压电驱动元件的制作方法

本发明涉及通过压电致动器对可动部进行驱动的压电驱动元件，例如，适合在通过配置于可动部的反射镜使光进行扫描的情况下使用。

背景技术：

1、近年来，开发了利用mems(micro electro mechanical system，微机电系统)技术使可动部转动的压电驱动元件。在这种压电驱动元件中，将反射镜配置于可动部，由此能够使入射到反射镜的光以给定的摆角进行扫描。

2、例如，在以下的专利文献1中，记载了具备蜿蜒构造的压电致动器的光偏转器。压电致动器包含具有支承体和形成在支承体上的压电体的多个压电悬臂。多个压电悬臂的端部以机械方式进行连结，使得积累各自的弯曲变形，通过驱动电压的施加，各压电悬臂独立地弯曲变形。

3、此外，在以下的非专利文献1中，记载了如下的构造，即，在这种光偏转器中，为了抑制反射镜的挠曲，用肋部来加强形成反射镜的可动部的外周。

4、在先技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2008-40240号公报

7、非专利文献

8、非专利文献1：jocelyn t.nee，其他3名，“lightweight，optically flatmicromirrors for fast beam steering”，2000 ieee/leos international conferenceon optical mems(cat.no.00ex399)，2000年8月，p.9-10

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、如上述那样，若用肋部来加强可动部的外周，则虽然可抑制可动部的翘曲，但肋部的质量却成为负荷，包含可动部的元件部的谐振频率下降。这样的谐振频率的下降导致耐振动性的下降、可动部的控制性的下降这样的驱动特性的下降。

3、鉴于这样的问题，本发明的目的在于，提供一种能够在抑制可动部的驱动特性的下降的同时抑制可动部的翘曲的压电驱动元件。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明的第1方式涉及压电驱动元件。本方式涉及的压电驱动元件具备：支承体；板状的可动部，配置有肋部；一对蜿蜒型的压电致动器，一端被所述支承体支承；和连结部，将所述一对压电致动器的另一端和所述可动部连结，具有比所述可动部高的刚性。

6、根据本方式涉及的压电驱动元件，通过肋部可抑制板状的可动部的翘曲。此外，可提高连结部的刚性，由此可提高元件部(压电致动器、连结部以及可动部)的刚性。由此，能够提高元件部的谐振频率。因而，能够在抑制可动部的驱动特性的下降的同时抑制可动部的翘曲。

7、本发明的第2方式涉及压电驱动元件。本方式涉及的压电驱动元件具备：支承体；板状的可动部，配置有肋部；一对蜿蜒型的压电致动器，一端被所述支承体支承；和连结部，将所述一对压电致动器的另一端和所述可动部连结。所述连结部按照大致包含在将所述连结部和所述压电致动器的连接位置与所述可动部的中心连结的直线、和基于所述压电致动器的所述可动部的转动轴之间的范围内的方式，连接于所述可动部。

8、根据本方式涉及的压电驱动元件，通过肋部可抑制板状的可动部的翘曲。此外，连结部按照大致包含在将连结部和压电致动器的连接位置与可动部的中心连结的直线、和基于压电致动器的可动部的转动轴之间的范围内的方式连接于可动部，因此能够抑制连结部相对于转动轴的惯性力矩。由此，能够提高元件部(压电致动器、连结部以及可动部)的谐振频率。因而，能够在抑制可动部的驱动特性的下降的同时抑制可动部的翘曲。

9、发明效果

10、如以上，根据本发明，能够提供一种能够在抑制可动部的驱动特性的下降的同时抑制可动部的翘曲的压电驱动元件。

11、本发明的效果或意义根据以下所示的实施方式的说明而变得更明确。不过，以下所示的实施方式终究只是将本发明实施化时的一个例示，本发明完全不限制于以下的实施方式记载的内容。

技术特征：

1.一种压电驱动元件，具备：

2.根据权利要求1所述的压电驱动元件，其中，

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动元件，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电驱动元件，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电驱动元件，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电驱动元件，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的压电驱动元件，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电驱动元件，其中，

9.一种压电驱动元件，具备：

10.根据权利要求9所述的压电驱动元件，其中，

11.根据权利要求9或10所述的压电驱动元件，其中，

12.根据权利要求9至11中任一项所述的压电驱动元件，其中，

技术总结本发明提供一种压电驱动元件。压电驱动元件(1)具备：支承体(10)；板状的可动部(21)，配置有肋部(22)；一对蜿蜒型的压电致动器(40)，一端(端部(40a))被支承体(10)支承；和连结部(50)，将一对压电致动器(40)的另一端(端部(40b))和可动部(21)连结，具有比可动部(21)高的刚性。技术研发人员：水原健介受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社技术研发日：技术公布日：2024/1/13