一种新型传送手臂真空报警装置的制作方法

本技术涉及晶圆，具体为一种新型传送手臂真空报警装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

2、现有的光刻机传送手臂的真空报警装置有如下缺陷：

3、现有光刻机传送手臂的真空报警装置安装方式不便捷，安装后还容易出现晃动，最后导致真空报警装置在工作时，检测、警报不准确的问题。为此，需要给出解决方案。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型传送手臂真空报警装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种新型传送手臂真空报警装置，包括装置本体，所述装置本体包括真空报警主体、真空检测头和安装支架，所述真空检测头安装在真空报警主体底部，所述安装支架安装在真空报警主体顶部；所述安装支架呈几字状结构，所述安装支架包括安装底板、侧安装板和顶安装板，所述侧安装板设有一组，一组所述侧安装板呈对称方式安装在侧安装板顶部，所述顶安装板安装在侧安装板顶部，所述顶安装板外侧设有弧度板，所述弧度板呈弧形状结构，所述安装底板、侧安装板和顶安装板表面均开设有安装孔。

5、优选的，所述真空报警主体呈方形状结构，所述真空报警主体包括警报外壳和警报维护板，所述警报维护板安装在警报外壳侧面，所述警报维护板四角处均开设有锁紧孔。

6、优选的，所述警报维护板表面设有电源插座，所述电源插座呈方形状结构，所述电源插座表面设有电源插孔。

7、(三)有益效果

8、本实用新型提供了一种新型传送手臂真空报警装置。具备以下有益效果：

9、该种新型传送手臂真空报警装置可以有效地对真空报警装置进行安装，且该种装置安装方式简单、安装效率高，且安装后稳定性高，进一步提高了真空报警设备检测、报警信息的准确性，且该种解决了翘曲晶圆的报警，同时正常的晶圆也能传送，同时也确保晶圆的传输中不会因为真空不足而掉片。

技术特征：

1.一种新型传送手臂真空报警装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括真空报警主体(2)、真空检测头(3)和安装支架(4)，所述真空检测头(3)安装在真空报警主体(2)底部，所述安装支架(4)安装在真空报警主体(2)顶部；

2.根据权利要求1所述的一种新型传送手臂真空报警装置，其特征在于：所述真空报警主体(2)呈方形状结构，所述真空报警主体(2)包括警报外壳(10)和警报维护板(11)，所述警报维护板(11)安装在警报外壳(10)侧面，所述警报维护板(11)四角处均开设有锁紧孔(12)。

3.根据权利要求2所述的一种新型传送手臂真空报警装置，其特征在于：所述警报维护板(11)表面设有电源插座(13)，所述电源插座(13)呈方形状结构，所述电源插座(13)表面设有电源插孔(14)。

技术总结本技术公开了一种新型传送手臂真空报警装置，包括装置本体，装置本体包括真空报警主体、真空检测头和安装支架，真空检测头安装在真空报警主体底部，安装支架安装在真空报警主体顶部；安装支架呈几字状结构，安装支架包括安装底板、侧安装板和顶安装板，侧安装板设有一组，一组侧安装板呈对称方式安装在侧安装板顶部，顶安装板安装在侧安装板顶部，顶安装板外侧设有弧度板，弧度板呈弧形状结构，安装底板、侧安装板和顶安装板表面均开设有安装孔。该种装置可以有效地对真空报警装置进行安装，且该种装置安装方式简单、安装效率高，且安装后稳定性高，进一步提高了真空报警设备检测、报警信息的准确性。技术研发人员：丁炯,赵建光受保护的技术使用者：上海赛瑾精密科技有限公司技术研发日：20231215技术公布日：2024/7/18