太阳能电池工艺腔室及太阳能电池工艺设备的制作方法

本申请属于电池制造，具体涉及一种太阳能电池工艺腔室及太阳能电池工艺设备。

背景技术：

1、在太阳能电池的生产过程中，需要利用铝舟将电池片送入处于真空状态的腔室本体内，并向腔室本体内通入水与工艺气体，水与工艺气体在腔体内发生化学反应，使电池片在腔室本体内进行钝化过程，以提升电池片的性能。

2、通常利用水容器向腔室本体内通入水，因此在腔室本体内进行多个工艺过程的情况下，水容器内的水量减少过多，需要对水容器注水，并在注水完成后对水容器泄压。相关技术中，腔室本体连通有排气管路，排气管路连接有真空泵，在真空泵的抽吸作用下，水容器可通过腔室本体和排气管路进行泄压。但如此一来，泄压过程会影响腔室本体内的电池片，降低电池片的工艺效果，降低电池片的良率。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的是提供一种太阳能电池工艺腔室及太阳能电池工艺设备，能够解决相关技术中太阳能电池工艺腔室在泄压过程中降低电池片的工艺效果的问题。

2、第一方面，本申请实施例提供一种太阳能电池工艺腔室，包括腔室本体、水容器、泄压管路和排气管路，所述腔室本体用于加工电池片，所述腔室本体设有第一进水口和排气口，所述水容器设有出水口和泄压口，所述出水口与所述第一进水口连通，所述排气管路与所述排气口连通，所述泄压管路的第一端与所述泄压口连通，所述泄压管路的第二端与所述排气管路连通，且所述泄压管路设有第一控制阀，所述第一控制阀控制所述泄压管路的通断。

3、第二方面，本申请实施例还提供一种太阳能电池工艺设备，包括上述的太阳能电池工艺腔室。

4、在本申请实施例中，太阳能电池工艺腔室单独设置泄压管路和第一控制阀，能够利用泄压管路直接对水容器进行泄压，如此，无需通过腔室本体进行泄压过程，那么，泄压过程中的气体不会影响腔室本体内的电池片，保证电池片的工艺效果，有利于提升电池片的良率。

技术特征：

1.一种太阳能电池工艺腔室，其特征在于，包括腔室本体(100)、水容器(200)、泄压管路(300)和排气管路(400)，所述腔室本体(100)用于加工电池片，所述腔室本体(100)设有第一进水口(110)和排气口(120)，所述水容器(200)设有出水口(201)和泄压口(202)，所述出水口(201)与所述第一进水口(110)连通，所述排气管路(400)与所述排气口(120)连通，所述泄压管路(300)的第一端与所述泄压口(202)连通，所述泄压管路(300)的第二端与所述排气管路(400)连通，且所述泄压管路(300)设有第一控制阀(310)，所述第一控制阀(310)控制所述泄压管路(300)的通断。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述太阳能电池工艺腔室还包括压力检测元件(210)，所述压力检测元件(210)设置于所述水容器(200)，所述压力检测元件(210)与所述第一控制阀(310)通信连接，

3.根据权利要求2所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述太阳能电池工艺腔室还包括真空泵(410)，所述真空泵(410)的进口端与所述排气管路(400)连通，所述真空泵(410)与所述第一控制阀(310)通信连接，

4.根据权利要求1所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述水容器(200)还设有注水口(203)，所述太阳能电池工艺腔室还包括注水管路(500)以及液位检测元件(220)，所述注水管路(500)与所述注水口(203)连通，且所述注水管路(500)设有第二控制阀(510)，所述第二控制阀(510)控制所述注水管路(500)的通断，所述液位检测元件(220)设置于所述水容器(200)内，以检测所述水容器(200)的液位，所述液位检测元件(220)与所述第二控制阀(510)通信连接，

5.根据权利要求4所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述太阳能电池工艺腔室还包括称重装置(800)和报警装置，所述水容器(200)设置于称重装置(800)的称重位，且所述称重装置(800)和所述液位检测元件(220)分别与所述报警装置通信连接，

6.根据权利要求1所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述太阳能电池工艺腔室还包括伴热带(230)和温度检测元件(231)，所述伴热带(230)缠绕设置于所述水容器(200)的外壁面，以包裹所述水容器(200)的外壁面，且所述伴热带(230)与所述温度检测元件(231)通信连接，

7.根据权利要求1所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述太阳能电池工艺腔室还包括出水管路(600)和喷淋装置(700)，所述出水管路(600)的第一端与所述出水口(201)连通，所述喷淋装置(700)设有第二进水口(710)以及多个喷淋口(720)，所述第二进水口(710)分别与各所述喷淋口(720)连通，所述出水管路(600)的第二端与所述第二进水口(710)连通，所述多个喷淋口(720)与所述出水口(201)相对且连通。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述太阳能电池工艺腔室还包括增压泵(610)，所述增压泵(610)设置于所述出水管路(600)，所述增压泵(610)的进口端与所述水容器(200)的所述出水口(201)连通，所述增压泵(610)的出口端与所述喷淋装置(700)的所述第二进水口(710)连通。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池工艺腔室，其特征在于，所述水容器(200)的下端面的位置高于所述腔室本体(100)的下端面的位置，所述出水口(201)设置于所述水容器(200)的底部。

10.一种太阳能电池工艺设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的太阳能电池工艺腔室。

技术总结本申请公开一种太阳能电池工艺腔室及太阳能电池工艺设备，属于电池制造技术领域。太阳能电池工艺腔室包括腔室本体、水容器、泄压管路和排气管路，腔室本体用于加工电池片，腔室本体设有第一进水口和排气口，水容器设有出水口和泄压口，出水口与第一进水口连通，排气管路与排气口连通，泄压管路的第一端与泄压口连通，泄压管路的第二端与排气管路连通，且泄压管路设有第一控制阀，第一控制阀控制泄压管路的通断。太阳能电池工艺设备包括上述的太阳能电池工艺腔室。如此，无需通过腔室本体进行泄压过程，那么，泄压过程中的气体不会影响腔室本体内的电池片，保证电池片的工艺效果，有利于提升电池片的良率。技术研发人员：段冰,朱浩,唐剑明,王永亮,马中红,张科,李瑞瑞,王厚玉受保护的技术使用者：淮安捷泰新能源科技有限公司技术研发日：20231201技术公布日：2024/7/18