微流控芯片及微流控器件的制作方法

本发明涉及微流控芯片及微流控器件。

背景技术：

微流控器件是为了进行流体的分析或合成而具有供液体流过的微小流路的设备。一般，关于微流控器件的流路，将雷诺数设定得低，从而设计成供层流流过，因此流体的控制性及再现性都高。另外，由于在微小空间中处理液体，所以能够实现装置的小型化、使用的试剂量的减少以及反应时间的缩短(非专利文献1)。出于这些原因，微流控器件在广泛的领域中都有应用和研究。

在制造微流控器件时，必须设计符合其用途的流路。还会在流路中形成柱、分隔壁、整流板、滤光器、光驱动泵等构造物。

在使用一个二维的芯片形成多功能的微流控器件的情况下，芯片的面积变大。而且，为适应这些功能，需要按顺序逐一设计复杂的流路，除此之外，专为某种用途设计的微流控器件几乎无法用于其他用途。

专利文献1中公开了一种生物芯片基板，该生物芯片基板是将分别具有不同流路的多个薄基材粘合而制造成的。但是，该技术无法解决上述的任何一个课题。

专利文献2中公开了下述内容：准备分别具有不同功能的多个模块，根据用途在这些模块中选择若干个，以二维方式组合而形成微流控芯片装置。在该情况下，能够根据用途形成各种各样的微流控芯片装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-133402号公报

专利文献2：日本特开2015-123012号公报

非专利文献

非专利文献1：马场嘉信编著《纳米技术·生物微机电系统时代的分离·测量技术》，日本，cmc出版，2006年2月

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

但是，在专利文献2所述的技术中，无法解决微流控芯片装置的整体面积变大的问题。另外，在专利文献2所述的技术中，各个模块的流体用管形成，为连接不同模块的流路而使用了连接器。因此，需要大量的管以及连接器。

因此，本发明提供一种微流控芯片以及具有多个微流控芯片的微流控器件，所述微流控芯片具有简单的构成，且能够根据各种各样的用途以简单方式形成不同的微流控器件，并能够抑制所形成的微流控器件的面积。

用于解决技术问题的手段

本发明一方式的微流控芯片具有：流路板，形成有成为液体流路的凹部和与所述凹部相通的连通孔；平板，与所述流路板重合而封闭所述凹部从而限定所述流路，并且形成有与所述凹部相通的连通贯通孔；由弹性体形成的环状密封件，以与所述流路板和所述平板的至少一方的外表面接触的方式配置，或者形成于所述外表面，并且将所述连通孔和所述连通贯通孔的至少一方包围。

在该方式中，通过将流路板与平板进行组合而能够不使用管就以简单方式形成微流控芯片的流路。然后，将多个分别具有不同类型的流路的微流控芯片进行层叠，且将一个微流控芯片的连通孔或者连通贯通孔与邻近的另一个所述微流控芯片的连通孔或连通贯通孔重合，由此能够形成微流控器件。通过根据用途而改变层叠的微流控芯片，能够以简单方式形成适于用途的微流控器件。在形成的微流控器件中，各个微流控芯片具有不同类型的流路，具有不同的功能。在微流控器件中，由于设置有以三维形式配置的多个流路，从而能够将多个微流控芯片层叠于同一二维区域中，所以能够抑制微流控器件的面积。将连通孔和贯通连通孔的至少一方包围的环状密封件与另一个微流控芯片接触而被压缩，允许流体在微流控芯片间流动，并且防止或降低流体向外部的泄漏。因此，不需要将多个微流控芯片的流路连接起来的连接器。

本发明的一种方式的微流控器件，具有多个上述微流控芯片，该多个上述微流控芯片分别具有不同类型的所述流路，以使得一个所述微流控芯片的所述连通孔或所述连通贯通孔与邻近的另一个所述微流控芯片的所述连通孔或所述贯通连通孔重合的方式层叠多个上述微流控芯片。此处，“不同类型”是指在流经流路的液体的种类、流路的形状、位置及尺寸，以及设置于流路内的构造物中的至少任一种是不同的。

