可动器件、MEMS器件以及光扫描装置的制作方法

本公开涉及可动器件、mems(micro electro mechanical systems：微机电系统)器件以及光扫描装置。

背景技术：

1、以往，已知具有通过电来驱动的可动部的可动器件。可动器件有通过微细加工技术形成的mems器件。另外，已知使用可动器件来扫描光的光扫描装置。

2、可动器件的检查使探针与可动器件的电极接触来进行。可动器件有电极设置于可动器件的单侧的可动器件(例如专利文献1)。

3、现有技术文献

4、专利文献1：日本特开2012-51062号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在专利文献1的可动器件的检查中，因动作时的振动，有时无法得到正常的探针的接触，无法得到充分的试验结果。因此，在将可动器件组装于封装件之后进行检查，但组装后的检查可能因检查工时或部件件数等的增加而导致成本增大。

3、本公开提供使可动器件的检查合理化的技术。

4、用于解决课题的手段

5、本公开的一方式提供一种可动器件，具有：可动部；驱动部，其驱动所述可动部；支承框，其包围所述可动部并支承所述驱动部；电极部，其与所述驱动部电连接；以及伪电极部，其与所述驱动部电绝缘，所述电极部和所述伪电极部设置于所述支承框。

6、发明效果

7、根据本公开的一方式，能够提供使可动器件的检查合理化的技术。

技术特征：

1.一种可动器件，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

11.根据权利要求1所述的可动器件，其特征在于，

12.一种mems器件，其特征在于，

13.根据权利要求12所述的mems器件，其特征在于，

14.根据权利要求12所述的mems器件，其特征在于，

15.一种光扫描装置，其特征在于，

技术总结本发明提供可动器件、MEMS器件以及光扫描装置，提供一种使可动器件的检查合理化的技术。可动器件具有：可动部、驱动可动部的驱动部、包围可动部并支承驱动部的支承框、与驱动部电连接的电极部、以及与驱动部电绝缘的伪电极部，电极部和伪电极部设置于支承框。技术研发人员：平朋博受保护的技术使用者：三美电机株式会社技术研发日：技术公布日：2024/1/5