MEMS间隔组件的制作方法

本公开总体涉及一种致动器，更具体地，涉及一种被配置用于相机封装内的微型mems致动器。

背景技术：

1、如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在许多应用中，例如便携式装置、成像相关装置、电信组件和医疗仪器，微型致动器易于实现这些应用的小尺寸、低功率和成本限制的要求。

2、微机电系统(mems)技术最一般的形式可被定义为使用微制造技术制造的微型机械和机电元件的技术。mems装置的关键尺寸区间从远低于一微米到几毫米。通常，mems致动器比常规致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

技术实现思路

1、在一个实施方式中，提供了一种间隔组件，包括：被配置为将图像传感器定位在mems致动器上的基本平面结构部分；被配置为用环氧树脂安装到mems致动器的外子部分；以及被配置为用环氧树脂安装图像传感器的内子部分。

2、以下特征的一个或多个可以被包括：该该外子部分被配置为用环氧树脂安装到该mems致动器。该内子部分被配置为用环氧树脂安装该图像传感器。该基本平面结构部分包括被配置为使得该图像传感器和该mems致动器能够电连接的一个或多个减压组件。该基本平面结构部分包括被配置为防止该图像传感器的意外移动的一个或多个移动限制组件。该图像传感器的意外移动包括该图像传感器的跌落引起的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为限制在x轴和y轴上的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为基本上防止在z轴上的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为与一个或多个止动组件对接。该一个或多个止动组件是保持器组件的一部分。间隔组件由金属制成。

3、在另一个实施方式中，提供了一种间隔组件，包括：该该被配置为将图像传感器定位在mems致动器上的基本平面结构部分；被配置为用环氧树脂安装到mems致动器的外子部分；以及被配置为用环氧树脂安装图像传感器的内子部分。

4、以下特征的一个或多个可以被包括。该该该基本平面结构部分包括被配置为使得该图像传感器和该mems致动器能够电连接的一个或多个减压组件。该基本平面结构部分包括被配置为防止该图像传感器的意外移动的一个或多个移动限制组件。该图像传感器的意外移动包括该图像传感器的跌落引起的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为限制在x轴和y轴上的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为基本上防止在z轴上的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为与一个或多个止动组件对接。该一个或多个止动组件是保持器组件的一部分。

5、在另一个实施方式中，提供了一种间隔组件，包括：被配置为将图像传感器定位在mems致动器上的基本平面结构部分；被配置为安装到所述mems致动器的外子部分；以及被配置为安装该图像传感器的内子部分；该基本平面结构部分包括被配置为防止图像传感器的意外移动的一个或多个移动限制组件。

6、以下特征的一个或多个可以被包括。该图像传感器的意外移动包括所述图像传感器的跌落引起的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为限制在x轴和y轴上的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为基本上防止在z轴上的移动。该一个或多个移动限制组件被配置为与一个或多个止动组件对接。该一个或多个止动组件是保持器组件的一部分。

7、在以下附图和说明书中描述了一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求书，其他特征和优点将显而易见。

技术特征：

1.一种间隔组件，包括：

2.根据权利要求1所述的间隔组件，其中，所述外子部分被配置为用环氧树脂安装到所述mems致动器。

3.根据权利要求1所述的间隔组件，其中，所述内子部分被配置为用环氧树脂安装所述图像传感器。

4.根据权利要求1所述的间隔组件，其中，所述基本平面结构部分包括被配置为使得所述图像传感器和所述mems致动器能够电连接的一个或多个减压组件。

5.根据权利要求1所述的间隔组件，其中，所述基本平面结构部分包括被配置为防止所述图像传感器的意外移动的一个或多个移动限制组件。

6.根据权利要求5所述的间隔组件，其中，所述图像传感器的意外移动包括所述图像传感器的跌落引起的移动。

7.根据权利要求5所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为限制在x轴和y轴上的移动。

8.根据权利要求5所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为基本上防止在z轴上的移动。

9.根据权利要求5所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为与一个或多个止动组件对接。

10.根据权利要求9所述的间隔组件，其中，所述一个或多个止动组件是保持器组件的一部分。

11.根据权利要求1所述的间隔组件，其中，所述间隔组件由金属制成。

12.一种间隔组件，包括：

13.根据权利要求12所述的间隔组件，其中，所述基本平面结构部分包括被配置为使得所述图像传感器和所述mems致动器能够电连接的一个或多个减压组件。

14.根据权利要求12所述的间隔组件，其中，所述基本平面结构部分包括被配置为防止所述图像传感器的意外移动的一个或多个移动限制组件。

15.根据权利要求14所述的间隔组件，其中，所述图像传感器的意外移动包括所述图像传感器的跌落引起的移动。

16.根据权利要求14所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为限制在x轴和y轴上的移动。

17.根据权利要求14所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为基本上防止在z轴上的移动。

18.根据权利要求14所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为与一个或多个止动组件对接。

19.根据权利要求18所述的间隔组件，其中，所述一个或多个止动组件是保持器组件的一部分。

20.一种间隔组件，包括：

21.根据权利要求20所述的间隔组件，其中，所述图像传感器的意外移动包括所述图像传感器的跌落引起的移动。

22.根据权利要求20所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为限制在x轴和y轴上的移动。

23.根据权利要求20所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为基本上防止在z轴上的移动。

24.根据权利要求20所述的间隔组件，其中，所述一个或多个移动限制组件被配置为与一个或多个止动组件对接。

25.根据权利要求24所述的间隔组件，其中，所述一个或多个止动组件是保持器组件的一部分。

技术总结本发明公开了一种间隔组件包括：基本平面结构部分，被配置为将图像传感器定位在MEMS致动器上；外子部分，被配置为安装到该MEMS致动器上；以及内子部分，被配置为安装该图像传感器。该外子部分可以被配置为用环氧树脂安装到该MEMS致动器上。该内子部分可被配置为用环氧树脂安装该图像传感器。该基本平面结构部分包括一个或多个减压组件，该一个或多个减压组件被配置为电连接该图像传感器和该MEMS致动器。技术研发人员：王桂芹,马修·恩格受保护的技术使用者：麦斯卓微电子（南京）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/15