一种油扩散泵的制作方法

本技术涉及光学及半导体领域用设备，具体涉及一种油扩散泵。

背景技术：

1、现有扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度（约200℃以上），产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断的扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再碰到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，最后从出气口排出。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作,现有扩散泵结构如图1所示，其中：1、冷阱，2、金属冷却水管，3、油蒸气喷嘴，4、导流管，5、加热丝。在日常应用中油扩散泵会出现油蒸气的返流，现有扩散泵的返流如图2所示，其中：6、油蒸气返流，7、油蒸气导流路径，虽然真空系统上加装冷阱防止油蒸气的返流，但实际使用中还是有一定量的油蒸气向入气口返流出来污染镀膜机工作腔室，导致扩散泵每年都需要大保养浪费大量维护成本。

技术实现思路

1、针对背景技术中的不足，本实用新型一种油扩散泵，结构简单，易于实现，有效改善油扩散泵油蒸气的返流问题，使机台大保养周期拉长，节约大量维护成本，减少因油蒸气的返流对工艺产品的影响。

2、本实用新型所采用的技术方案是：一种油扩散泵，包括泵壳，泵壳包括上部壳体、下部壳体，上部壳体为倒圆台，且母线为弧线形成瓶颈处，下部壳体为圆台，且母线为斜向上的直线。

3、在上述方案的基础上，作为优选，下部壳体的内壁固定安装有环状的挡板。

4、在上述方案的基础上，作为优选，挡板自外周向中心倾斜向下。

5、在上述方案的基础上，作为优选，每级油蒸气喷嘴至少对应一层挡板。

6、在上述方案的基础上，作为优选，每层挡板的上方均固定安装有冷却水管。

7、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

8、本实用新型结构简单，易于实现，有效改善油扩散泵油蒸气的返流问题，使机台大保养周期拉长，节约大量维护成本，减少因油蒸气的返流对工艺产品的影响。

9、优化了原有的泵体形状，并且各级喷嘴处加装了油蒸气的返流挡板。

10、泵壳由直筒型改为复合的圆台形，油蒸气由各级喷嘴定向高速喷出后撞击到有斜坡的泵腔壁会向下溅射，复合的圆台形形成一个瓶颈处，该瓶颈处会形成较强的向下入气气流，可以有效压下油蒸气向入气口的返流。

11、挡板进一步挡住油蒸气返流。

技术特征：

1.一种油扩散泵，包括泵壳，泵壳包括上部壳体、下部壳体，其特征在于，上部壳体为倒圆台，且母线为弧线形成瓶颈处，下部壳体为圆台，且母线为斜向上的直线。

2.如权利要求1所述的油扩散泵，其特征在于，下部壳体的内壁固定安装有环状的挡板。

3.如权利要求2所述的油扩散泵，其特征在于，挡板自外周向中心倾斜向下。

4.如权利要求3所述的油扩散泵，其特征在于，每级油蒸气喷嘴至少对应一层挡板。

5.如权利要求4所述的油扩散泵，其特征在于，每层挡板的上方均固定安装有冷却水管。

技术总结本技术公开了一种油扩散泵，包括泵壳，泵壳包括上部壳体、下部壳体，上部壳体为倒圆台，且母线为弧线形成瓶颈处，下部壳体为圆台，且母线为直线。结构简单，易于实现，有效改善油扩散泵油蒸气的返流问题，使机台大保养周期拉长，节约大量维护成本，减少因油蒸气的返流对工艺产品的影响。技术研发人员：吴建伟,牛振,张向飞受保护的技术使用者：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司技术研发日：20231208技术公布日：2024/7/15