MEMS组件和工艺流程的制作方法

本公开总体涉及一种致动器，更具体地，涉及一种被配置用于相机封装内的微型mems致动器及其制造方法。

背景技术：

1、如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在许多应用中，例如便携式装置、成像相关装置、电信组件和医疗仪器，微型致动器易于实现这些应用的小尺寸、低功率和成本限制的要求。

2、微机电系统(mems)技术最通常的形式可被定义为使用微制造技术制造的微型机械和机电元件的技术。mems装置的关键尺寸区间从远低于一微米到几毫米。通常，mems致动器比常规致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

技术实现思路

1、在一个实施方式中，一种玻璃膜变形组件，被配置为使玻璃膜变形，包括：可变形玻璃膜，具有第一表面和第二表面；压电层，粘贴至该可变形玻璃膜的该第一表面的至少一部分，其中该压电层通过电压电位可控制地可变形；以及结构层，粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面的至少一部分；其中该压电层的可控制的变形被配置为可控制地使该可变形玻璃膜变形。

2、以下特征的一个或多个可以被包括：该压电层被配置为可控制地使该可变形玻璃膜从通常的平面构造变形为通常的凸面构造。该可变形玻璃膜是圆形可变形玻璃膜；以及该压电层是环形压电层。该压电层通过物理沉积技术粘贴至该可变形玻璃膜的该第一表面。该压电层包括用于施加电压电位的第一电极和第二电极。该结构层是环形结构层。该结构层包括以下一种或多种：金属基结构层；以及硅基结构层。该结构层通过环氧树脂粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面。该结构层通过粘合技术粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面。该可变形玻璃膜是石英基可变形玻璃膜。

3、在另一个实施方式中，提供了一种玻璃膜变形组件，被配置为使玻璃膜变形，包括：可变形玻璃膜，具有第一表面和第二表面；压电层，粘贴至该可变形玻璃膜的该第一表面的至少一部分，其中该压电层通过电压电位可控制地可变形；以及结构层，粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面的至少一部分；其中：该压电层的可控制的变形被配置为可控制地使该可变形玻璃膜变形，该可变形玻璃膜是圆形可变形玻璃膜，该压电层是环形压电层，以及该结构层是环形结构层。

4、以下特征的一个或多个可以被包括。该压电层被配置为可控制地使该可变形玻璃膜从通常的平面构造变形为通常的凸面构造。该压电层包括用于施加电压电位的第一电极和第二电极。该结构层包括以下一种或多种：金属基结构层；以及硅基结构层。该可变形玻璃膜是石英基可变形玻璃膜。

5、在另一个实施方式中，提供了一种制造玻璃膜变形组件的方法，包括：将压电层粘贴至可变形玻璃膜的第一表面；蚀刻该压电层的一部分以暴露该可变形玻璃膜的该第一表面的一部分；将结构层粘贴至该可变形玻璃膜的第二表面；以及蚀刻该结构层的一部分以暴露该可变形玻璃膜的该第二表面的一部分。

6、以下特征的一个或多个可以被包括。将该可变形玻璃膜减薄至所需的厚度。将压电层粘贴至可变形玻璃膜的第一表面包括：将该压电层物理沉积到该可变形玻璃膜的该第一表面。将结构层粘贴至该可变形玻璃膜的第二表面包括：通过环氧树脂将该结构层粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面。将该结构层粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面包括：通过粘合技术将该结构层粘合至该可变形玻璃膜的该第二表面。

7、在以下附图和说明书中描述了一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求，其他特征和优点将显而易见。

技术特征：

1.一种玻璃膜变形组件，被配置为使玻璃膜变形，包括：

2.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层被配置为可控制地使所述可变形玻璃膜从通常的平面构造变形为通常的凸面构造。

3.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中：

4.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层通过物理沉积技术粘贴至所述可变形玻璃膜的所述第一表面。

5.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层包括用于施加电压电位的第一电极和第二电极。

6.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构层是环形结构层。

7.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构层包括以下一种或多种：

8.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构层通过环氧树脂粘贴至所述可变形玻璃膜的所述第二表面。

9.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构层通过粘合技术粘贴至所述可变形玻璃膜的所述第二表面。

10.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形玻璃膜是石英基可变形玻璃膜。

11.一种玻璃膜变形组件，被配置为使玻璃膜变形，包括：

12.根据权利要求11所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层被配置为可控制地使所述可变形玻璃膜从通常的平面构造变形为通常的凸面构造。

13.根据权利要求11所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层包括用于施加电压电位的第一电极和第二电极。

14.根据权利要求11所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构层包括以下一种或多种：

15.根据权利要求11所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形玻璃膜是石英基可变形玻璃膜。

16.一种制造玻璃膜变形组件的方法，包括：

17.如权利要求16所述的制造玻璃膜变形组件的方法，还包括：

18.根据权利要求16所述的制造玻璃膜变形组件的方法，其中，将压电层粘贴至可变形玻璃膜的第一表面包括：

19.根据权利要求16所述的制造玻璃膜变形组件的方法，其中，将结构层粘贴至所述可变形玻璃膜的第二表面包括：

20.根据权利要求16所述的制造玻璃膜变形组件的方法，其中，将所述结构层粘贴至所述可变形玻璃膜的所述第二表面包括：

技术总结一种玻璃膜变形组件，被配置为使玻璃膜变形，包括：可变形玻璃膜，具有第一表面和第二表面；压电层，粘贴至该可变形玻璃膜的该第一表面的至少一部分，其中该压电层通过电压电位可控制地可变形；以及结构层，粘贴至该可变形玻璃膜的该第二表面的至少一部分；其中该压电层的可控制的变形被配置为可控制地使该可变形玻璃膜变形。技术研发人员：王桂芹,刘晓蕾受保护的技术使用者：麦斯卓微电子（南京）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/15