远程自动补液系统的制作方法

本技术属于补液设备领域，具体涉及一种远程自动补液系统。

背景技术：

1、在晶圆电镀工序中，一般将晶圆置于电镀槽的电镀液中，将电压负极施加到晶圆上预先制作好的薄金属层，将电压正极施加到可溶解或不可溶解的阳极上，通过电场作用使电镀液中的金属离子沉积到晶圆表面。但是，在晶圆的电镀过程中，电镀液会产生消耗，需要使用药液添加装置向电镀槽中补充药液。

2、目前，现有的药液添加装置一般包括运输小车、补液管道，补液时，需要工人在储液站将盛有所需的药液储液罐放置在运输小车上，然后将运输小车推至电镀设备旁，并将补液管道连接储液罐和电镀槽，在泵的输送动力下完成药液的添加。

3、然而，在操作过程中，存在以下缺陷：

4、1、无法对泵的流量在线进行检测和校准，这样一来，不能保证准确控制每次添加的药液量，影响晶圆电镀质量；

5、2、每次添加时需要人工完成药液罐的选择和搬运、运输小车的推送、以及补液管道的插接操作，操作繁琐，耗时久，补液效率低，从而不能及时维持电镀液浓度的稳定。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的远程自动补液系统。

2、为解决以上技术问题，本实用新型采取如下技术方案：

3、一种远程自动补液系统，其用于向电镀槽补充药液，补液系统包括机箱、储液单元、输液单元、校准辅助单元以及控制单元，其中储液单元包括对应盛放有多种药液的多个储液瓶；输液单元包括分别连通多个储液瓶与电镀槽的多根输液管道、对应设置在每根输液管道上的第一阀门和输液泵；校准辅助单元包括与多根输液管道相连通的排液管道、设置在排液管道上的第二阀门、设置在排液管道出液口的计量杯；控制单元用于分别控制各输液泵启停，校准时，多个第一阀门关闭，第二阀门开启，且控制单元控制输液泵逐个启动并驱使各药液依次流入计量杯；补液时，多个第一阀门开启，第二阀门关闭，控制单元启动输液泵以驱使对应的药液流入电镀槽。

4、优选地，第一阀门为三通阀，排液管道与多个第一阀门相同步连接设置。在此，保证药液精准进入电镀槽或者计量杯。

5、优选地，排液管道包括主管、与多个第一阀门一一对应连接的多根支管；第二阀门采用三通阀，且多个第二阀门对应连接在多根支管与主管之间。在此，各输液管道与排液管道之间形成并联布局，能够节约管道的用量，并节省机箱空间，同时，结构简单，便于安装和实施。

6、优选地，机箱内设有上下分布的多个腔室，其中储液单元、输液单元、校准辅助单元分别安装在对应的腔室内。

7、进一步的，多个腔室相连通设置；机箱内腔的顶部还设有空气净化器，且机箱的侧壁上设有与空气净化器相连接的出风口。在此，维持机箱内空气的洁净；同时，能够对储液瓶内药液蒸发所产生的有害气体进行集中处理，减少对车间的污染。

8、优选地，每个腔室具有能够打开或闭合的门板，其中控制单元和储液单元所在的腔室的门板位于机箱的同一侧。

9、具体的，控制单元和储液单元所在的腔室的门板均为透明玻璃。在此，方便工作人员在进行控制操作时观察各储液瓶内药液的余量。

10、优选地，机箱的底部还设有接水槽，其中接水槽能够自机箱的底部抽出或收回设置。在此，能够对滴落的药液进行收集。

11、优选地，补液系统还包括用于自电镀槽内抽取电镀液的取样单元，控制单元根据取样结果控制对应的输液泵以向电镀槽内添加相应的药液。在此，根据取样结果，能够更为准确地控制药液的添加量。

