微机电装置与用以制造其的方法与流程

本发明涉及微机电(micro electro mechanical system)装置与用以制造其的方法，且特别是涉及具有波纹图案的微机电装置与用以制造其的方法。

背景技术：

1、微机电元件是一种结合电子技术与机械工程制作而成的微型元件，通常可包含感测、处理及/或致动等功能。微机电元件已广泛地应用于消费性电子领域中。以扬声器为例，将微机电元件应用于扬声器可使扬声器的体积更小、功耗更低和可靠性更高，这些优势使微机电扬声器备受市场关注。然而，现有的微机电扬声器的性能仍然不足。

2、因此，有需要提出改良的微机电扬声器，其具有良好的性能。

技术实现思路

1、根据一实施例，提供微机电装置。微机电装置包含基板、在基板上的聚合物膜、贯穿基板的空腔、以及在基板上且在聚合物膜中的多个线圈结构。聚合物膜具有面对基板的下表面。聚合物膜包含配置于下表面的波纹图案。聚合物膜的一部分暴露于空腔中。

2、根据一实施例，提供用以制造微机电装置的方法。方法包含以下多个步骤。提供基板。在基板上形成多个线圈结构。在基板与多个线圈结构上形成介电层。移除介电层的第一部分以形成相邻于多个线圈结构的牺牲波纹图案。在介电层上形成聚合物膜，其中聚合物膜覆盖介电层的牺牲波纹图案。

3、为了对本发明的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附的附图详细说明如下。

技术特征：

1.一种微机电装置，包含：

2.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜的该波纹图案暴露于该空腔中。

3.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜的该波纹图案包含彼此分离的多个凸部，该些凸部朝向该空腔凸出。

4.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜具有相对于该下表面的上表面，该聚合物膜的该上表面包含平坦表面区，该平坦表面区在纵向方向上重叠于该波纹图案。

5.如权利要求1所述的微机电装置，还包含在该基板与该聚合物膜之间的介电层，该空腔贯穿该介电层。

6.如权利要求5所述的微机电装置，其中该介电层具有面对该基板的下表面，该下表面的一部分暴露于该空腔中。

7.如权利要求5所述的微机电装置，还包含在该介电层与该基板之间的氧化物层。

8.如权利要求7所述的微机电装置，其中该氧化物层与该介电层包含不同材料。

9.如权利要求7所述的微机电装置，其中该空腔贯穿该氧化物层。

10.如权利要求1所述的微机电装置，还包含在该基板与该聚合物膜之间的金属层，该金属层的一部分暴露于该空腔中。

11.一种用以制造微机电装置的方法，包含：

12.如权利要求11所述的方法，还包含：

13.如权利要求11所述的方法，还包含：

14.如权利要求13所述的方法，还包含：

15.如权利要求14所述的方法，还包含：

16.如权利要求15所述的方法，其中该波纹图案包含彼此分离的多个凸部，该些凸部朝向该空腔凸出。

17.如权利要求11所述的方法，其中形成该牺牲波纹图案的该步骤包含移除该介电层的第二部分，该介电层的该第二部分形成于该些线圈结构的上表面上。

18.如权利要求11所述的方法，还包含：

19.如权利要求18所述的方法，还包含：

20.如权利要求19所述的方法，还包含：

技术总结本发明公开一种微机电装置与用以制造其的方法。微机电装置包含基板、在基板上的聚合物膜、贯穿基板的空腔、以及在基板上且在聚合物膜中的多个线圈结构。聚合物膜具有面对基板的下表面。聚合物膜包含配置于下表面的波纹图案。聚合物膜的一部分暴露于空腔中。技术研发人员：张容豪,陈翁宜受保护的技术使用者：联华电子股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/16