一种MEMS驱动器及成像防抖装置的制作方法

【技术领域】

本发明涉及mems执行器领域，具有涉及一种mems驱动器及成像防抖装置。

背景技术：

mems执行器是将电信号转化为微动作或微操作的mems器件。在一些应用中，如mems光学防抖，电信号通常需要从运动部分传递到固定部分，且所需传递电信号的数量较多。

现有技术中驱动部分和电信号传递部分在执行器的同一层，其电信号的传递方式有以下两种：

方案一：如图1所示，图像传感器30’的信号(通常有50个以上)通过b金属线51’，直接传递到pcb固定部分10’；执行器20’的驱动控制信号(通常有10个左右)通过第一mems梁61’和a金属线41’传递到pcb固定部分10’；其中第一mems梁61’同时起支撑和导电作用。

方案二：如图2所示，图像传感器30的信号依次通过b金属线52、第二mems梁62’和a金属线42’传递到pcb固定部分10’；执行器20的驱动控制信号，通过第二mems梁62’和a金属线62’，传递到pcb固定部分10’。所述第二mems梁62’有两种，一种起支撑作用，一种起导电作用。其中起导电作用的包括两种，一种是通过mems工艺刻蚀得到的低刚度梁，另一种是通过微组装工艺得到的低刚度梁。

所述a金属线41’、b金属线51’、a金属线42’和b金属线52’均为体材料，采用线键合工艺。方案一中的第一mems梁61’与方案二中起导电作用的第二mems梁62’不同，后者受图像传感器30’信号传递要求，通常需要特定的排布和良好的导电性能，且刚度较小。

现有的技术方案中存在以下问题：

方案一中的b金属线51’连接运动的图像传感器30’和pcb固定部分10’，其可靠性难以达到，特别是在键合区域，b金属线51’容易发生断裂和脱落；

在仿真设计mems执行器时需要将b金属线51’考虑进去，包括其刚度、工艺误差等，线键合工艺难以保证b金属线51’的一致性。

方案二中起导电作用的第二mems梁62’占用面积大(图像传感器30’信号多，低刚度)，且与执行器20’驱动部分在同一结构层，因此导致整个执行器的横向面积大，难以在实际场合中应用；

进一步地，方案二中起导电作用的第二mems梁62’可采用微组装，适当减小占用面积。但第二mems梁62’与执行器20’驱动部分仍在同一结构层，执行器横向面积仍然较大；此外，微组装不是常规的mems工艺，良率低。

技术实现要素：

本发明的目的之一在于提供一种mems驱动器，其克服了现有技术的上述缺陷，将驱动部分和电信号传递部分分为两层，为执行器结构提供更多设计空间，减小执行器的横向尺寸；本发明的目的之二在于提供一种成像防抖装置，通过执行器能够对图像传感器的多个电信号进行传递。

本发明提供一种mems驱动器，包括依次层叠的驱动机构和联动机构；所述驱动机构包括第一锚定部、与所述第一锚定部间隔设置的第一支撑件以及连接在所述第一锚定部和所述第一支撑件之间的致动器，所述第一支撑件用于支撑被驱动装置；所述联动机构包括与所述第一锚定部对应且相对固定的第二锚定部、与所述第二锚定部间隔设置的第二支撑件以及连接在所述第二锚定部与所述第二支撑件之间的弹性电连接机构，所述第二支撑件与所述第一支撑件固定，所述第一支撑件带动所述第二支撑件相对所述第一锚定部运动；所述致动器经所述第一锚定部与外部电路电连接，所述被驱动装置与所述联动机构电连接且所述被驱动装置经所述第二锚定部与所述外部电路电连接。

作为本发明的进一步改进，所述致动器包括驱动所述第一支撑件沿第一方向运动的第一致动件以及驱动所述第一支撑件沿垂直于所述第一方向的第二方向运动的第二致动件。

作为本发明的进一步改进，至少两个所述第一致动件相对所述mems驱动器的中心呈中心对称设置；和/或至少两个所述第二致动件相对所述mems驱动器的中心呈中心对称设置。

作为本发明的进一步改进，所述第一致动件与所述第二致动件中的至少一个为静电梳齿驱动器，所述静电梳齿驱动器包括自所述锚定部延伸并与所述第一支撑件间隔设置的第一延伸臂、自所述第一支撑件延伸并与所述第一锚定部延伸的第二延伸臂、以及形成在所述第一延伸臂与所述第二延伸臂之间的梳齿部，所述第一延伸臂与所述第二延伸臂至少部分正对设置。