附图说明

图1是示出本发明实施方式的微流控器件的主视图；

图2是示出图1的微流控器件的俯视图；

图3是示出图1的微流控器件的微流控芯片的流路板的俯视图；

图4是示出图1的微流控器件的另一微流控芯片的流路板的俯视图；

图5是图4的v-v线向视剖视图；

图6是示出图1的微流控器件的另一微流控芯片的流路板的俯视图；

图7是图6的vii-vii线向视剖视图；

图8是示出制造图5的流路板的模具的制造工序的示意图；

图9是示出图8的后续工序的示意图；

图10是示出图9的后续工序的示意图；

图11是示出图10的后续工序的示意图；

图12是示出制造出的模具的示意图；

图13是示出使用模具制造流路板的工序的示意图；

图14是示出将流路板粘合于平板的工序的示意图；

图15是变形例的流路板和环状密封件的剖视图；

图16是其他变形例的流路板与环状密封件的剖视图；

图17是示出其他变形例的微流控器件的一部分的剖视图；

图18是示出其他变形例的微流控器件的主视图。

具体实施方式

以下，一边参照附图，一边说明本发明的多个实施方式。在图中，由于强调地示出了部分特征，因此比例尺未必准确。

如图1所示，该实施方式的微流控器件1具有层叠体构造，该层叠体构造具有重叠的多个平板，具体指支撑平板2、微流控芯片3、4、5及保护平板6。

微流控芯片3、4、5各自还具有层叠体构造。具体而言，微流控芯片3具有平板7和同样是平板的流路板8。微流控芯片4具有平板9和同样是平板的流路板10。微流控芯片5具有平板11和同样是平板的流路板12。

支撑平板2、平板7、9、11以及保护平板6例如由丙烯酸树脂或玻璃之类的玻璃材料形成。流路板8、10、12由以透明的弹性体、例如聚二甲基硅氧烷(pdms)为主成分的硅橡胶形成。

在支撑平板2的四个角部形成有固定用贯通孔2h。在平板7、9、11各自的四个角部形成有固定用贯通孔7h、9h或11h。在流路板8、10、12各自的四个角部形成有固定用贯通孔8h、10h或12h。在保护平板6的四个角部形成有固定用贯通孔6h。固定用贯通孔7h、8h构成微流控芯片3的固定用贯通孔3h。固定用贯通孔9h、10h构成微流控芯片4的固定用贯通孔4h。固定用贯通孔11h、12h构成微流控芯片5的固定用贯通孔5h。

如图1所示，在固定用贯通孔2h、3h、4h、5h、6h中插入有具有头部16a的销钉16的主体部，在销钉16的上部的外螺纹部安装有作为固定件的螺母18。由此，将支承平板2、微流控芯片3、4、5及保护平板6一体化。但是，固定件并不限定于螺母18，也可以是其他的固定件。

在该实施方式中，微流控芯片5用于某种液体的供给，微流控芯片4用于这种液体的通过和另一种液体的供给，微流控芯片3用于这些液体的混合。例如，可以是微流控芯片5用于样品液的供给，微流控芯片4用于样品液的通过和试剂的供给。

如图1及图2所示，在保护平板6形成有不同种类的液体的导入口、即贯通孔6a、6b。分别从液体注入装置19a、19b(例如移液管)将流体导入贯通孔6a、6b。保护平板6是为保护柔软的弹性体制成的流路板12而设计的。但是，保护平板6并非必需的。在图1及图2中，液体的流动用箭头f表示。

如图1至图3所示，在微流控芯片5的流路板12形成有成为液体流路12p的凹部12q和与凹部12q的一端连通的连通孔12a。连通孔12a与保护平板6的贯通孔6a重合。另外，在流路板12形成有贯通孔12b。连通孔12b与保护平板6的贯通孔6b重合。

微流控芯片5的平板11与流路板12重合，并且封闭凹部12q从而限定流路12p。在平板11形成有连通贯通孔11a和贯通孔11b，所述连通贯通孔11a与凹部12q的另一端连通，所述贯通孔11b与流路板12的贯通孔12b重合。

如图1、图2、图4及图5所示，在微流控芯片4的流路板10形成有成为液体流路10p的凹部10q和与凹部10q的一端连通的连通孔10b。连通孔10b与保护平板6的贯通孔6b、流路板12的贯通孔12b及平板11的贯通孔11b重合。另外，在流路板10形成有贯通孔10a。贯通孔10a与平板11的连通贯通孔11a重合。

微流控芯片4的平板9与流路板10重合并封闭凹部10q从而限定流路10p。在平板9形成有连通贯通孔9b和贯通孔9a，所述连通贯通孔9b与凹部10q的另一端连通，所述贯通孔9a与流路板10的贯通孔10a重合。

