一种分子泵用连接装置的制作方法

本技术涉及安装设备，具体为一种分子泵用连接装置。

背景技术：

1、分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，在进行使用时通常通过在内部安装半导体设备进行辅助使用。

2、现有的半导体设备在与分子泵配合使用时存在以下问题：需要定期进行维护，由于采用传统焊接方式，难以进行迅速分离，加大了人工劳动强度，同时不方便进行安装时设备高度调整，整体的安装灵活性较差，因此需要设计一种分子泵用连接装置来解决上述出现的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种分子泵用连接装置，以解决上述背景技术中提出需要定期进行维护，由于采用传统焊接方式，难以进行迅速分离，加大了人工劳动强度，同时不方便进行安装时设备高度调整，整体的安装灵活性较差的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种分子泵用连接装置,包括安装座，所述安装座的顶部安装有半导体设备，所述安装座的底部安装有辅助安装组件，所述辅助安装组件包括安装底板和套筒，所述安装座的底部固定连接有安装底板，所述半导体设备的底部固定连接有延伸至安装座内部的支撑座，所述安装座的内部安装有配合支撑座使用的固定组件，所述固定组件包括限位轴和转动板，所述安装座的内部且位于支撑座的两侧均固定连接有限位轴，所述限位轴的外侧转动连接有转动板，所述转动板的一侧滑动连接有第一连接杆，每个所述第一连接杆的上方均滑动连接有延伸至支撑座内部的第二连接杆，所述转动板远离支撑座的一侧均开设有限位槽，所述限位槽的内部均安装有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定连接有延伸至安装座外侧的推杆，所述第一弹簧的另一端与第一连接杆固定连接，所述转动板的内部开设有两个导轨。

3、优选的，所述半导体设备的两侧均开设有等距分布的弧形腔，所述安装座的顶部开设有等距分布且配合弧形腔使用的散热孔。

4、优选的，所述安装底板的两侧固定连接有安装板，每个所述安装板的内部均螺纹连接有定位螺栓。

5、优选的，每个所述导轨的内部均安装有连接块，其一个所述连接块与第一连接杆相连接，另外一个所述连接块与第二连接杆相连接，所述半导体设备的顶部安装有半导体元件。

6、优选的，所述支撑座的内部开设有配合第二连接杆使用的限位腔，所述安装座的内部且位于第二连接杆远离支撑座的一侧固定连接有第二弹簧。

7、优选的，所述安装座的两侧均安装有配合推杆使用的防尘盖。

8、优选的，所述安装底板的底部固定连接有等距分布的套筒，每个所述套筒的内部均滑动连接有伸缩滑杆，所述套筒的一侧均安装有配合伸缩滑杆定位使用的定位销。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：设置有固定组件，在进行分离时，取下两个防尘盖，向安装座内部按压推杆，通过第一弹簧受力变形缓冲，带动第一连接杆向一侧运动，在杠杆原理的作用下，带动转动板向一侧转动，带动第二连接杆向第二弹簧一侧挤压，通过第二弹簧变形进行缓冲防护处理，直至第二连接杆滑出支撑座内部，方便对半导体设备进行分离维护操作，同时方便与分子泵配合使用时不需要整体拆卸即可进行正常分离维护作业，缩短了工作强度与劳动周期，满足了使用时所需，设置有辅助安装组件，根据安装场景所需调整套筒高度，取下定位销，将伸缩滑杆向下方抽出，直至所需高度，通过定位销进行定位，在配合分子泵安装时，通过安装板和定位螺栓方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作，未使用电力设备辅助，节省了安装使用成本。

技术特征：

1.一种分子泵用连接装置，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)的顶部安装有半导体设备(2)，所述安装座(1)的底部安装有辅助安装组件(5)，所述辅助安装组件(5)包括安装底板(3)和套筒(11)，所述安装座(1)的底部固定连接有安装底板(3)，所述半导体设备(2)的底部固定连接有延伸至安装座(1)内部的支撑座(15)，所述安装座(1)的内部安装有配合支撑座(15)使用的固定组件(14)，所述固定组件(14)包括限位轴(19)和转动板(20)，所述安装座(1)的内部且位于支撑座(15)的两侧均固定连接有限位轴(19)，所述限位轴(19)的外侧转动连接有转动板(20)，所述转动板(20)的一侧滑动连接有第一连接杆(21)，每个所述第一连接杆(21)的上方均滑动连接有延伸至支撑座(15)内部的第二连接杆(22)，所述转动板(20)远离支撑座(15)的一侧均开设有限位槽(17)，所述限位槽(17)的内部均安装有第一弹簧(18)，所述第一弹簧(18)的一端固定连接有延伸至安装座(1)外侧的推杆(16)，所述第一弹簧(18)的另一端与第一连接杆(21)固定连接，所述转动板(20)的内部开设有两个导轨(24)。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述半导体设备(2)的两侧均开设有等距分布的弧形腔(9)，所述安装座(1)的顶部开设有等距分布且配合弧形腔(9)使用的散热孔(10)。

3.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述安装底板(3)的两侧固定连接有安装板(7)，每个所述安装板(7)的内部均螺纹连接有定位螺栓(8)。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：每个所述导轨(24)的内部均安装有连接块(25)，其一个所述连接块(25)与第一连接杆(21)相连接，另外一个所述连接块(25)与第二连接杆(22)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述支撑座(15)的内部开设有配合第二连接杆(22)使用的限位腔，所述安装座(1)的内部且位于第二连接杆(22)远离支撑座(15)的一侧固定连接有第二弹簧(23)。

6.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述安装座(1)的两侧均安装有配合推杆(16)使用的防尘盖(4)。

7.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述安装底板(3)的底部固定连接有等距分布的套筒(11)，每个所述套筒(11)的内部均滑动连接有伸缩滑杆(12)，所述套筒(11)的一侧均安装有配合伸缩滑杆(12)定位使用的定位销(13)。

技术总结本技术公开了一种分子泵用连接装置，涉及安装设备技术领域，包括安装座，所述安装座的顶部安装有半导体设备，本技术有益增效：设置有固定组件，带动转动板向一侧转动，带动第二连接杆向第二弹簧一侧挤压，通过第二弹簧变形进行缓冲防护处理，直至第二连接杆滑出支撑座内部，方便对半导体设备进行分离维护操作，同时方便与分子泵配合使用时不需要整体拆卸即可进行正常分离维护作业，缩短了工作强度与劳动周期，设置有辅助安装组件，直至所需高度，通过定位销进行定位，在配合分子泵安装时，通过安装板和定位螺栓方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作，未使用电力设备辅助，节省了安装使用成本。技术研发人员：朴俊哲受保护的技术使用者：上海檀启电子科技有限公司技术研发日：20231212技术公布日：2024/7/23