作为本发明的进一步改进，所述梳齿部具有与所述第一方向或所述第二方向平行的静电梳齿。

作为本发明的进一步改进，所述静电梳齿驱动器还包括连接在所述第一延伸臂与所述第二延伸臂之间的柔性支撑部，所述柔性支撑部与所述梳齿部间隔设置。

作为本发明的进一步改进，所述第一支撑件在所述联动机构上的正投影与所述第二支撑件重合，所述第一锚定部在所述联动机构上的正投影与所述第二锚定部重合。

作为本发明的进一步改进，所述弹性电连接机构关于所述第一方向与所述第二方向轴对称设置。

作为本发明的进一步改进，所述第一锚定部包括平行且相互间隔设置的锚定侧板，所述第一支撑件包括位于两所述锚定侧板之间且分别与两所述锚定侧板相对且间隔设置的第一支撑板、以及自所述第一支撑板的相对两端分别弯折延伸且与所述锚定侧板间隔设置的第二支撑板，所述驱动器分别设置于所述第一支撑板与所述锚定侧板之间。

作为本发明的进一步改进，所述弹性电连接机构包括自所述第二锚定部沿所述第一方向延伸的第一导电部以及自所述第一导电部朝所述第二支撑件弯折延伸的第二导电部。

作为本发明的进一步改进，所述第二导电部呈锯齿状弯曲并沿所述第二方向延伸。

作为本发明的进一步改进，所述第一支撑件呈环形并绕设在所述第一锚定部外周。

作为本发明的进一步改进，所述弹性电连接机构包括自所述第二锚定弯折延伸的第一导电部以及自所述第一导电部朝所述第二支撑件弯折延伸的第二导电部，所述第一导电部与所述第二导电部之间的夹角为锐角。

本发明提供的一种成像防抖装置，包括基板、固定于所述基板的mems驱动器以及设置于所述mems驱动器远离所述基板一侧的图像传感器，所述mems驱动器为上述的mems驱动器，所述外部电路形成于所述基板，所述图像传感器与所述第一支撑件固定，所述第二锚定部夹设于所述第一锚定部与所述基板之间并与所述基板固定，所述第二支撑件及所述弹性电连接机构悬置于所述基板一侧，

所述外部电路与所述第一锚定部电连接并输出驱动信号至所述驱动器以使所述图像传感器运动；所述图像传感器与所述联动机构电连接并经所述第二锚定部与所述外部电路电连接；所述外部电路根据所述图像传感器的电信号调整所述驱动信号。

本发明的有益效果是：本发明将驱动部分和电信号传递部分分为两层；单独一层的电信号传递结构，可设计分布更多的导电线，从而使得该执行器能够对被驱动物体上的多个电信号进行传递，避免现有技术中，将驱动部分和电信号传递部分设置在同一层，在直接利用金属线连接运动部分与固定部分时，金属线容易发生断裂和金属线的一致性问题，或者mems梁既要起支撑作用又要导电作用时，mems梁的刚度低，横向面积大的问题。本发明将驱动和电信号传递结构的设计独立开来，在有限的结构尺寸下，为执行器结构提供更多设计空间，有助于减小执行器的横向尺寸。

