具有量测样本的半导体量测设备的制作方法

本技术涉及一种半导体量测设备，特别是涉及一种具有量测样本的半导体量测设备。

背景技术：

1、半导体量测设备执行晶圆量测作业经过一段时间(例如几日、几周或几个月)后，其本身功能会因为使用频率而产生偏差、偏移或异常，并可能因此影响量测结果；因此，为了让半导体量测设备能够发挥正常的量测功能，确保量测结果不致受到半导体量测设备本身功能的影响，以维持量测结果的准确性和可靠性，每隔一段时间，在半导体量测设备开始对晶圆进行量测之前，由半导体量测设备预先进行自我功能检查机制，定期评估量测的性能，确实是重要且必要的程序。

技术实现思路

1、本实用新型的目的，即在提供一种具有量测样本的半导体量测设备，其能在开始对晶圆进行量测之前，自动进行量测功能检查并输出检查结果供确认，以确保晶圆的量测结果不致受到量测设备本身功能的影响，并维持量测结果的准确性和可靠性。

2、本实用新型一种具有量测样本的半导体量测设备，用以量测晶圆，并包括晶圆载台、标准参考片、样本载台、显示器、存储单元、处理器及量测仪器；该晶圆载台具有用以承载该晶圆的第一承载平面；该样本载台具有供该标准参考片放置的第二承载平面；该存储单元中存储该标准参考片的标准量测数据；该处理器与该显示器及该存储单元电连接，并从该存储单元取得该标准量测数据；该量测仪器与该处理器电连接，且受该处理器控制以量测放置在该样本载台上的该标准参考片而产生并输出量测数据至该处理器；其中，该处理器根据该量测数据与该标准量测数据的误差大于默认值的判断结果，令该显示器显示量测不符规格信息；该处理器根据该量测数据与该标准量测数据的误差未大于默认值的判断结果，令该显示器显示量测符合规格信息。

3、在本实用新型的一些实施态样中，该第二承载平面与该第一承载平面共平面。

4、在本实用新型的一些实施态样中，该标准量测数据是由高阶半导体量测设备量测该标准参考片所产生。

5、在本实用新型的一些实施态样中，该标准参考片是由制造该晶圆的客户提供的与该晶圆的量测需求相关的标准样本，或是制造该晶圆的客户认可的标准样本。

6、在本实用新型的一些实施态样中，该半导体量测设备是探针压痕量测设备，且该标准参考片是探针压痕参考片。

7、在本实用新型的一些实施态样中，该具有量测样本的半导体量测设备还包括设置在该晶圆载台旁边的多功能样本载台及陶瓷灰卡样本载台，该多功能样本载台承载用以校正设备功能的多功能样本，该陶瓷灰卡样本载台用以承载校正影像均匀度、亮度、稳定度的陶瓷灰卡样本。

8、在本实用新型的一些实施态样中，在量测该标准参考片之前，该处理器收到该量测仪器分别量测该多功能样本和该陶瓷灰卡样本而相对应产生的量测数据，且该处理器根据量测数据分别与其从该存储单元取得的预存在该存储单元中的相对应的标准数据的比对结果，产生设备功能是否出现异常或故障的判断结果，并令该显示器显示判断结果。

9、在本实用新型的一些实施态样中，该样本载台上还设置用以调校量测高度的vlsi阶高标准片，且该处理器还收到该量测仪器量测该vlsi阶高标准片而产生的量测数据。

10、本实用新型的有益的效果在于：借由在该半导体量测设备设置供该标准参考片放置的该样本载台，方便该量测仪器对该标准参考片进行量测作业，且该处理器借由比对该标准参考片的量测数据和该标准量测数据之间的误差，判断该半导体量测设备的量测准确度是否符合规格，以适时对误差进行分析及/或补偿，确保晶圆的量测结果不致受到量测设备本身功能的影响，并维持量测结果的准确性和可靠性。

技术特征：

1.一种具有量测样本的半导体量测设备，用以量测晶圆；其特征在于：

2.根据权利要求1所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：该第二承载平面与该第一承载平面共平面。

3.根据权利要求1所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：该标准量测数据是由高阶半导体量测设备量测该标准参考片所产生。

4.根据权利要求1所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：该标准参考片是由制造该晶圆的客户提供的与该晶圆的量测需求相关的标准样本，或是制造该晶圆的客户认可的标准样本。

5.根据权利要求1所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：该半导体量测设备是探针压痕量测设备，且该标准参考片是探针压痕参考片。

6.根据权利要求1所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：该具有量测样本的半导体量测设备还包括设置在该晶圆载台旁边的多功能样本载台及陶瓷灰卡样本载台，该多功能样本载台承载用以校正设备功能的多功能样本，该陶瓷灰卡样本载台用以承载校正影像均匀度、亮度、稳定度的陶瓷灰卡样本。

7.根据权利要求6所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：在量测该标准参考片之前，该处理器收到该量测仪器分别量测该多功能样本和该陶瓷灰卡样本而相对应产生的量测数据，且该处理器根据量测数据分别与其从该存储单元取得的预存在该存储单元中的相对应的标准数据的比对结果，产生设备功能是否出现异常或故障的判断结果，并令该显示器显示判断结果。

8.根据权利要求7所述的具有量测样本的半导体量测设备，其特征在于：该样本载台上还设置用以调校量测高度的vlsi阶高标准片，且该处理器还收到该量测仪器量测该vlsi阶高标准片而产生的量测数据。

技术总结一种具有量测样本的半导体量测设备，用以量测晶圆，其包括具有用以承载该晶圆的第一承载平面的晶圆载台、标准参考片、具有供标准参考片放置的第二承载平面的样本载台、显示器、存储单元、处理器及量测仪器，处理器与显示器、存储单元和量测仪器电连接并从存储单元取得标准参考片的标准量测数据，量测仪器受处理器控制以量测放置在样本载台上的标准参考片而产生并输出量测数据至处理器；处理器判断该量测数据与该标准量测数据的误差大于默认值时，令显示器显示量测不符规格信息；否则，令显示器显示量测符合规格信息。以适时对误差进行分析及/或补偿，确保晶圆的量测结果不致受到量测设备本身功能的影响，并维持量测结果的准确性和可靠性。技术研发人员：萧玮仁,张维哲受保护的技术使用者：致茂电子(苏州)有限公司技术研发日：20231208技术公布日：2024/7/25