控制微型机电系统装置的一个或多个静电梳状结构的制作方法

本公开涉及微型机电系统(mems)装置和静电梳状结构。

背景技术：

1、微型机电系统(mems)装置是具有电子和机械部件的微尺寸结构，并且可以包括用于反射光的反射镜。例如，mems装置可以包括反射镜，该反射镜可以用于在各种应用中反射或以其他方式引导光(例如，激光束)，诸如光检测和测距(lidar)应用、感测应用和/或光通信应用，以及其他示例。当mems装置被致动时，反射镜可以围绕轴线倾斜，这可以导致落在反射镜上并在一个方向上反射的光束落在反射镜上并在不同的方向上反射。

技术实现思路

1、在一些实施方式中，微型机电系统(mems)装置包括：反射镜；至少一个铰链；第一静电梳状结构；第二静电梳状结构；以及控制装置，所述控制装置被配置成：在第一时间段内使第一电压被供应给所述第一静电梳状结构，以使所述第一静电梳状结构在第一方向上关于所述至少一个铰链倾斜所述反射镜；在所述第一时间段之后并且在第一时刻，使得所述第一电压停止被供应给所述第一静电梳状结构，其中在所述第一时刻，所述反射镜的倾斜角小于所述反射镜在所述第一方向上的最大倾斜角；在所述第一时刻之后且在第二时间段内，使将第二电压供应到所述第二静电梳状结构以致使所述第二静电梳状结构使所述反射镜在第二方向上关于所述至少一个铰链倾斜；以及在所述第二时间段之后并且在第二时刻，使得所述第二电压停止被供应给所述第二静电梳状结构，其中在所述第二时刻，所述反射镜的倾斜角小于所述反射镜在所述第二方向上的最大倾斜角。

2、在一些实施方案中，控制装置包括一个或多个处理器，所述一个或多个处理器用于：在第一时间段内，使第一电压被供应给mems装置的第一静电梳状结构，以使第一静电梳状结构使mems装置的反射镜在第一方向上关于mems装置的至少一个铰链倾斜；以及在所述第一时间段之后并且在第一时刻，使得所述第一电压停止被供应给所述第一静电梳状结构，其中在所述第一时刻，所述反射镜的倾斜角小于所述反射镜在所述第一方向上的最大倾斜角。

3、在一些实施方式中，一种方法包括：由控制装置在一段时间内使电压被供应给mems装置的静电梳状结构，以使静电梳状结构在特定方向上关于mems装置的至少一个铰链倾斜mems装置的反射镜；以及由所述控制装置在所述一段时间之后且在一时刻使所述电压停止供应到所述静电梳结构，其中在所述时刻所述反射镜的角动量在所述特定方向上大于零千克平方米/秒。

技术特征：

1.一种微型机电系统(mems)装置，包括：

2.根据权利要求1所述的mems装置，其中，在所述第一时刻，所述反射镜的倾斜角在所述第一静电梳状结构的有效驱动范围内。

3.根据权利要求1所述的mems装置，其中，在所述第一时刻，所述反射镜的倾斜角与所述第一静电梳状结构的正驱动效率相关联。

4.根据权利要求1所述的mems装置，其中，在所述第一时刻，所述反射镜的角动量在所述第一方向上大于零千克平方米/秒。

5.根据权利要求1所述的mems装置，其中，在所述第一时刻之后且在所述第二时间段之前的第三时刻，所述反射镜的倾斜角近似等于所述反射镜在所述第一方向上的最大倾斜角。

6.根据权利要求5所述的mems装置，其中，在所述第三时刻之后且在所述第二时间段之前的第四时刻，所述反射镜的倾斜角小于或等于0.1度。

7.根据权利要求1所述的mems装置，其中，在所述第二时刻，所述反射镜的角动量在所述第二方向上大于零千克平方米/秒。

8.根据权利要求1所述的控制装置，其中，在所述第二时刻之后的第三时刻：

9.根据权利要求8所述的mems装置，其中，在所述第三时刻之后的第四时刻，所述反射镜的倾斜角近似等于零度。

10.一种控制装置，包括：

11.根据权利要求10所述的控制装置，其中，在所述第一时刻，所述反射镜的倾斜角在所述第一静电梳状结构的有效驱动范围内。

12.根据权利要求10所述的控制装置，其中，在所述第一时刻，所述反射镜的角动量在所述第一方向上大于零千克平方米/秒。

13.根据权利要求10所述的控制装置，其中，在所述第一时刻之后的第二时刻，所述反射镜的倾斜角近似等于所述反射镜在所述第一方向上的最大倾斜角。

14.根据权利要求13所述的控制装置，其中，在所述第二时刻之后的第三时刻，所述反射镜的所述倾斜角近似等于零度。

15.根据权利要求10所述的控制装置，其中，所述一个或多个处理器还用于：

16.一种方法，包括：

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述反射镜在所述时刻的倾斜角与所述静电梳状结构的正驱动效率相关联。

18.根据权利要求16所述的方法，其中，所述反射镜在所述时刻的倾斜角小于所述反射镜在所述特定方向上的最大倾斜角。

19.根据权利要求16所述的方法，其中，在所述时刻之后的另一时刻，所述反射镜的倾斜角近似等于所述反射镜在所述特定方向上的最大倾斜角。

20.根据权利要求19所述的方法，其中，在所述另一时刻之后的附加时刻，所述反射镜的倾斜角近似等于零度。

技术总结一种微型机电系统(MEMS)装置，包括：反射镜；至少一个铰链；静电梳状结构；以及控制装置。在一段时间内，所述控制装置使电压供应到所述静电梳状结构，以使所述静电梳状结构使所述反射镜关于所述至少一个铰链在特定方向上倾斜。在所述一段时间之后并且在某一时刻，所述控制装置使所述电压停止供应到所述静电梳状结构。反射镜在第一时刻的倾斜角小于反射镜在特定方向上的最大倾斜角。在该时刻，反射镜的角动量在特定方向上大于零千克平方米/秒。技术研发人员：W.金,E.王受保护的技术使用者：朗美通经营有限责任公司技术研发日：技术公布日：2024/1/12