进一步地，本发明提供一种成像防抖装置，通过本执行器能够对图像传感器的多个电信号进行传递，而且可靠性高，键合区域的导线不易断裂或者脱落。

【附图说明】

图1是本发明的现有技术中方案一的mems执行器的绑线结构示意图；

图2是本发明的现有技术中方案二的mems执行器的绑线结构示意图；

图3是本发明的实施例1提供的mems驱动器的立体图；

图4是图3所示mems驱动器中的驱动机构的结构示意图；

图5是图3所示mems驱动器中的联动机构的结构示意图；

图6是图4所示驱动机构中的第一致动件的结构示意图；

图7是图4所示驱动机构中的第二致动件的结构示意图；

图8是本发明提供的成像防抖装置的立体图；

图9是图8所示提供的成像防抖装置的爆炸图；

图10是图8所示成像防抖装置的剖视图；

图11是图8所示提供的成像防抖装置的绑线结构示意图；

图12是本发明又一实施例提供的mems驱动器的的立体图；

图13是图12所示mems驱动器中的驱动机构的结构示意图；

图14是图12所示mems驱动器中的联动机构的结构示意图；

图15是采用图12所示mems驱动器的成像防抖装置的绑线结构示意图。

其中，10、mems驱动器，1、驱动机构；11、第一锚定部；12、第一支撑件；121、第一支撑板；122、第二支撑板；13、致动器；131、第一致动件；132、第二致动件；14、第一延伸臂；15、第二延伸臂；16、柔性支撑部；17、梳齿部；171、静电梳齿；18、支撑梁；2、联动机构；21、第二锚定部；22、第二支撑件；24、弹性电连接机构；241、第一导电部；242、第二导电部；3、基板；4、图像传感器；51、第一导线；52、第二导线；53、第三导线；61、外部导线；62、内部导线。

【具体实施方式】

下面结合附图对本发明的2个实施例进行详细描述。

实施1，如图3-7所示：

本实施例的一种mems驱动器包括依次层叠的驱动机构1和联动机构2；所述驱动机构1通过第一支撑件12与所述联动机构2的第二支撑件22固定连接，同时驱动机构1的第一锚定部11与联动机构2的第二锚定部21固定连接，所述第一支撑件12与第二支撑件22组成一个运动平台，运动平台在致动器13的驱动下做多自由度运动。

具体地，参照图4，所述驱动机构1包括第一锚定部11、与所述第一锚定部11间隔设置的第一支撑件12和连接在所述第一锚定11部和所述第一支撑件12之间的致动器13；结合图8-9所示，被支撑装置，例如图像传感器4由第一支撑件12支撑。所述第一锚定部11包括平行且相互间隔设置的锚定侧板11a和11b，锚定侧板11a和11b呈条状。所述第一支撑件12与所述第一锚定部11间隔设置，所述第一支撑件12包括与锚定侧板11a/11b平行放置的第一支撑板121，第一支撑板121的两端分别弯折延伸的第二支撑板122，所述第一支撑件12呈h状，所述第二支撑板122与锚定侧板大体围成呈矩形；所述致动器13分别设置于所述第一支撑件12与所述锚定侧板11a/11b之间，所述致动器13包括至少两个致动件，分别用于驱动的第一支撑件12相对第一锚定部11沿相互垂直的两个方向运动。如图4所示，致动器13包括四个致动件a1-a4，其分别设置在第一支撑板121的相对两侧，其中，驱动件a1/a4驱动x方向的运动，驱动件a2/a3驱动y方向的运动。驱动第一支撑件12沿第一方向运动的驱动件a1及a4为第一致动件131,驱动第一支撑件12沿垂直于所述第一方向的第二方向运动的驱动件a2及a3为第二致动件132，所述第一致动件131和第二致动件132中的至少一个相对所述mems驱动器的中心呈中心对称设置。

参照图4、图6和图7，所述第一致动件131与所述第二致动件132中均为静电梳齿驱动器，图6所示第一致动件131显示为致动器a1的具体结构，其中，致动器a1包括自所述第一锚定部11延伸并与所述第一支撑件12间隔设置的第一延伸臂14、自所述第一支撑件12(图6-7中为第二支撑板122)延伸第二延伸臂15、以及形成在所述第一延伸臂14与所述第二延伸臂15之间的梳齿部17，所述第一延伸臂14与所述第二延伸臂15正对设置，梳齿部17位于第一延伸臂14与所述第二延伸臂15之间，所述第一延伸臂14与所述第二延伸15臂之间设有柔性支撑部16。其中第一致动件131的所述梳齿部17具有与第二方向平行的静电梳齿171，可驱动第一支撑件12作第一方向的运动；其中第二致动件132的所述梳齿部17具有与第一方向平行的静电梳齿171，可驱动第一支撑件12作第一方向的运动。

参照图5，所述联动机构2包括第二锚定部21、与所述第二锚定部21间隔设置的第二支撑件22以及连接在所述第二锚定部21与所述第二支撑件22之间的弹性电连接机构24，所述第二支撑件22与所述第一支撑件12固定，所述第一支撑件12带动所述第二支撑件22相对所述第二锚定部21运动；所述弹性电连接机构24关于所述第一方向与所述第二方向轴对称设置，所述弹性电连接机构24包括自所述第二锚定部21沿所述第一方向延伸的第一导电部241以及自所述第一导电部23朝所述第二支撑件22弯折延伸的第二导电部242，所述第二导电部242呈锯齿状弯曲并沿所述第二方向延伸，在本发明的其他优选实施例中，第二导电部242也可以是螺旋弹簧等其他结构。

