一种柔性压阻式应力传感器及其制备方法与流程

本发明属于柔性电子材料和传感技术领域，具体涉及一种柔性压阻式应力传感器及其制备方法。

背景技术：

随着新一代柔性电子材料和传感技术的快速发展，柔性应力传感器克服了易脆的缺点，且具有较好的生物相容性、可拉伸性、透明性、可穿戴性和连续检测等优势。柔性应力传感器常用的导电材料包括纳米粒子、碳纳米管、金属纳米线、石墨烯和有机导电材料等。目前单一材料的简单特性，已经不能够满足人们对材料多功能化的需求，只有不断寻找多种材料复合，才能提高材料优势和多功能化。

由于无机材料的本质，ag纳米线和柔性衬底之间建立的连接并不紧密，导致ag纳米线导电网络容易脱落和破坏，薄膜性能下降，使柔性压阻式应力传感器的透过性和柔性下降；同时，通过暴露在空气环境下，银纳米线由于氧化还原电位较低，容易被氧化，导致导电性能下降，使用寿命降低；而且单纯一种ag纳米线无法满足于现代社会对兼具多功能性的新型透明导电薄膜电极的需求，因此现在需要一种高透过性、柔性和导电性良好的柔性压阻式应力传感器。

技术实现要素：

针对现有技术存在的问题，本发明的目的之一在于提供一种柔性压阻式应力传感器。本发明的另一目的在于提供上述柔性压阻式应力传感器的制备方法。

本发明采用以下技术方案：

一种柔性压阻式应力传感器由第一pdms(聚二甲基硅氧烷)微结构衬底、ag纳米线/pedot:pss导电层、第二pdms微结构衬底和导线(例如导电铜线)组成，所述第一pdms微结构衬底和第二pdms微结构衬底包夹住ag纳米线/pedot:pss导电层。

进一步地，所述第一pdms微结构衬底和/或第二pdms微结构衬底具有网格微结构。

进一步地，所述第一pdms微结构衬底和/或第二pdms微结构衬底由近场静电纺丝的方式构筑。

进一步地，所述第一pdms微结构衬底和/或第二pdms微结构衬底由以下步骤制得：

(1)在一定湿度条件下，将聚丙烯腈(pan)溶解于n-n二甲基甲酰胺(dmf)溶剂中，混匀，得到溶液a；所述湿度为10-80％，优选地为30-50％，例如30％、40％、50％；溶液a的浓度为1-50wt％，优选地为6-20wt％，例如6wt％、10wt％、20wt％。

(2)将溶液a在60-80℃下恒温搅拌6-8h，得到纺丝溶液，密封保存备用；

(3)将纺丝溶液转入注射器中，使用近场静电纺丝机将纺丝溶液纺于衬底上，得到有序有机网格衬底前体；所述衬底使用的是导电ito玻璃、不锈钢片、铝箔、锡纸中的一种或几种，衬底厚度为0.01-10cm，优选地为0.1-3cm，更优选地为0.2-1cm，衬底的长宽无限制；所述注射器直径为10-15mm，优选地为13mm；所述静电纺丝条件：推进速率为0.001-0.05ml/min，优选地为0.003-0.02ml/min，电压为2.5-8.5kv，优选地为3.6-7.8kv，针头于衬底距离为0.1-5mm，优选地为0.5-2mm，接收器运行速度为1-300mm/s，优选地为10-250mm/s，纺完一条线停留时间为1-50s，优选地为10-20s，网格间隔为10-800μm，优选地为100-500μm；

(4)将有序有机网格衬底前体加热，固化，得到pan有机纤维有序网格衬底；所述加热温度为40-200℃，优选地为50-100℃；所述固化时间为10-100min，优选地为30-60min；

