撕胶设备及其操作方法与流程

本发明有关一种撕胶设备及一种撕胶设备的操作方法。

背景技术：

1、一般而言，具有微机电系统的晶圆在撕除保护微机电系统(mems)的膜片(membrane)时，是使用硬的杆体将剥除胶带施压于晶圆的膜片上，使剥除胶带贴附于膜片。接着，移动承载晶圆的载台，便可让膜片随剥除胶带移动而脱离晶圆。

2、然而，由于杆体通常是维持相对于晶圆45度的倾斜角，因此在剥除胶带撕除膜片时的剥除角度也约为45度。如此一来，对膜片覆盖的微机电系统会产生较大的垂直剥除力(peeling force)，易在撕除膜片时造成晶圆的微机电系统损坏，影响良率。此外，杆体硬度高，施压剥除胶带时对晶圆的微机电系统有很高的风险。

技术实现思路

1、本发明的一技术态样为一种撕胶设备。

2、根据本发明的一些实施方式，一种撕胶设备包括移动载台、胶带供应件、胶带路径维持件、施压滚轮与胶带接收件。移动载台配置以吸附晶圆。晶圆具有膜片。胶带供应件位于移动载台上方，且包括滚轮与卷绕于此滚轮的剥除胶带。胶带路径维持件位于移动载台上方与胶带供应件下游，且抵靠剥除胶带，配置以限制膜片与晶圆之间的垂直距离。施压滚轮位于移动载台上方且位于胶带路径维持件下游，配置以垂直移动载台的方向移动而施压于剥除胶带，使剥除胶带贴附于晶圆的该膜片。胶带接收件位于移动载台上方与施压滚轮下游，且连接剥除胶带，配置以带动与接收剥除胶带。

3、在一些实施方式中，上述胶带路径维持件具有滚轮，胶带路径维持件的滚轮与施压滚轮配置以分别抵靠剥除胶带相对的第一侧与第二侧。

4、在一些实施方式中，上述胶带供应件的滚轮抵靠剥除胶带的第二侧。

5、在一些实施方式中，上述胶带接收件具有圆盘，胶带接收件的圆盘与胶带路径维持件的滚轮配置以抵靠剥除胶带的第一侧。

6、在一些实施方式中，上述胶带接收件包括马达，配置以转动胶带接收件的圆盘而带动剥除胶带。

7、在一些实施方式中，上述施压滚轮的材料包括聚胺酯。

8、在一些实施方式中，上述撕胶设备还包括夹膜轮组与辅助轮。夹膜轮组位于胶带供应件的下游与胶带路径维持件的上游。辅助轮位于夹膜轮组的下游与胶带路径维持件的上游。

9、在一些实施方式中，上述撕胶设备还包括辅助轮。辅助轮位于施压滚轮的下游与胶带接收件的上游。

10、在一些实施方式中，上述撕胶设备还包括热压头，配置以对施压滚轮与辅助轮之间的剥除胶带热压。

11、本发明的另一技术态样为一种撕胶设备的操作方法。

12、根据本发明的一些实施方式，一种撕胶设备的操作方法包括往接近移动载台的方向降低施压滚轮以施压于剥除胶带，使剥除胶带贴附于被移动载台吸附的晶圆的膜片；往远离移动载台的方向上升施压滚轮，使施压滚轮与剥除胶带分开；以水平方向移动移动载台且转动连接于剥除胶带的胶带接收件，使膜片随剥除胶带移动而从晶圆脱离；以及移动移动载台且转动胶带接收件时，使用抵靠剥除胶带的胶带路径维持件限制膜片与晶圆之间的垂直距离。