如图1、图2、图6及图7所示，在微流控芯片3的流路板8形成有成为液体流路8p的凹部8q和与凹部8q的一端连通的连通孔8a、8b。连通孔8a与平板11的连通贯通孔11a、流路板10的贯通孔10a及平板9的贯通孔9a重合。连通孔8b与平板9的连通贯通孔9b重合。

微流控芯片3的平板7与流路板8重合，并且封闭凹部8q从而限定流路8p。在平板7形成有与凹部8q的另一端连通的连通贯通孔7c。

在支撑平板2形成有与平板7的连通贯通孔7c重合的贯通孔2c。连通贯通孔7c及贯通孔2c是微流控器件1中的液体导出口。在贯通孔2c例如分别连接有液体吸引装置20c(例如与未图示的吸引泵连接的管)。但是，支撑平板2并非是必需的。

在上述的构成中，从注入装置19a供给的液体通过贯通孔6a、连通孔12a、流路12p、连通贯通孔11a、贯通孔9a、连通孔8a而流入流路8p。从注入装置19b供给的液体通过贯通孔6b、贯通孔12b、贯通孔11b、连通孔10b、流路10p、连通贯通孔9b、连通孔8b而流入流路8p。

在流路8p中合流的这两种液体在流路8p中混合，从而观察在此发生的反应状态。在该实施方式中，流路8p的上方的流路板8、10、12，平板9、11及保护平板6是由透明材料形成的。另外，如图2所示，流路8p配置于俯视时与流路10p、12p不同的位置。因此，容易从上方用目视或光学设备观察流路8p内的液体的反应状态。另外，流路8p、10p、12p由于配置于俯视时彼此不同的位置，所以对任意的流路8p、10p、12p而言都容易从上方用目视或者光学设备观察液体的流动。

如图1、图4及图5所示，在微流控芯片4的流路板10的上表面固定有由弹性体形成的环形密封件14a、14b，该由弹性体形成的环形密封件14a、14b分别将贯通孔10a及连通孔10b包围。由于在流路板10的上表面、即与微流控芯片5的平板11接触的表面，配置有环状密封件14a、14b，并且环状密封件14a、14b在流路板10与平板11之间被压缩而产生弹性变形，所以能够防止或降低液体在微流控芯片4、5之间泄漏。即，从连通贯通孔11a流向贯通孔10a的液体被环状密封件14a包围，从而能够防止或降低向外部泄漏的情况，从连通贯通孔11b流入连通孔10b的液体被环状密封件14b包围，从而能够防止或降低向外部泄漏的情况。

作为环状密封件14a、14b的材料的弹性体例如可以是硅橡胶。在该实施方式中，环状密封件14a、14b与流路板10一体地形成。

如图1、图6及图7所示，在微流控芯片3的流路板8的上表面固定有由弹性体形成的环形密封件13a、13b，该由弹性体形成的环形密封件13a、13b分别将连通孔8a、8b包围。由于在流路板8的上表面、即与微流控芯片4的平板9接触的表面，配置有环状密封件13a、13b，并且环状密封件13a、13b在流路板8与平板9之间被压缩而产生弹性变形，所以能够防止或降低液体在微流控芯片3、4之间泄漏。即，从贯通孔9a流入连通孔8a的液体被环状密封件13a包围，从而能够防止或降低向外部泄漏的情况，从连通贯通孔9b流入连通孔8b的液体被环状密封件13b包围，从而能够防止或降低向外部泄漏的情况。

作为环状密封件13a、13b的材料的弹性体例如可以是硅橡胶。在该实施方式中，环状密封件13a、13b与流路板8一体地形成。

在该实施方式中，由于将成为液体流路8p的凹部8q、形成有与凹部8q连通的连通孔8a、8b的流路板8、和形成有与凹部8q连通的连通贯通孔7c的平板7组合，所以即使不使用管，也能够以简单方式形成微流控芯片3的流路8p。另外，由于将成为液体流路10p的凹部10q、形成有与凹部10q连通的连通孔10b的流路板10、和形成有与凹部10q连通的连通贯通孔9b的平板9组合，所以即使不使用管，也能够以简单方式形成微流控芯片4的流路10p。进一步，由于将成为液体流路12p的凹部12q、形成有与凹部12q连通的连通孔12a的流路板12、和形成有与凹部12q连通的连通贯通孔11a的平板11组合，所以即使不使用管，也能够以简单方式形成微流控芯片5的流路12p。

