微机电装置的制作方法

本公开涉及微机电(mems)装置，并且特别地涉及防止可移动装置部件与固定装置部件之间不期望的接触的运动限制器。

背景技术：

1、诸如加速度计和陀螺仪的微机电(mems)装置通常包括质量元件，该质量元件悬挂于具有挠性悬挂结构的固定锚固件，该挠性悬挂结构允许质量元件相对于相邻的固定结构移动。可移动质量元件可以称为转子，并且锚固件所在的固定装置部件可以称为定子。与转子相邻的固定结构通常还包括在转子和mems装置的其他作用部件周围形成封围件的壁。

2、转子与固定结构之间的直接物理接触通常是不期望的，因为这可能干扰装置的操作。尽管转子及其悬挂结构可以定尺寸成使得直接接触在常规操作中不会发生，但异常的外部冲击仍可能使转子移位使其与固定结构直接接触，从而导致结构损坏、粘滞、电气短路或其他故障。

3、可以在mems装置中实施运动限制器，以减少或防止这些有害后果。运动限制器可以例如包括附接至转子并且从转子朝向相邻固定结构延伸的隆起部。运动限制器隆起部与固定结构之间的间隙可以在预期的运动方向上变窄，使得在发生外部冲击的情况下，隆起部将是第一个与固定结构接触的部分。例如，可以通过将运动限制器隆起部安置成尽可能远离转子最敏感的区域来减少损害。

4、然而，可用于运动限制器的空间通常受到成本和设计考虑的限制。此外，将运动限制器隆起部刚性地固定至转子的普遍问题在于隆起部和转子总是一起移动。如果隆起部与固定结构之间的冲击很猛烈，则可以从固定结构或隆起部本身释放颗粒。这些颗粒可以朝向装置的更敏感区域移动，限制动态操作范围，并导致短路或其他损坏。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种克服上述问题的设备。

2、本公开的目的通过特征在于独立权利要求中所述内容的装置来实现。在从属权利要求中公开了本公开的优选的实施方式。

3、本公开基于在从转子延伸至定子的挠性弹簧上建立运动限制器的构思。这种布置的优点在于运动限制器与相邻固定结构之间的冲击会变得柔和。

技术特征：

1.一种微机电装置，包括可移动的转子和固定的定子，其中，所述转子在所述转子的静止位置中位于水平装置平面中，并且所述转子位于所述定子附近，使得所述转子的边缘通过转子-定子间隙与所述定子的边缘分隔，

2.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，所述一个或更多个第一减震器弹簧包括一个第一减震器弹簧，并且所述一个或更多个第二减震器弹簧包括一个第二减震器弹簧。

3.根据权利要求2所述的微机电装置，其中，所述一个第一减震器弹簧包括附接至所述转子的第一扭棒、附接至所述冲击部件的第二扭棒以及在所述第一扭棒与所述第二扭棒之间延伸的第一连接杆，并且所述一个第二减震器弹簧包括附接至所述冲击部件的第三扭棒、附接至所述定子的第四扭棒以及在所述第三扭棒与所述第四扭棒之间延伸的第二连接杆。

4.根据权利要求2所述的微机电装置，其中，所述一个第一减震器弹簧在所述装置平面中具有曲折形状，并且所述一个第二减震器弹簧在所述装置平面中也具有曲折形状。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的微机电装置，其中，每个第一减震器弹簧的尺寸基本上等于每个第二减震器弹簧的尺寸。

6.根据权利要求1所述的微机电装置，其中，所述一个或更多个第一减震器弹簧包括附接至所述冲击部件的相反端部的两个第一减震器弹簧，并且所述一个或更多个第二减震器弹簧包括附接至所述冲击部件的相反端部的两个第二减震器弹簧。

7.根据权利要求6所述的微机电装置，其中，所述两个第一减震器弹簧中的每一者包括附接至所述转子的第一扭棒、附接至所述冲击部件的第二扭棒以及在所述第一扭棒与所述第二扭棒之间延伸的第一连接杆，并且所述两个第二减震器弹簧中的每一者包括附接至所述冲击部件的第三扭棒、附接至所述定子的第四扭棒以及在所述第三扭棒与所述第四扭棒之间延伸的第二连接杆。

8.根据权利要求7所述的微机电装置，其中，每个第一减震器弹簧和每个第二减震器弹簧的尺寸基本相等。

技术总结本公开提供了一种微机电装置，该微机电装置包括：装置平面中的固定定子和可移动转子；固定壁，该固定壁限定了与装置平面相邻的壁平面；以及运动限制器，该运动限制器构造成防止转子与固定壁直接物理接触。运动限制器包括从转子延伸至定子的减震器和从固定壁朝向减震器突出的固定止挡件结构。技术研发人员：米科·帕尔塔宁受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/1/13