12、具体的，取样单元包括形成有多个放置槽的支架、对应放置在每个放置槽内的取样瓶、连通取样瓶与电镀槽的取样管道。

13、由于以上技术方案的实施，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

14、现有技术的药液添加装置由于无法对泵的流量进行检测和校准，存在不能准确控制药液添加量的缺陷，而且操作繁琐、补液效率低，而本申请对补液系统的结构进行整体设计，巧妙解决现有技术的不足和缺陷，采取该补液系统后，可以对各输液泵的流量进行检测，首先关闭所有第一阀门，开启第二阀门，逐个控制每个输液泵开启，使得药液通过排液管道流入计量杯中以检测其流量，根据检测结果来对输液泵的流量进行校准操作；补液时，关闭第二阀门，并打开所述第一阀门，根据实际补液需要，控制对应的输液泵向电镀槽内添加相应的药液，因此，与现有技术相比，本实用新型一方面能够对泵的流量进行在线检测以辅助校准，从而有效提高每次药液添加量的精准度，保证晶圆电镀质量；另一方面实现远程向电镀槽补充各种药液，操作简单、省力，补液效率高，从而能够及时维持电镀液浓度的稳定，同时，能够搭配不同类型的电镀设备使用，适用性广。

技术特征：

1.一种远程自动补液系统，其用于向电镀槽补充药液，其特征在于：所述补液系统包括机箱、储液单元、输液单元、校准辅助单元以及控制单元，其中所述储液单元包括对应盛放有多种药液的多个储液瓶；所述输液单元包括分别连通所述多个储液瓶与电镀槽的多根输液管道、对应设置在每根所述输液管道上的第一阀门和输液泵；所述校准辅助单元包括与所述多根输液管道相连通的排液管道、设置在所述排液管道上的第二阀门、设置在所述排液管道出液口的计量杯；所述控制单元用于分别控制各所述输液泵启停，校准时，多个所述第一阀门关闭，所述第二阀门开启，且所述控制单元控制所述输液泵逐个启动并驱使各药液依次流入所述计量杯；补液时，多个所述第一阀门开启，所述第二阀门关闭，所述控制单元启动所述输液泵以驱使对应的药液流入电镀槽。

2.根据权利要求1所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述第一阀门为三通阀，所述排液管道与多个所述第一阀门相同步连接设置。

3.根据权利要求2所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述排液管道包括主管、与多个所述第一阀门一一对应连接的多根支管；所述第二阀门采用三通阀，且多个所述第二阀门对应连接在所述多根支管与所述主管之间。

4.根据权利要求1所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述机箱内设有上下分布的多个腔室，其中所述储液单元、输液单元、校准辅助单元分别安装在对应的所述腔室内。

5.根据权利要求4所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述多个腔室相连通设置；所述机箱内腔的顶部还设有空气净化器，且所述机箱的侧壁上设有与所述空气净化器相连接的出风口。

6.根据权利要求4所述的远程自动补液系统，其特征在于：每个所述腔室具有能够打开或闭合的门板，其中所述控制单元和所述储液单元所在的所述腔室的门板位于所述机箱的同一侧。

7.根据权利要求6所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述控制单元和所述储液单元所在的所述腔室的门板均为透明玻璃。

8.根据权利要求1所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述机箱的底部还设有接水槽，其中所述接水槽能够自所述机箱的底部抽出或收回设置。

9.根据权利要求1所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述补液系统还包括用于自所述电镀槽内抽取电镀液的取样单元，所述控制单元根据取样结果控制对应的所述输液泵以向所述电镀槽内添加相应的药液。

10.根据权利要求9所述的远程自动补液系统，其特征在于：所述取样单元包括形成有多个放置槽的支架、对应放置在每个所述放置槽内的取样瓶、连通所述取样瓶与所述电镀槽的取样管道。

技术总结本技术涉及的远程自动补液系统，其用于向电镀槽补充药液，补液系统包括机箱、储液单元、输液单元、校准辅助单元以及控制单元。本技术一方面能够对泵的流量进行在线检测以辅助校准，从而有效提高每次药液添加量的精准度，保证晶圆电镀质量；另一方面实现远程向电镀槽补充各种药液，操作简单、省力，补液效率高，从而能够及时维持电镀液浓度的稳定，同时，能够搭配不同类型的电镀设备使用，适用性广。技术研发人员：孙雪峰受保护的技术使用者：晟盈半导体设备（江苏）有限公司技术研发日：20231130技术公布日：2024/7/11