在该实施方式中，将多个分别具有不同类型的流路的微流控芯片3、4、5进行层叠，且将一个微流控芯片的连通孔或者贯通连通孔与邻近的另一个所述微流控芯片的连通孔或贯通连通孔重合，由此能够形成微流控器件1。此处，“不同类型”是指在流路中流动的液体的种类、流路的形状、位置及尺寸，以及设置于流路内的构造物中的至少任一种是不同的。

通过根据用途来改变层叠的微流控芯片，能够以简单方式形成适合于用途的微流控器件。例如，在上述的例中，微流控芯片5用于某种液体的供给，微流控芯片4用于这种液体的通过和另一种液体的供给，微流控芯片3用于这些液体的混合。但是，例如也可以形成下述这样的微流体器件，该微流体器件具有：用于注入两种液体的一个微流控芯片；用于混合这些液体的一个微流控芯片；用于从这些液体中分离出必要成分的一个微流控芯片；及用于分析分离出的成分的一个微流控芯片。在这样的情况下，液体混合用的微流控芯片3能够在这两个例中共用。

因此，即使存在利用液体的工艺种类的改变、工艺顺序的改变及工序数量的改变，也能够通过选择适于工艺的微流控芯片，从而形成与用途相应的合适的微流控器件。

在形成的微流控器件中，各微流控芯片3、4、5具有不同类型的流路8p、10p、12p和不同的功能。在形成的微流控器件中，由于设置有以三维形式配置的多个流路8p、10p、12p，从而能够将多个微流控芯片层叠于同一二维区域中，所以能够抑制微流控器件1的面积。

在该实施方式中，微流控器件1具有层叠体构造，该层叠体构造具有多个重叠的板。在该构造中，弹性体制成的部件降低或防止液体从路径漏出。具体而言，在微流控芯片3中，流路板8由柔软的弹性体形成。因此，不仅容易形成成为流路8p的凹部8q，而且当流路板8与平板7重合压缩时，平板7与流路板8紧密贴合从而能够防止或降低它们之间液体泄漏。在微流控芯片4中，流路板10由柔软的弹性体形成。因此，不仅容易形成成为流路10p的凹部10q，而且当流路板10与平板9重合压缩时，平板9与流路板10紧密贴合从而能够防止或降低它们之间液体泄漏。在微流控芯片5中，流路板12由柔软的弹性体形成。因此，不仅容易形成成为流路12p的凹部12q，而且当流路板12与平板11重合压缩时，平板11与流路板12紧密贴合从而能够防止或降低它们之间液体泄漏。另外，当流路板12与保护平板6重合压缩时，保护平板6与流路板12紧密贴合从而能够防止或降低它们之间液体泄漏。

设置于微流控芯片3的流路板8的环状密封件13a、13b与另一个微流控芯片4的平板9接触而被压缩，允许流体在微流控芯片3、4之间流动，并且降低或防止流体向外部泄漏。设于微流控芯片4的流路板10的环状密封件14a、14b与另一个微流控芯片5的平板11接触而被压缩，允许流体在微流控芯片4、5之间流动，并且降低或防止流体向外部泄漏。因此，不需要将多个微流控芯片的流路连接起来的连接器。

在该实施方式中，环状密封件13a、13b与流路板8一体地由弹性体形成，环状密封件14a、14b与流路板10一体地由弹性体形成。因此，微流控芯片3、4的处理容易，且微流控器件1的形成也容易。

在该实施方式中，在各个板2、6、7、8、9、10、11、12形成有固定用贯通孔2h、6h、7h、8h、9h、10h、11h、12h。当由多个微流控芯片3、4、5形成微流控器件1时，将多个销钉16插入于固定用贯通孔2h、6h、7h、8h、9h、10h、11h、12h，由此能够容易地将多个微流控芯片的3、4、5定位，通过固定件、例如螺母18能够容易地将这些微流控芯片3、4、5一体化。

如上所述，在层叠体构造中，弹性体制成的部件降低或防止液体从路径漏出。安装于销钉16的固定件、例如螺母18压缩这些弹性体制成的部件而使其产生弹性变形，提升它们的密封性能。但是，根据需要，也可以使用粘合剂、化学反应或热反应将板与板接合。

接下来，说明该实施方式的微流控器件1的制造方法。以下的制造方式是示例，也可以使用其他的方法制造微流控器件1。

首先，说明用于制造微流控芯片4的流路板10的模具的制造方法。使用类似的步骤能够制造流路板8、12及其他流路板。

如图8所示，在p型硅晶片20(晶向100)上滴下环氧树脂溶液21，通过旋涂法使其均匀化。作为环氧树脂溶液21，使用日本化药株式会社制的负性光致抗蚀剂(商品名“su83050”)。关于旋涂法，以转速2000rpm进行30秒。