(5)将pdms溶液旋涂至pan有机纤维有序网格衬底，预固化，熟化，得到复合衬底；所述旋涂转速为100-800rpm，优选地为在200-600rpm转速下；预固化温度为50-100℃，优选地为60-80℃，预固化时间为10-120min，优选地为30-60min；熟化温度为60-200℃，优选地为80-120℃，熟化时间为3-10h，优选地为4-6h；

(6)将复合衬底置于溶解剂中，除去pan有机纤维有序网格，留下有序网格凹槽，烘干，得到pdms微结构衬底；所述溶解剂为水与乙醇(体积比为1:0.1-10)的混合溶液；溶解条件：温度为30-100℃，优选地为60℃，搅拌转速为100-1500rpm，优选地为900rpm，搅拌时间为1-10h，优选地为2-4h，超声震荡时间为0.5-5h，优选地为1-2h；烘干时间为20min-60min，优选地为30min，烘干温度为30℃-100℃，优选地为60℃。

进一步地，步骤(1)中所述的湿度在30-50％的条件下，可以预防纺丝过程中的滴液现象。

进一步地，步骤(3)中所述的近场静电纺丝机型号：鸿隼企业有限公司，直写型高压纺丝设备fes-cow。

进一步地，步骤(3)中所述的静电纺丝法相对于普通刻蚀，开辟了一种新的刻蚀方法，具有凹槽面积大，易制备，成本低的优势。

进一步地，步骤(5)中所述的pdms溶液采用的是道康宁sylgard184硅橡胶基本成分pdms与固化剂按10：1比例混合制成。

可选地，所述ag纳米线/pedot:pss导电层的制备方法包括以下步骤：将2-20mg干燥的ag纳米线加入到0.1-10ml的pedot：pss悬浮液中(例如4mg、6mg、8mg或12mg的干燥的ag纳米线加入到1ml的pedot：pss悬浮液中)，搅拌均匀，其中pedot：pss的质量比为1：1。

进一步地，所述柔性压阻式应力传感器，由以下方法制得：

1)将具有粘性的ag纳米线/pedot:pss复合溶液黏附在第一和第二pdms微结构衬底之间，形成导电层，烘干，得到柔性压阻式应力传感器前体薄膜；所述ag纳米线和pedot:pss复合溶液的质量比为1：0.5-5，优选地为1:1；所述pedot:pss复合溶液的涂覆体积为1-15ml，优选地为2-10ml；所述pedot：pss复合溶液的产自珠海凯为光电技术有限公司elp3145；所述烘干温度为50-100℃，优选地为60-80℃，烘干时间为0.5-5h，优选地为1-3h；所述导电层为ag纳米线/pedot:pss导电层；

2)从柔性压阻式应力传感器前体薄膜的第一和第二pdms微结构衬底分别引出两条导线得到柔性压阻式应力传感器。

进一步地，所述ag纳米线/pedot:pss导电层中的ag纳米线通过水热法合成，具体地为：

(a)在室温下，将葡萄糖、硝酸银、硫酸铁分别溶解于溶剂中，按一定体积比取上述三种溶液混匀，得到混合物a；所述葡萄糖的用量为0.1-5mmol，优选地为2mmol，浓度为0.10mol/l-0.50mol/l，优选地为0.25mol/l；所述硝酸银的用量为0.1-5mmol，优选地为1.5mmol，浓度为0.001mol/l-0.500mol/l，优选地为0.075mol/l；所述硫酸铁的用量为0.1-5mmol，优选地为0.3mmol，浓度为0.01mol/l-0.05mol/l，优选地为0.03mol/l；所述三种溶液的体积比为2：1-5：0.5-3，优选地为2：2：1；所述溶剂为无机溶剂，优选地为去离子水；

(b)将混合物a磁力搅拌产生亮黄色溶液b；所述搅拌时间为1-50min，优选地为10m；

(c)将聚乙烯吡咯烷酮(pvp，k30)加入溶液b中，混匀，得到溶液c；所述pvp的质量为1-10g，优选地为4.5g；

(d)将溶液c转移高压反应釜中，密封，加热，获得灰绿色沉淀；所述溶液c的体积为10-1000ml，优选地为100ml；所述加热温度为100-200℃，优选地为180℃，加热时间为1-10h，优选地为6h；

