一种微米金刚线切割液的制作方法

本发明属于硅晶体切割，尤其涉及一种微米金刚线切割液。

背景技术：

1、金刚线切割具有切割速度快，切割精度高，材料损耗低等特点，降低了硅片的加工成本，但是金刚线太粗会导致硅片损失较大。

2、针对目前金刚线切割细线化，硅片薄片化的发展要求，对切割液的要求也越来越高。要求金刚线切割液应具有较强的渗透作用，较好的分散作用。

技术实现思路

1、为了满足细线金刚线切割对切割液的要求，本发明提供了一种微米金刚线切割液，本发明的微米金刚线切割液由极压剂、润湿剂、消泡剂、润滑剂、耦合剂和去离子组成。

2、本发明的金刚线切割液按照质量份数的具体组成为：极压剂1-7份，润湿剂5-15份、消泡剂0.5-2份、润滑剂8-25份、耦合剂1-3份、去离子水50-100份。

3、其中，极压剂为三乙醇胺硼酸酯或乙醇胺硼酸酯。

4、润湿剂由异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯和复配增溶剂组成。

5、复配增溶剂的加入量为：异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯质量的15％。

6、复配增溶剂是由增溶剂1和增溶剂2按照1:1-3的质量比复配而成。

7、增溶剂1的制备方法为：以炔十二醇和环氧乙烷为原料，以氨水为催化剂，以乙醚为溶剂，在回流冷凝条件下经回流反应、旋转蒸发去除有机溶剂和催化剂，得到的加合物。

8、炔十二醇和环氧乙烷的摩尔比为1:5-8，氨水用量为炔十二醇质量的3-5％。

9、增溶剂2的制备方法为：以炔十二醇、环氧乙烷和环氧丙烷为原料，以氨水为催化剂，以乙醚为溶剂，在回流冷凝条件下经回流反应、旋转蒸发去除有机溶剂和催化剂，得到的加合物。

10、炔十二醇、环氧乙烷和环氧丙烷的摩尔比为1:2:2，氨水用量为炔十二醇质量的3-5％。

11、消泡剂为聚醚类消泡剂，具体为gp型甘油聚醚或gpe型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚。

12、润滑剂为四聚蓖麻油酸酯或六聚蓖麻油酸酯。

13、耦合剂为二乙二醇单丁醚或二丙二醇甲醚。

14、本发明提供的金刚线切割液的制备方法为：按重量份将极压剂、润湿剂、润滑剂依次加入去离子水中，混合后均匀搅拌至完全溶解；然后加入耦合剂和消泡剂，搅拌至均匀。

15、有益效果

16、本发明在切割液中加入自制的复配增溶剂，能够显著改善润湿剂的润湿性，进一步降低切割液的表面张力，制得的切割液润湿效果好，使得在切割过程中切割液能够发挥最大的铺展作用。

技术特征：

1.一种微米金刚线切割液，其特征在于，所述金刚线切割液按照质量份数的组成为：极压剂1-7份，润湿剂5-15份、消泡剂0.5-2份、润滑剂8-25份、耦合剂1-3份、去离子水50-100份；其中，润湿剂由异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯和复配增溶剂组成。

2.根据权利要求1所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述复配增溶剂的加入量为：异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯质量的15％。

3.根据权利要求1所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述复配增溶剂是增溶剂1和增溶剂2按照1:1-3的质量比复配而成。

4.根据权利要求3所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述增溶剂1的制备方法为：以炔十二醇和环氧乙烷为原料，以氨水为催化剂，以乙醚为溶剂，在回流冷凝条件下经回流反应、旋转蒸发去除有机溶剂和催化剂，得到的加合物。

5.根据权利要求4所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述炔十二醇和环氧乙烷的摩尔比为1:5-8；氨水用量为炔十二醇质量的3-5％。

6.根据权利要求3所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述增溶剂2的制备方法为：以炔十二醇、环氧乙烷和环氧丙烷为原料，以氨水为催化剂，以乙醚为溶剂，在回流冷凝条件下经回流反应、旋转蒸发去除有机溶剂和催化剂，得到的加合物。

7.根据权利要求6所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述炔十二醇、环氧乙烷和环氧丙烷的摩尔比为1:2:2；氨水用量为炔十二醇质量的3-5％。

8.根据权利要求1所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述极压剂为三乙醇胺硼酸酯或乙醇胺硼酸酯；消泡剂为聚醚类消泡剂。

9.根据权利要求1所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述润滑剂为四聚蓖麻油酸酯或六聚蓖麻油酸酯；耦合剂为二乙二醇单丁醚或二丙二醇甲醚。

10.根据权利要求1所述的微米金刚线切割液，其特征在于，所述切割液的制备方法为：按重量份将极压剂、润湿剂、润滑剂依次加入去离子水中，混合后均匀搅拌至完全溶解；然后加入耦合剂和消泡剂，搅拌至均匀。

技术总结本发明属于硅晶体切割技术领域，尤其涉及一种微米金刚线切割液。该微米金刚线切割液按照质量份数的组成为：极压剂1‑7份，润湿剂5‑15份、消泡剂0.5‑2份、润滑剂8‑25份、耦合剂1‑3份、去离子水50‑100份，其中，润湿剂由异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯和复配增溶剂组成。本发明在切割液中加入自制的复配增溶剂，能够显著改善润湿剂的润湿性，进一步降低切割液的表面张力，制得的切割液润湿效果好，使得在切割过程中切割液能够发挥最大的铺展作用。技术研发人员：张小飞受保护的技术使用者：常州高特新材料股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/4/17