之后，为使环氧树脂溶液21的溶剂干燥，如图9所示，使用加热器24在温度95℃下进行25分钟的预烘焙，从而形成了干燥的环氧树脂层22。之后，如图10所示，将掩膜26放置于环氧树脂22，使用水银灯照射紫外线，以使环氧树脂22的所希望部分固化。为了在模具中形成与流路板10的凹部10q对应的部分而使用掩膜26，掩膜26具有与凹部10q相同的大小和形状。

之后，为完成环氧树脂的聚合反应，如图11所示，使用加热器24在温度95℃下进行5分钟的烘焙。之后，使用显影液(商品名“su8developer”)将与掩膜26接触而未固化的部分除去，如图12所示，形成了与凹部10q对应的剩余树脂突起22a。然后，使用异丙醇清洗硅晶片20，完成了具有硅晶片20和剩余树脂突起22a的模具28。

接下来，如图13所示，将销钉29a、29b、29h接合于该模具28。销钉29a、29b分别与流路板10的贯通孔10a及连通孔10b对应。销钉29h分别与流路板10的固定用贯通孔10h对应。

另外，准备了具有凹部32a、32b的另一模具30。凹部32a、32b分别与环状密封件14a、14b对应。将这些模具28、30浸渍于unimatec公司制的脱模剂(商品名“noxfreef-350”)中1分钟，并使其充分干燥。接下来，在模具28、30内的空间中注入东丽道康宁公司制的硅橡胶(商品名“silpot184”)，并在温度100℃下放置5小时，使硅橡胶固化。之后，将固化了的硅橡胶从模具28、30剥离，由此得到转印有模具28、30形状的硅橡胶制的流路板10。但是，贯通孔10a、连通孔10b及固定用贯通孔10h也可以在流路板10成型后形成。

进一步，如图14所示，将形成有贯通孔9a、9b及固定用贯通孔9h的玻璃制成的平板9与流路板10接合。但是，平板9和流路板10不一定必须接合。关于它们不接合的情况，若将微流控芯片4从销钉16拆下，则流路10p的清洁、清洗或干燥都很容易，因此可能成为优选。

由此，准备微流控芯片3、4、5，并将支撑平板2、微流控芯片3、4、5及保护平板6层叠。接下来，将多个销钉16插入于固定用贯通孔2h、6h、7h、8h、9h、10h、11h、12h，从而将这些板的位置对齐。进一步，通过螺母18固定这些板，并且将流路板8、10、12以及环状密封件13a、13b、14a、14b进行适度的压缩，从而封闭流体的路径。

以上说明了本发明的实施方式，但是上述的说明并不构成对本发明的限定，在本发明的技术范围内，可以考虑包括构成要素的删除、追加、置换在内的各种变形例。

例如，在上述的实施方式中，环状密封件13a、13b与流路板8一体地形成，环状密封件14a、14b与流路板10一体地形成。但是，环状密封件也可以通过粘合剂、化学反应或热反应与流路板接合。

另外，环状密封件也可以是能够与流路板分离的。图15示出了能够从流路板40分离的环状密封件42。该环状密封件42以与流路板40的上表面接触的方式配置，并包围流路板40的孔44。环状密封件42配置于另一微流控芯片的下表面与流路板40的上表面之间，并被它们压缩而产生弹性变形，从而防止或降低流体向外部的泄漏。例如，能够将o形圈、d形圈等环状密封件作为环状密封件42来使用。如图16所示，也可以在流路板40的上表面形成成为环状密封件42的座部的凹部40a。

在环状密封件能够与流路板分离的情况下，流路板无需使用弹性体形成，可以由例如玻璃或透明树脂形成。

在上述的实施方式中，在微流控芯片中流路板配置于上方、平板配置于下方，但是也可以是反过来的配置。

在上述的实施方式中，在微流控芯片的流路板设置有环状密封件。也可以取而代之或除此之外，将环状密封件设置于微流控芯片的平板。另外，在上述的实施方式中，相对于微流控芯片的流路，在液体的导入口侧的板设置有环状密封件。也可以取而代之或除此之外，在液体的导出口侧的板设置环状密封件。图17示出变形例的微流控器件50，该微流控器件50是在微流控芯片的上下表面分别配置环状密封件而成的。该微流控器件50具有微流控芯片51、52，其中，微流控芯片51具有流路板53和平板54，微流控芯片52具有流路板55和平板56。在平板54的下表面配置有环状密封件57，在流路板53的上表面配置有环状密封件58，在平板56的下表面配置有环状密封件59，在流路板55的上表面配置有环状密封件60。环状密封件58、59彼此接触，并且被微流控芯片51的流路板53和微流控芯片52的平板56压缩而产生弹性变形，从而防止或降低流体向外部的泄漏。也可以在流路板53、55和平板54、56形成成为环状密封件的座部的凹部。

