一种储能锚点结构及微机电系统谐振器的制作方法

本申请涉及微机电系统，具体涉及一种储能锚点结构及微机电系统谐振器。

背景技术：

1、微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)谐振器是使机械结构在其固有频率振动的装置。近年来，基于微机电系统谐振器的振荡器引起人们越来越多的关注。微机电系统谐振器目前正被开发用于各种各样的应用。例如，其可以用在电子装置的时钟电路中以生成时钟信号。

2、其中，q值是表征微机电系统谐振器性能的重要指标，而微机电系统谐振器的q值主要受锚点损耗限制。具体地，微机电系统谐振器工作时，部分能量会通过锚点耗散，从而导致能量损失，进而影响微机电系统谐振器的q值，导致微机电系统谐振器的q值降低。

3、因此，如何减小微机电系统谐振器中锚点的能量通过锚点耗散是现有微机电系统谐振器厂家亟需解决的难题。

技术实现思路

1、本申请提供一种储能锚点结构及微机电系统谐振器，可以解决因微机电系统谐振器中锚点的能量耗散所导致的微机电系统谐振器的q值降低的技术问题。

2、第一方面，本申请提供一种储能锚点结构，包括固定锚点、储能锚点、第一锚点连接梁以及第二锚点连接梁；其中，所述第一锚点连接梁和所述第二锚点连接梁交叉连接，所述固定锚点位于所述第一锚点连接梁的端部，所述储能锚点位于所述第二锚点连接梁的端部。

3、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述储能锚点为质量块。

4、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述固定锚点呈工字形，且所述储能锚点位于所述固定锚点形成的缺口中。

5、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述第一锚点连接梁沿第一方向设置，所述第二锚点连接梁沿第二方向设置，所述第一方向与所述第二方向垂直。

6、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述第一锚点连接梁与所述第二锚点连接梁的交叉点位于所述第一锚点连接梁的对称中心。

7、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述储能锚点上设有储能孔。

8、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述储能孔的形状包括圆形、椭圆形、三角形以及矩形。

9、在本申请实施例提供的储能锚点结构中，所述储能锚点包括相互连接的第一部分与第二部分，所述第一部分和所述第二部分分别位于所述第二锚点连接梁的相对两侧，位于所述第一部分的储能孔为通孔，位于所述第二部分的储能孔为盲孔。

10、第二方面，本申请还提供一种微机电系统谐振器，所述微机电系统谐振器包括振动组件、感测电极、驱动电极以及如上所述的储能锚点结构，所述振动组件与所述固定锚点固定连接，所述感测电极和所述驱动电极分别与所述振动组件电连接。

11、在本申请实施例提供的微机电系统谐振器中，所述振动组件的材料与所述储能锚点的材料不同。

12、本申请提供的储能锚点结构及微机电系统谐振器，包括括固定锚点、储能锚点、第一锚点连接梁以及第二锚点连接梁。其中，固定锚点用于固定振动部件，储能锚点用于存储振动组件产生的弹性波并反射至振动组件。因此，在本申请实施例中，通过设置储能锚点，可以存储振动组件振动时产生的能量波，并将此能量波反射至振动组件，从而可以补充振动组件在锚点处的能量损耗，即减少振动组件在锚点处的振动损耗，进而可以提高微机电系统谐振器的q值。

技术特征：

1.一种储能锚点结构，其特征在于，包括固定锚点、储能锚点、第一锚点连接梁以及第二锚点连接梁；其中，所述第一锚点连接梁和所述第二锚点连接梁交叉连接，所述固定锚点位于所述第一锚点连接梁的端部，所述储能锚点位于所述第二锚点连接梁的端部。

2.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述储能锚点为质量块。

3.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述固定锚点呈工字形，且所述储能锚点位于所述固定锚点形成的缺口中。

4.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述第一锚点连接梁沿第一方向设置，所述第二锚点连接梁沿第二方向设置，所述第一方向与所述第二方向垂直。

5.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述第一锚点连接梁与所述第二锚点连接梁的交叉点位于所述第一锚点连接梁的对称中心。

6.根据权利要求1所述的储能锚点结构，其特征在于，所述储能锚点上设有储能孔。

7.根据权利要求6所述的储能锚点结构，其特征在于，所述储能孔的形状包括圆形、椭圆形、三角形以及矩形。

8.根据权利要求6所述的储能锚点结构，其特征在于，所述储能锚点包括相互连接的第一部分与第二部分，位于所述第一部分的储能孔为通孔，位于所述第二部分的储能孔为盲孔。

9.一种微机电系统谐振器，其特征在于，所述微机电系统谐振器包括振动组件、感测电极、驱动电极以及如权利要求1-8任一项所述的储能锚点结构，所述振动组件与所述固定锚点固定连接，所述感测电极和所述驱动电极分别与所述振动组件电连接。

10.根据权利要求9所述的微机电系统谐振器，其特征在于，所述振动组件的材料与所述储能锚点的材料不同。

技术总结本申请提供的储能锚点结构及微机电系统谐振器，包括固定锚点、储能锚点、第一锚点连接梁以及第二锚点连接梁。其中，固定锚点用于固定振动部件，储能锚点用于存储振动组件产生的弹性波并反射至振动组件。因此，在本申请实施例中，通过设置储能锚点，可以存储振动组件振动时产生的能量波，并将此能量波反射至振动组件，从而可以补充振动组件在锚点处的能量损耗，即减少振动组件在锚点处的振动损耗，进而可以提高微机电系统谐振器的Q值。技术研发人员：雷永庆,吴振云,李轩受保护的技术使用者：麦斯塔微电子（深圳）有限公司技术研发日：20230223技术公布日：2024/1/15