(e)洗涤剂洗涤上述沉淀，除去ag纳米线表面上的氧化层；所述洗涤剂为强氧化性溶液，优选地为稀硝酸溶液；

(f)在步骤(e)的体系中加入乙醇，离心，除去过量的硝酸，反复过滤得到ag纳米线。

本发明的有益效果：

1、近场静电纺丝法制备pdms微结构衬底，方法简单、易操作、可以批量化生产；

2、pdms微结构衬底有效地增强衬底表面吸附能力；

3、具有不同间隙大小的微结构pdms微结构衬底，间隙的大小不同，导电通路的密集度不同，间隙越小，通路越多，灵敏度越高；

4、嵌入pdms微结构弹性薄膜缝隙的ag纳米线/pedot:pss导电层，实现了导电网络的联通性；

5、ag纳米线网络复合pedot:pss，加强了ag纳米线网络导电性能的可协调性，扩大了ag纳米线的适用范围；

6、ag纳米线网络复合pedot:pss，使线与线之间接触节点处，具有可按压的空隙，使电阻变化范围提高；

7、柔性压阻式应力传感器前体薄膜具有良好的耐弯折性能：弯曲1000次，电阻只降低5％，具有可拉伸、可按压等力学性能，适用于制备柔性传感器等电子元器件。

附图说明

图1是制备基于pdms微结构衬底的ag纳米线/pedot:pss薄膜的实验流程图(大致流程为：近场静电纺丝丝纺有序网格→有序网格衬底→涂覆pdms溶液→涂覆ag纳米线/pedot:pss复合溶液)；

图2是柔性压阻式应力传感器示意图，1为第一pdms微结构衬底；2为第二pdms微结构衬底；3为ag纳米线/pedot:pss导电层；4为导电铜线；

图3是基于pdms微结构衬底的ag纳米线/pedot:pss复合薄膜的sem图；

图4是pdms微结构衬底的光学显微镜图；

图5是柔性压阻式应力传感器在0-1kpa间的循环200s测试图；

图6是柔性压阻式应力传感器在恒力1kpa作用下力的响应度图；

图7是初始电阻为250ω柔性压阻式应力传感器在100kpa的测试图；

图8是初始电阻为275ω柔性压阻式应力传感器在100kpa的测试图；

图9是初始电阻为265ω柔性压阻式应力传感器在100kpa的测试图；

具体实施方式

为了更好的解释本发明，现结合以下具体实施例做进一步说明，但是本发明不限于具体实施例。

实施例1

一种pdms微结构衬底的制备方法，包括以下步骤：

在湿度为50％的条件下，将聚丙烯腈(pan)溶解于n-n二甲基甲酰胺(dmf)溶剂中配置成15wt％浓度的溶液；将上述溶液在60℃恒温搅拌6h，得到纺丝溶液，密封保存备用；制备的纺丝溶液转入直径为13mm的注射器中，然后将注射器安装在推进器上，按照0.015ml/min的推进速率，电压是3.6kv，针头于衬底距离0.5mm，纺丝时接收器的运行速度200mm/s，间隙停留时间为10s，制备网格间隔为150μm的有序有机网格。衬底使用的是不锈钢片(厚度为0.5cm)，纺丝后将带有纺丝网格的衬底在70℃下加热固化30min，制备得到pan有机纤维有序网格；然后在450rpm转速下，滴加预先配置好的pdms溶液，使其均匀覆盖在上述pan有序网格上，放置在烘箱中60℃下预固化30-60min，再在80℃下熟化4h。将上述薄膜放置于水与乙醇(体积比1:1)溶液中，60℃恒温下以900rpm转速搅拌2h，再超声震荡1h，除去pan有序网格在pdms薄膜表面留下有序网格凹槽。制备得到pdms微结构衬底。

