同一直线且平行设置，所述E型架夹持组件上夹持有硅片。本技术所述的硅片用铜电镀半片花篮，采用框架式设计，E型架设计到底部与上部连接；单组E型架均设有两组夹持机构，夹持机构单侧为固定，通过另一侧夹持对产品进行通电和固定，顶端两侧分别设计有电极，电极两侧增加棘轮机构，用于花篮的驱动，该机构设计简单，硅片夹持更加稳定。技术研发人员：戴军,罗银兵,刘勇受保护的技术使用者：罗博特科智能科技股份有限公司技术研发日：20231106技术公布日：2024/6/18