由第二支撑件22、第一支撑件12固定连接组成的h状运动平台相对于由第二锚定部21和第一锚定部11构成的分立式侧板锚定结构做沿着x轴平移、沿y轴平移或者绕z轴旋转等多多自由度运动。本实施例通过将驱动部分和电信号传递部分分为两层；单独一层的电信号传递结构，可设计分布更多的导电线，从而使得该驱动器能够对被驱动物体上的多个电信号进行传递，更加牢靠。

参照图8-10，本发明的又一实施例提供了一种采用上述mems驱动器的成像防抖装置，本实施例中第一支撑件12顶部搭载的被驱动装置为图像传感器4，第二锚定部21夹设于所述第一锚定部11与所述基板3之间，所述第二锚定部21与基板3固定连接。

参照图11其驱动信号通路为：所述外部电路(设置于基板3)通过第二导线52与所述第一锚定部11电连接并输出驱动信号至所述驱动机构1以使所述图像传感器4运动；反馈信号通路为：所述图像传感器4通过第三导线53与所述联动机构2电连接，并经所述第二锚定21与基板3通过第一导线51电连接；所述外部电路可以根据所述成像传感器反馈的电信号调整所述驱动信号。本执行器能够对图像传感器的多个电信号进行传递，而且可靠性高，键合区域的导线不易断裂或者脱落。

上述的mems驱动器有三种驱动方式：

(1)沿x轴方向平移

根据静电梳齿驱动原理，施加电压，使致动件a1和a4同时沿x轴的正方向或者负方向运动，带动运动平台运动，从而使图像传感器4在x方向运动。

(2)沿y轴方向平移

施加电压，使致动件a2和a3同时沿y轴方向的正方向或者负方向运动，带动运动平台运动，从而使图像传感器4在y轴方向运动。

(3)绕绕z轴旋转

施加电压，使图4致动件a1向右运动，同时使致动件a2向下运动，致动件a4向左运动，致动件a3向上运动时，带动运动平台运动，则图像传感器4绕z轴顺时针旋转。同理，使致动件a1-a4反方向运动时，可使图像传感器4绕z轴逆时针旋转。

实施例2

参照图12-14，本实施例与实施例1的结构大致相同，不同之处在于：所述第一支撑件12呈环形并绕设在所述第一锚定部11外周，第一锚定部11与第二锚定部21位于驱动器的中央，弹性电连接机构24包括自所述第二锚定部21弯折延伸的第一导电部241与自所述第二支撑件22弯折延伸的第二导电部242连接，所述第一导电部23与所述第二导电部24的夹角为锐角，弹性电连接机构24包括四个且沿第一及第二方向轴对称设置，在第二方向上的两组导电机构形成菱形状且与另外构成菱形状的两组导电机构关于第一锚定部11轴对称。本实施例的第一支撑件12呈矩形且所述第一锚定部位于所述第一支撑件12的几何中心，使第一支撑件12的受力均匀，有利第一支撑件12做多自由度运动，减小执行器的横向尺寸。本实施例的致动器13的结构与实施例1相似，在此不做赘述。

参照图12-15，图15提供了使用上述mems驱动器的成像防抖装置。本实施例中第一支撑件12顶部搭载的被驱动装置为图像传感器4，第二锚定部21夹设于所述第一锚定部11与所述基板3之间并与所述基板3固定，所述第二支撑件22及所述弹性电连接机构24悬置于所述基板3一侧，所述第一锚定部11及第二锚定部21内设有内部导线62。

其驱动信号通路为：所述外部电路(设于基板3)通过内部导线62与所述第一锚定部11电连接并输出驱动信号至所述驱动机构1以使所述图像传感器4运动；反馈信号通路为：所述图像传感器4通过外部导线61与所述联动机构2电连接，并经所述第二锚定21，通过内部导线62与基板3电连接；所述外部电路可以根据所述成像传感器的反馈信号调整所述驱动信号。本执行器能够对图像传感器的多个电信号进行传递，而且可靠性高，键合区域的导线不易断裂或者脱落。

以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。