虽然在上述的实施方式中，在微流控芯片5的流路板12和保护平板6之间未配置环状密封件，但是也可以配置环状密封件。虽然在上述的实施方式中，在支撑平板2和微流控芯片3的平板7之间未配置环状密封件，但是也可以配置环状密封件。

如上所述，各个环状密封件被板之间压缩而在高度方向上缩小，但是可能发生环状密封件的上方的板进而流体芯片不能在水平配置的情况。例如，在同一层的环状密封件有1个或2个的情况下，或者在同一层的环状密封件的间隔小的情况下，可能发生这样的担心。因此，可以根据需要，在与环状密封件相同的层优选配置3个以上的间隔件。这些间隔件具有彼此相同的高度，该高度比环状密封件非压缩时的高度低(与环状密封件压缩时的所希望高度相等)。图18示出了设有间隔件62的微流控器件1的例子。在该例中，在流路板8与平板9之间的层配置有多个间隔件62，在流路板10与平板11之间也配置有多个间隔件62。在该例中，间隔件62是被配置于销钉16周围的环，在同层设有4个。但是，间隔件也可以不是环形，只要被配置为使彼此隔开充分的间隔即可，不配置于销钉16的周围也可以。

本发明的方式也记载于下述带编号的条目中。

条目1.一种微流控芯片，其特征在于，具有：

流路板，形成有成为液体流路的凹部和与所述凹部相通的连通孔；

平板，与所述流路板重合而封闭所述凹部从而限定所述流路，并且形成有与所述凹部相通的连通贯通孔；

由弹性体形成的环状密封件，以与所述流路板和所述平板的至少一方的外表面接触的方式配置，或者形成于所述外表面，并且将所述连通孔和所述连通贯通孔的至少一方包围。

条目2.根据条目1所述的微流控芯片，其特征在于，

所述流路板和所述平板的至少一方与所述环状密封件一体地由弹性体形成。

在这样的情况下，由于环状密封件与流路板和平板的至少一方一体化，所以微流控芯片的处理容易，微流控器件的形成也容易。

条目3.根据条目1或2所述的微流控芯片，其特征在于，

在所述流路板形成有多个固定用贯通孔，

在所述平板形成有多个固定用贯通孔，该多个固定用贯通孔分别与所述流路板的所述多个固定用贯通孔重合。

在这样的情况下，当由多个微流控芯片形成微流控器件时，将多个销钉插入于流路板和平板的固定用贯通孔，由此能够容易地将多个微流控芯片定位，通过固定件能够容易地将这些微流控芯片一体化。

条目4.根据条目1至3中任一项所述的微流控芯片，其特征在于，

所述流路板和所述平板的至少一方是透明的。

在这样的情况下，容易从上方用目视或光学设备观察流路内的液体的状态。

条目5.一种微流控器件，其特征在于，具有多个条目1至4中任一项所述的微流控芯片，该多个微流控芯片分别具有不同类型的所述流路，

以使得一个所述微流控芯片的所述连通孔或所述连通贯通孔与邻近的另一个所述微流控芯片的所述连通孔或所述连通贯通孔重合的方式层叠多个所述微流控芯片。

条目6.根据条目5所述的微流控器件，其特征在于，

多个所述微流控芯片的所述流路配置于俯视时彼此不同的位置。

在这样的情况下，容易从上方用目视或光学设备观察多个流路内的液体的状态。

附图标记说明

1、50微流控器件

2支撑平板

2c贯通孔

3、4、5、51、52微流控芯片

6保护平板

6a、6b贯通孔

7、9、11、54、56平板

8、10、12、40、53、55流路板

2h、3h、4h、5h、6h、7h、8h、9h、10h、11h、12h固定用贯通孔

16销钉

18螺母18(固定件)

8p、10p、12p流路

8q、10q、12q凹部

7c、9b、11a连通贯通孔

8a、8b、10b、12a连通孔

9a、10a、11b、12b贯通孔

13a、13b、14a、14b、42、57、58、59、60环状密封件