图3，左边为无网格凹槽，右边为网格凹槽，凹槽间隙为100μm，明显左边复合溶液无法均匀铺展，右边复合溶液均匀被吸附在pdms表面，更加容易涂覆导电溶液；

图4，pdms衬底的微结构为网格状凹槽；

图5，柔性压阻式应力传感器在250pa恒定压强作用下，松开的循环稳定变化，说明传感器稳定性极高；

图6，柔性压阻式应力传感器具有60s的响应速度；

图7，网格间隙是200μm，电阻率为0.7-0.8；图8，网格间隙是150μm，电阻率为0.8-0.9；图9，网格间隙是100μm，电阻率为0.9-1，由此可见随网格越密集，电阻变化率越高，在恒定压强250pa作用下，电阻变化率随之往复循环变化，可极大地提高传感器的灵敏度。

实施例2

一种柔性压阻式应力传感器的制备方法，包括以下步骤：

在湿度为50％的条件下，将聚丙烯腈(pan)溶解于n-n二甲基甲酰胺(dmf)溶剂中配置成15wt％浓度的溶液；将上述溶液在60℃下恒温搅拌6h，得到纺丝溶液，密封保存备用；制备的纺丝溶液转入直径为13mm的注射器中，然后将注射器安装在推进器上，按照0.015ml/min的推进速率，电压是3.6kv，针头于衬底距离0.5mm，纺丝时接收器的运行速度200mm/s，间隙停留时间为10s，制备网格间隔为100μm有序有机网格。衬底使用的是不锈钢片(厚度为0.5cm)，纺丝后将带有纺丝网格的衬底在70℃下加热固化30min，制备得到pan有机纤维有序网格；然后在450rpm转速下，滴加预先配置好的pdms溶液，使其均匀旋涂在上述的pan有序网格上，放置在烘箱中60℃预固化30-60min，再在80℃下熟化4h。将上述薄膜放置在水与乙醇(体积比1:1)溶液中，60℃恒温下900rpm的转速下搅拌2h，再超声震荡1h，除去pan有序网格在pdms薄膜表面留下有序网格凹槽。烘干后，用涂覆法涂覆上质量配比为1:1的预先配置好的银纳米线/pedot:pss复合溶液。在70℃下烘干3h，通过上下两层为带有网格凹槽的pdms薄膜，包夹中间层ag纳米线/pedot:pss，从上层与下层分别引出两条导线得到电阻为250ω基于pdms微结构衬底的ag纳米线/pedot:pss复合柔性应力传感器，其灵敏度为15.9kpa^-1。

实施例3

一种柔性压阻式应力传感器的制备方法，包括以下步骤：

在湿度为50％的条件下，将聚丙烯腈(pan)溶解于n-n二甲基甲酰胺(dmf)溶剂中配置成15wt％浓度的溶液；将上述溶液在60℃下恒温搅拌6h，得到纺丝溶液，密封保存备用；制备的纺丝溶液转入直径为13mm的注射器中，然后将注射器安装在推进器上，按照0.015ml/min的推进速率，电压是3.6kv，针头于衬底距离0.5mm，纺丝时接收器的运行速度200mm/s，间隙停留时间为10s，制备网格间隔为200μm有序有机网格。衬底使用的是不锈钢片(厚度为0.5cm)，纺丝后将带有纺丝网格的衬底在70℃下加热固化30min，制备得到pan有机纤维有序网格；然后在450rpm转速下，滴加预先配置好的pdms溶液，使其均匀旋涂在上述的pan有序网格上，放置在烘箱中60℃预固化30-60min，再在80℃下熟化4h。将上述薄膜放置在水与乙醇(体积比1:1)溶液中，60℃恒温下900rpm的转速下搅拌2h，再超声震荡1h，除去pan有序网格在pdms薄膜表面留下有序网格凹槽。烘干后，用涂覆法涂覆上质量配比为1:1的预先配置好的银纳米线/pedot:pss复合溶液。在70℃下烘干3h，通过上下两层为带有网格凹槽的pdms薄膜，包夹中间层ag纳米线/pedot:pss，从上层与下层分别引出两条导线得到电阻为250ω基于pdms微结构衬底的ag纳米线/pedot:pss复合柔性应力传感器，其灵敏度为7.5kpa^-1。

