抗震的MEMS致动器结构的制作方法

本公开一般涉及用于微机电系统(mems)的抗震结构，并且更具体地涉及用于mems致动器的抗震结构。

背景技术：

技术实现思路

1、根据本文公开的技术的各种实施例，公开了抗震mems装置结构。在一个实施例中，用于mems装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在该实施例的各种实施方式中，杆的长可以在1mm至4mm之间并且宽在10μm至70μm之间，并且第一铰链和第二铰链中的每一个的长为0.05mm至0.3mm并且宽为1μm至10μm。在具体的实施方式中，杆在其中心处约50μm宽，并且在其第一端部和第二端部处约35μm宽。

2、在另一个实施例中，用于mems装置的导电悬臂包括具有第一端部和第二端部的弯曲的中心部分，其中中心部分包括拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在该实施例的各种实施方式中，导电悬臂的总长度可以在4.5毫米与7毫米之间，并且中心部分的宽可以在0.012毫米至0.030毫米。在导电悬臂的一个具体实施方式中，第一根部和第二根部中的每一个在垂直于悬臂长度的方向上通过相应分叉接合部连接到中心部分。在该实施方式中，分叉接合部包括多个平行梁。在一个实施例中，分叉接合部包括第一锥形端部，该第一锥形端部在垂直于悬臂长度的方向上连接到第二锥形端部。

3、在又一个实施例中，用于mems装置的震动止动件的宽在0.250毫米至1.000毫米之间并且长在0.0250毫米至1.200毫米之间，并且包括直径在10微米与20微米之间的多个圆形孔。在该实施例的一个实施方式中，震动止动件可以用在mems致动器中。在该实施例中，mems致动器可以包括：内框架，内框架包括震动止动件；以及通过多个挠曲件连接到内框架的外框架，其中外框架包括相应的震动止动件，所述相应的震动止动件配置成在震动的情况下接触震动止动件。

4、如本文所用，定量术语“约”是指正或负10％。例如，“约10”将包含9至11。此外，在本文中结合定量术语使用“约”时，应该理解，除了数值正或负10％之外，还考虑和描述了定量术语的精确值。例如，术语“约10”明确地考虑、描述并精确地包括10。

5、根据以下详细描述并结合附图，本公开的其他特征和方面将变得显而易见，附图以示例的方式示出了根据各种实施例的特征。该概述并非旨在限制本发明的范围，本发明的范围仅由所附权利要求限定。

技术特征：

1.一种用于微机电系统(mems)装置的运动控制挠曲件，包括：

2.根据权利要求1所述的运动控制挠曲件，其中所述杆的长在1mm与4mm之间，宽在10μm与70μm之间。

3.根据权利要求2所述的运动控制挠曲件，其中所述第一铰链和所述第二铰链中的每一个的长在0.05mm与0.3mm之间并且宽在1μm与10μm之间。

4.根据权利要求3所述的运动控制挠曲件，其中所述挠曲件沿着其长度的方向是刚性的并且在垂直于其长度的方向上是挠性的。

5.根据权利要求2所述的运动控制挠曲件，其中所述杆在其中心处约50μm宽并且在其第一端部和第二端部处约35μm宽。

6.根据权利要求1所述的运动控制挠曲件，其中所述第一铰链和所述第二铰链各自连接到mems致动器的相应框架。

技术总结公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。技术研发人员：格拉尔多·莫拉比托,刘晓磊,王桂芹,罗曼·古铁雷斯,马修·恩格受保护的技术使用者：麦斯卓微电子（南京）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/11