水银环流真空泵的制作方法

本发明涉及水银环流真空泵。

背景技术：

1、经过多年观察和实验，发明了低成本，极限真空度，高效率的水银环流真空泵；水银密封性能好，密度大，一个气压等于760mm高水银柱，用水银制造真空泵能达到小于1upa的极限真空度；目前能购到最低真空度2pa的真空泵价格高昂，本发明专门解决上述问题。

技术实现思路

1、水银环流真空泵，包括吸气室，排气室，排气泵，水银泵，液态水银；一个抽气循环过程是：驱动水银泵把液态水银泵到吸气室，吸气室的液态水银直喷或断续的螺旋水银柱把进气口的气体压入排气室，排气室浮到水银液面的气体由排气泵排出；如此循环工作抽取气体。

技术特征：

1.水银环流真空泵，包括吸气室，排气室，排气泵，水银泵，液态水银；一个抽气循环过程是：驱动水银泵把液态水银泵到吸气室，吸气室的液态水银直喷或断续的螺旋水银柱把进气口的气体压入排气室，排气室浮到水银液面的气体由排气泵排出；如此循环工作抽取气体。

2.根据权利要求1所述的水银环流真空泵，其特征是：吸气室液态水银柱螺旋直喷或用断续的水银柱把气体压入排气室。

3.根据权利要求1所述的水银环流真空泵，其特征是：液态水银在水银泵的驱动下在从排气室泵到吸气室循环运动，把从吸气口进入的气体排到排气室。

4.根据权利要求1所述的水银环流真空泵，其特征是：排气泵提高水银环流真空泵整体的抽气效率。

5.根据权利要求1所述的水银环流真空泵，其特征是：水银环流真空泵可用作其它类型真空泵的未级泵。

技术总结本发明公开了水银环流真空泵，涉及真空泵技术领域，旨再填补水银真空泵的空缺，提供低成本，高真空度，高效的水银环流真空泵设计原理；水银环流真空泵适用于电子，半导体，化工，食品，航天，科研，核科学等领域；或作为其它类型真空泵的未级泵。技术研发人员：金宁受保护的技术使用者：金宁技术研发日：技术公布日：2024/7/15