实施例4

一种柔性压阻式应力传感器的制备方法，包括以下步骤：

在湿度为50％的条件下，将聚丙烯腈(pan)溶解于n-n二甲基甲酰胺(dmf)溶剂中配置成15％wt浓度的溶液；将上述溶液在70℃下恒温搅拌8h，得到静电纺丝溶液，密封保存备用；制备的静电纺丝溶液转入直径为13mm的注射器中，然后将注射器安装在推进器上，按照0.012ml/min的推进速率，电压是3.8kv，针头于衬底距离0.5mm，纺丝时接收器的运行速度150mm/s，间隙停留时间为20s，制备网格间隔为150μm有序有机网格。衬底使用的是不锈钢片(厚度0.3cm)，纺丝后将带有纺丝网格的衬底加热80℃固化60min，制备得到pan有机纤维有序网格；然后在200rpm转速下，滴加预先配置好的pdms溶液，使其均匀覆盖在上述的pan有序网格上，放置在烘箱中60℃预固化60min，再110℃熟化4-6h。将上述薄膜放置于水与乙醇(体积比1:1)溶液中，60℃恒温下900rpm的转速下搅拌4h，再超声震荡2h，除去pan有序网格在pdms薄膜表面留下有序网格凹槽。烘干后，用涂覆法涂覆上为质量配比为1:1的预先配置好的银纳米线/pedot:pss复合溶液。在80℃下烘干3h，通过上下两层为带有网格凹槽的pdms薄膜，包夹中间层ag纳米线/pedot:pss，从上层与下层分别引出两条导线得到基于pdms微结构衬底的ag纳米线/pedot:pss复合柔性应力传感器，其灵敏度为9.9kpa^-1。

实施例5

一种柔性压阻式应力传感器的制备方法，包括以下步骤：

在湿度为40％的条件下，将聚丙烯腈(pan)溶解于n-n二甲基甲酰胺(dmf)溶剂中配置成15％wt浓度的溶液；将上述溶液在65℃下恒温搅拌，搅拌7h，得到静电纺丝溶液，密封保存备用；制备的静电纺丝溶液转入直径为13mm的注射器中，然后将注射器安装在推进器上，按照0.015ml/min的推进速率，电压是4.2kv，针头于衬底距离0.5mm，纺丝时接收器的运行速度180mm/s，间隙停留时间为10s，制备出网格间隔为100μm有序有机网格。衬底使用的是不锈钢片(厚度0.8cm)，纺丝后将带有纺丝网格的衬底在80℃下加热固化60min，制备得到pan有机纤维有序网格；然后在500rpm转速下，滴加预先配置好的pdms溶液，使其均匀覆盖在上述的pan有序网格上，放置在烘箱中60℃预固化60min，再在80℃下熟化4h。将上述薄膜放置在水与乙醇(体积比1：1)溶液中，60℃恒温下900rpm/min搅拌2h，再超声震荡1h，除去pan在pdms薄膜表面留下有序网格凹槽。烘干后，用涂覆法涂覆上为质量配比为1：1的预先配置好的ag纳米线/pedot:pss复合溶液。60℃下烘干2h，通过上下两层为带有网格凹槽的pdms薄膜，包夹中间层ag纳米线/pedot:pss，从上层与下层分别引出两条导线得到基于pdms微结构衬底的ag纳米线/pedot:pss复合柔性应力传感器，其灵敏度为15.9kpa^-1。

以上所述仅为本发明的具体实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明作的等效变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围之中。