13、在一些实施方式中，上述撕胶设备的操作方法还包括使用位于胶带路径维持件上游的胶带供应件提供剥除胶带，其中剥除胶带卷绕于胶带供应件的滚轮。

14、在一些实施方式中，上述撕胶设备的操作方法还包括当降低施压滚轮以施压于剥除胶带时，施压滚轮与胶带供应件的滚轮抵靠剥除胶带的同一侧。

15、在一些实施方式中，上述撕胶设备的操作方法还包括当降低施压滚轮以施压于剥除胶带时，胶带接收件的圆盘与胶带路径维持件的滚轮抵靠剥除胶带的同一侧。

16、在一些实施方式中，上述撕胶设备的操作方法还包括当降低施压滚轮以施压于剥除胶带时，胶带路径维持件的滚轮与施压滚轮分别抵靠剥除胶带的相对两侧。

17、在一些实施方式中，上述撕胶设备的操作方法还包括在往接近移动载台的方向降低施压滚轮前，以相反该水平方向的另一水平方向移动移动载台。

18、在本发明上述实施方式中，由于撕胶设备的施压滚轮可升降，因此施压滚轮在降低后可将剥除胶带贴附于晶圆的膜片，在上升后可与剥除胶带分开。此外，当以水平方向移动移动载台且转动连接于剥除胶带的胶带接收件时，膜片不仅可随剥除胶带移动而从晶圆脱离，胶带路径维持件还可抵靠剥除胶带而限制膜片与晶圆之间的垂直距离，使剥除胶带在撕除膜片时的剥除角度可较为水平(例如小于30度)。如此一来，可有效降低对膜片覆盖的晶圆(例如微机电系统)产生的垂直剥除力(peeling force)，避免在撕除膜片时造成晶圆的微机电系统损坏，提升产品良率。此外，施压滚轮可具弹性，施压剥除胶带时可有效降低晶圆的微机电系统的风险。

技术特征：

1.一种撕胶设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的撕胶设备，其特征在于，该胶带路径维持件具有滚轮，该胶带路径维持件的该滚轮与该施压滚轮被配置为分别抵靠该剥除胶带相对的第一侧与第二侧。

3.根据权利要求2所述的撕胶设备，其特征在于，该胶带供应件的该滚轮抵靠该剥除胶带的该第二侧。

4.根据权利要求2所述的撕胶设备，其特征在于，该胶带接收件具有圆盘，该胶带接收件的该圆盘与该胶带路径维持件的该滚轮被配置为抵靠该剥除胶带的该第一侧。

5.根据权利要求4所述的撕胶设备，其特征在于，该胶带接收件包括：马达，其被配置为转动该胶带接收件的该圆盘而带动该剥除胶带。

6.根据权利要求1所述的撕胶设备，其特征在于，该施压滚轮的材料包括聚胺酯。

7.根据权利要求1所述的撕胶设备，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求1所述的撕胶设备，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的撕胶设备，其特征在于，还包括：

10.一种撕胶设备的操作方法，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的撕胶设备的操作方法，其特征在于，还包括：

12.根据权利要求11所述的撕胶设备的操作方法，其特征在于，还包括：

13.根据权利要求10所述的撕胶设备的操作方法，其特征在于，还包括：

14.根据权利要求10所述的撕胶设备的操作方法，其特征在于，还包括：

15.根据权利要求10所述的撕胶设备的操作方法，其特征在于，还包括：

技术总结撕胶设备及其操作方法，该设备包括移动载台、胶带供应件、胶带路径维持件、施压滚轮与胶带接收件。移动载台配置以吸附晶圆。晶圆具有膜片。胶带供应件位于移动载台上方，且包括滚轮与卷绕于此滚轮的剥除胶带。胶带路径维持件位于移动载台上方与胶带供应件下游，且抵靠剥除胶带，配置以限制膜片与晶圆之间的垂直距离。施压滚轮位于移动载台上方且位于胶带路径维持件下游，配置以垂直移动载台的方向移动而施压于剥除胶带，使剥除胶带贴附于晶圆的该膜片。胶带接收件位于移动载台上方与施压滚轮下游，且连接剥除胶带，配置以带动与接收剥除胶带。由此，使剥除胶带在撕除膜片时的剥除角度可较为水平，可有效降低对膜片覆盖的晶圆产生的垂直剥除力。技术研发人员：赖俊谚,魏瑞庆,陈世光受保护的技术使用者：精材科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/15