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EUV光源目标量测的制作方法
本公开涉及通过激发目标材料而产生极紫外光的光源，特别地，涉及对这种源中的目标材料的测量（例如，检测）。背景技术：1、极紫外（“euv”）光（例如，波长为约50nm或更短的电磁辐射（有时也称为软x射线）......
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晶圆中凸块的测量方法和装置、光学三角量测系统与流程
本公开涉及芯片量测技术，尤其是一种晶圆中凸块的测量方法和装置、光学三角量测系统。背景技术：1、随着半导体芯片产品的封装技术由二维向三维发展，出现了采用凸块制造技术(bumping)实现的新型芯片与基底......
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一种可量测标高的伸缩式水平尺的制作方法
本技术涉及建筑施工设备领域，尤其是一种可量测标高的伸缩式水平尺。背景技术：1、在建筑工程中，测量标高通常通过水准仪来实现，水平和垂直度则通过水平尺来测量。尤其地，在外露式柱脚的柱子定位安装时，需要测量......
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一种用于量测晶圆的关键尺寸的方法、设备和存储介质与流程
本申请一般涉及晶圆量测。更具体地，本申请涉及一种用于量测晶圆的关键尺寸的方法、设备和计算机可读存储介质。背景技术：1、在半导体晶圆内部电路关键尺寸量测步骤上，通常采用扫描式电子显微镜对晶圆样品表面结构......
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基于激光测距的房屋变形量测装置及方法与流程
本申请涉及变形监测，特别是涉及一种基于激光测距的房屋变形量测装置及方法。背景技术：1、房屋在长时间的使用后，由于地质及气候的影响会使得房屋发生变形，房屋变形包括沉降、水平位移和倾斜等，若是不能准确地测......
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一种单相电变量测量表的制作方法
本技术涉及测量表设备，更具体地说，特别涉及一种单相电变量测量表。背景技术：1、单相电能表应用于有功电度量计量，其计量准确 模块化小体积，可以轻松安装在各类终端配电箱内，安装时采用导轨式安装，其底部接线......
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一种PCB板厚测量和铜厚量测功能一体机的制作方法
本技术涉及自动化生产加工测量设备，尤其涉及一种pcb板厚测量和铜厚量测功能一体机。背景技术：1、pcb板厚量测数据和表面铜箔厚度测量是pcb线路板在压合工序之后进行流程加工的2种作业方式，具体流程是将......
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一种基于量测中心的配电网全景动态拓扑构建方法与流程
本发明涉及智能配电网，具体涉及一种基于量测中心的配电网全景动态拓扑构建方法。背景技术：1、随着海量分布式电源的接入和负荷需求侧响应的快速发展，配电网潮流呈现双向流动，电网拓扑呈现出复杂、多维、多态等特......
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一种智能量测开关的制作方法
本技术涉及量测开关，具体为一种智能量测开关。背景技术：1、量测开关是一种用于测量电量的开关。在电路设计中，常常需要使用各种量测元件和仪表来对被测的参数进行检测、显示、记录等操作，而量测元件是在使用这些......
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面向高级量测体系的二维压缩感知采集与重构方法及装置与流程
本技术涉及电力信息采集分析，尤其涉及一种面向高级量测体系的二维压缩感知采集与重构方法及装置。背景技术：1、作为智能电网的核心组成部分，高级量测体系(advanced meteringinfrastru......
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一种考虑量测补充修正的主配一体化电网的状态估计方法与流程
本发明实施例涉及电网状态估计，尤其涉及一种考虑量测补充修正的主配一体化电网的状态估计方法。背景技术：1、电网状态估计可以为电网的在线安全分析与控制提供可靠的数据信息，因此，准确且实时地估计电网的状态，......
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一种三相电变量测量表的制作方法
本技术涉及测量表设备，更具体地说，特别涉及一种三相电变量测量表背景技术：1、三相电表，电器仪表的统称，是用来测量电能的仪表，又称电度表，火表，电能表，千瓦小时表。2、三相四线有功、无功电度表该电磁元件......
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具有量测样本的半导体量测设备的制作方法
本技术涉及一种半导体量测设备，特别是涉及一种具有量测样本的半导体量测设备。背景技术：1、半导体量测设备执行晶圆量测作业经过一段时间(例如几日、几周或几个月)后，其本身功能会因为使用频率而产生偏差、偏移......
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一种智能量测开关的制作方法
本技术涉及量测开关，具体为一种智能量测开关。背景技术：1、量测开关是一种用于测量电量的开关。在电路设计中，常常需要使用各种量测元件和仪表来对被测的参数进行检测、显示、记录等操作，而量测元件是在使用这些......
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量测载具的制作方法
1.本实用新型涉及零件检测技术领域，尤其涉及量测载具。背景技术：2.随着移动技术的发展，许多传统的电子产品也开始增加移动方面的功能，比如过去只能用来看时间的手表，现今也可以通过智能手机或家庭网络与互联......
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基于光流法的套刻误差量测方法、装置、系统及存储介质与流程
本申请涉及半导体光刻，具体涉及一种基于光流法的套刻误差量测方法、装置、系统及存储介质。背景技术：1、随着半导体工艺的发展，对光刻工艺中的套刻（overlay, ovl）误差量测的要求越来越高。量测稳定......
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基于来自衍射结构的高阶谐波产生的量测设备和量测方法与流程
本发明涉及可用于例如通过光刻技术来制造器件的量测的方法和设备。背景技术：1、光刻设备是一种被构造为将所期望的图案施加到衬底上的机器。例如，光刻设备可以用于集成电路(ic)的制造中。光刻设备可以例如将图......
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确定量测方法中的测量选配方案与流程
本发明涉及例如可用于通过光刻技术制造器件的方法和设备，以及涉及使用光刻技术制造器件的方法。更具体地，本发明涉及量测传感器和具有这种量测传感器的光刻设备。背景技术：1、光刻设备是将期望的图案施加至衬底上......
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量测设备的制作方法
本发明涉及用于确定制作于衬底上的结构的参数的量测设备和相关联的方法。更具体地，本发明可以涉及使用计算成像方法的量测设备。在一些示例中，本发明可以涉及确定与重叠有关的参数。背景技术：1、光刻设备是一种构......
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一种用于量测或检测设备的对焦方法及量测或检测方法与流程
本发明涉及半导体量测领域，尤其涉及一种用于量测或检测设备的对焦方法及量测或检测方法。背景技术：1、在半导体芯片制造过程中，良率是各个工艺环节都重点关照的指标。光学检测是晶圆表面检测常用技术手段，通过光......
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利用模型基础对准来改善边缘放置量测准确度的制作方法
本文中的描述总体涉及如与用于光刻过程的过程模型一起使用的量测，并且更具体地涉及用于经过图像对准方法来对过程模型进行改善的设备、方法和计算机程序产品。背景技术：1、光刻投影设备可以用于例如集成电路(ic......
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量测方法和系统和光刻系统与流程
本发明涉及一种例如能够用于通过光刻技术制造器件的方法和设备，并且涉及使用光刻技术制造器件的方法。更具体地，本发明涉及诸如位置传感器的量测传感器。背景技术：1、光刻设备是将期望的图案施加到衬底上(通常施......
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2024-10-21精选技术
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小数据传输失败报告的制作方法
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一种河道工程用河道清淤搅动装置的制作方法
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一种高低压气瓶组合的氮气推进系统的制作方法
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一种船体上层建筑分段建造工艺的制作方法
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