用于蓄压器的方法和装置与流程

本发明总体涉及蓄压器。更具体地说，本发明涉及用于在半导体制造过程中提供可变压力和增加流量的蓄压器。

背景技术：

1、对于各种制造过程，例如原子层沉积(ald)过程和cvd过程，可以通过减少前体脉冲时间或吹扫时间来增加晶片产量。减少脉冲时间的一种方法是利用可以在ald循环的非脉冲状态期间被充注的蓄压器，这将使蓄压器能够达到与前体设定压力相等的压力。在脉冲期间，充注的蓄压器将以较高的流量(相对于不使用蓄压器的系统)排出前体，该流量与其压力成比例，从而最小化脉冲时间。然而，在传统的蓄压器中，最大蓄压器压力总是小于或等于源容器设定压力，这给来自蓄压器的流量设置了上限。

技术实现思路

1、本技术的各种实施例可以提供具有由多个侧壁限定的内部区域的蓄压器。蓄压器可以包括设置在第一侧壁中的入口和设置在第二侧壁中的出口。蓄压器还可以包括设置在内部区域内的柱塞和联接到柱塞的杆，其中杆通过第三侧壁延伸到内部区域的外部。

2、根据一方面，蓄压器包括主体，该主体包括第一表面、第二表面和第三表面，其中第一表面、第二表面和第三表面限定内部区域；入口，其联接到第一表面并邻近第二表面布置；联接到第三表面的出口；装置，包括：设置在内部区域内的柱塞；以及联接到柱塞的杆，其中杆部分设置在内部区域内；以及设置在柱塞内的阀。

3、在上述蓄压器的实施例中，第一表面包括圆柱形管；第二表面是圆形的，并联接到圆柱形管的第一端；第二表面是圆形的，并联接到圆柱形管的第二端。

4、在上述蓄压器的实施例中，第二表面包括布置在第一表面的几何中心的通孔。

5、在上述蓄压器的实施例中，杆设置在通孔内。

6、在上述蓄压器的实施例中，内部区域具有固定容积。

7、在上述蓄压器的实施例中，圆柱形管包括具有固定周长的内表面。

8、在上述蓄压器的实施例中，柱塞为具有固定周长的圆形，并且柱塞与圆柱形管的内表面直接接触。

9、在上述蓄压器的实施例中，阀包括响应内部区域内的压力差的止回阀。

10、在上述蓄压器的实施例中，阀包括响应控制信号的单向阀。

11、根据另一方面，一种方法包括：使前体流入蓄压器，该蓄压器包括具有第一容积和第一压力的内部区域；将蓄压器的第一压力增加到第二压力包括将前体压缩到内部区域内的第二容积中，其中第二容积小于第一容积；从第二容积中释放前体包括打开联接到第二容积的第一阀；将释放的前体流入反应室；以及使额外的前体流过收集器并进入反应室。

12、在上述方法的实施例中，蓄压器还包括设置在内部区域内的柱塞，并且其中压缩前体包括将柱塞从第一位置移动到第二位置。

13、在上述方法的实施例中，蓄压器还包括第二阀，其设置在柱塞内并配置成根据内部区域内的压力差进行操作。

14、在上述方法的实施例中，该方法还包括基于期望的流量选择第二容积。

15、根据又一方面，一种系统包括：蓄压器，其配置为容纳气体分子，并且包括：包括内部区域的主体；第一入口；出口；以及装置，其设置在内部区域内并配置成压缩气体分子；联接到蓄压器的反应室；以及第二阀，其介于蓄压器的出口和反应室之间。

16、在上述系统的实施例中，该装置包括：设置在内部区域内的柱塞；以及联接到柱塞的杆，其中杆部分设置在内部区域内。

17、在上述系统的实施例中，该系统还包括设置在柱塞内的第一阀，并且其中第一阀包括响应内部区域内的压力差的止回阀。

18、在上述系统的实施例中，该系统还包括压力传感器，其与内部区域流体连通并配置成测量内部区域内的压力。

19、在上述系统的实施例中，该装置包括：与入口和出口流体连通并配置为容纳气体分子的波纹管；以及联接到波纹管的杆。

20、在上述系统的实施例中，该装置包括：与第一入口和出口流体连通并配置为容纳气体分子的波纹管；以及与内部区域流体连通的第二入口。

21、在上述系统的实施例中，该装置包括：设置在内部区域内的波纹管；以及与波纹管流体连通的第二入口；其中第一入口和出口与内部区域流体连通。

技术特征：

1.一种蓄压器，包括：

2.根据权利要求1所述的蓄压器，其中：

3.根据权利要求1所述的蓄压器，其中，所述第二表面包括布置在所述第一表面的几何中心的通孔。

4.根据权利要求3所述的蓄压器，其中，所述杆设置在所述通孔内。

5.根据权利要求1所述的蓄压器，其中，所述内部区域具有固定容积。

6.根据权利要求2所述的蓄压器，其中，所述圆柱形管包括具有固定周长的内表面。

7.根据权利要求6所述的蓄压器，其中，所述柱塞为具有所述固定周长的圆形，并且所述柱塞与所述圆柱形管的内表面直接接触。

8.根据权利要求1所述的蓄压器，其中，所述阀包括止回阀，所述止回阀响应所述内部区域内的压力差。

9.根据权利要求1所述的蓄压器，其中，所述阀包括响应控制信号的单向阀。

10.一种方法，包括：

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述蓄压器还包括设置在所述内部区域内的柱塞，并且其中压缩所述前体包括将柱塞从第一位置移动到第二位置。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述蓄压器还包括第二阀，其设置在所述柱塞内，并配置成根据所述内部区域内的压力差进行操作。

13.根据权利要求10所述的方法，还包括基于期望的流量选择所述第二容积。

14.一种系统，包括：

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述装置包括：

16.根据权利要求15所述的系统，还包括设置在所述柱塞内的第一阀，并且其中第一阀包括响应所述内部区域内的压力差的止回阀。

17.根据权利要求14所述的系统，还包括压力传感器，其与所述内部区域流体连通并配置成测量内部区域内的压力。

18.根据权利要求14所述的系统，其中，所述装置包括：

19.根据权利要求14所述的系统，其中，所述装置包括：

20.根据权利要求14所述的系统，其中，所述装置包括：

技术总结本技术的各种实施例可以提供一种具有由多个侧壁限定的内部区域的蓄压器。蓄压器可以包括设置在第一侧壁中的入口和设置在第二侧壁内的出口。蓄压器还可以包括设置在内部区域内的活塞和联接到活塞的杆，其中杆通过第三侧壁延伸到内部区域的外部。技术研发人员：M·K·阿鲁拉南达姆,B·坎南,J·L·温科勒受保护的技术使用者：ASM IP私人控股有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/4