一种薄膜缺陷检测设备的制作方法

本技术涉及表面缺陷检测，尤其涉及一种薄膜缺陷检测设备。

背景技术：

1、高安全、高比能、低成本的锂离子电池始终是电池技术发展的主要方向，由此催生了新型集流体的发展。集流体是锂离子电池不可或缺的电极材料之一，具有承载活性物质和收集微电流的重要功能。以绝缘性好、密度小、成本低的高分子材料作为基材的复合集流体应运而生。铝复合集流体以其优异的性能成为目前锂离子电池集流体新的发展趋势。铝复合集流体采用pet(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、pp(聚丙烯)、pvc(聚氯乙烯)等聚合物薄膜作为基体，然后在基体两面各镀0.5μm-1.5μm的铝层。

2、目前，对于铝复合集流体的镀铝工艺，真空蒸镀镀膜已经具有比较成熟的应用基础。然而，在镀铝过程中，铝液在高温下易产生溅铝附着在基体膜上，造成薄膜表面铝金属凸点缺陷，这种缺陷严重影响产品质量，甚至会给后续加工的设备造成较大损害。

3、现如今，针对薄膜表面凸点缺陷，并没有成熟的设备进行检测，大多数都是直接进行表面处理，通过设置一个特定高度的缝隙，在缝隙边缘设置刮刀，将薄膜穿过缝隙，高于缝隙的缺陷凸点就会与刮刀接触，从而被刮刀削除。这种处理方式只能做到对特定高度进行控制，无法识别缺陷凸点的位置以及缺陷凸点的高度，进而无法为后续的工艺改进提供支持。因此，需要提供一种能够检测薄膜表面缺陷位置和高度的设备来解决这一问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种薄膜缺陷检测设备，使用该设备能够检测薄膜表面凸点缺陷的位置信息和尺寸信息，对数据分析和工艺改进具有重要意义。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种薄膜缺陷检测设备，包括支撑框架；检测台，所述检测台设置于所述支撑框架上，并用于放置待检测的薄膜；扫描检测装置，所述扫描检测装置包括扫描仪，所述扫描仪设置于所述检测台的上方，且所述扫描仪的扫描头的移动范围覆盖所述薄膜，所述扫描仪能够识别所述薄膜上凸点缺陷的位置信息和尺寸信息。

4、作为优选，所述检测台的顶面为平面，所述薄膜平铺在所述平面上。

5、作为优选，所述检测台的顶面为曲面，所述薄膜平铺在所述曲面上。

6、作为优选，所述检测台包括压紧装置和检测板，所述压紧装置位于所述检测板上，所述薄膜平铺在所述检测板上，所述压紧装置用于将所述薄膜的边缘压紧在所述检测板上。

7、作为优选，所述薄膜缺陷检测设备包括移动平台，所述移动平台可移动地设置于所述支撑框架上，所述检测台设置在所述移动平台上。

8、作为优选，所述薄膜缺陷检测设备还包括支架，所述支架连接在所述支撑框架上，所述扫描仪可移动地设置在所述支架上。

9、作为优选，所述支架包括立柱和横梁，所述立柱支撑于所述支撑框架上，所述横梁连接于所述立柱上，所述扫描仪滑动安装于所述横梁。

10、作为优选，所述检测台上设置真空孔，所述真空孔用于吸附所述薄膜。

11、作为优选，所述薄膜缺陷检测设备还包括脚轮，所述脚轮连接于所述支撑框架的下方。

12、作为优选，所述扫描仪为激光扫描仪，和/或，所述扫描仪的所述扫描头移动时在竖直方向上的高度波动小于或者等于3μm。

13、本实用新型的有益效果：

14、本实用新型提供一种薄膜缺陷检测设备，薄膜缺陷检测设备包括支撑框架、检测台和扫描检测装置，检测台设置于支撑框架上，并用于放置待检测的薄膜；扫描检测装置包括扫描仪，扫描仪设置于检测台的上方，且扫描仪的扫描头的移动范围覆盖待检测薄膜，扫描仪能够识别待检测薄膜上凸点缺陷的位置信息和尺寸信息，尺寸信息包括凸点缺陷的高度和凸点缺陷的投影面积，且不会对薄膜表面造成破坏，对数据分析和工艺改进具有指导意义。

技术特征：

1.一种薄膜缺陷检测设备，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述检测台(2)的顶面为平面，所述薄膜平铺在所述平面上。

3.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述检测台(2)的顶面为曲面，所述薄膜铺设在所述曲面上。

4.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述检测台(2)包括压紧装置(21)和检测板(22)，所述压紧装置(21)位于所述检测板(22)上，所述薄膜平铺在所述检测板(22)上，所述压紧装置(21)用于将所述薄膜的边缘压紧在所述检测板(22)上。

5.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述薄膜缺陷检测设备包括移动平台(4)，所述移动平台(4)可移动地设置于所述支撑框架(1)上，所述检测台(2)设置在所述移动平台(4)上。

6.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述薄膜缺陷检测设备还包括支架(5)，所述支架(5)连接在所述支撑框架(1)上，所述扫描仪(3)可移动地设置在所述支架(5)上。

7.根据权利要求6所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述支架(5)包括立柱(51)和横梁(52)，所述立柱(51)支撑于所述支撑框架(1)上，所述横梁(52)连接于所述立柱(51)上，所述扫描仪(3)滑动安装于所述横梁(52)。

8.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述检测台(2)上设置真空孔，所述真空孔用于吸附所述薄膜。

9.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述薄膜缺陷检测设备还包括脚轮(6)，所述脚轮(6)连接于所述支撑框架(1)的下方。

10.根据权利要求1所述的薄膜缺陷检测设备，其特征在于，所述扫描仪(3)为激光扫描仪，和/或，所述扫描仪(3)的所述扫描头移动时在竖直方向上的高度波动小于或者等于3μm。

技术总结本技术公开了一种薄膜缺陷检测设备，该薄膜缺陷检测设备包括支撑框架、检测台和扫描检测装置，检测台设置于支撑框架上，并用于放置待检测的薄膜；扫描检测装置包括扫描仪，扫描仪设置于检测台的上方，且扫描仪的扫描头的移动范围覆盖待检测薄膜，扫描仪能够识别待检测薄膜上凸点缺陷的位置信息和尺寸信息，且不会对薄膜表面造成破坏，对数据分析和工艺改进具有指导意义。技术研发人员：李正林,李学法,张国平受保护的技术使用者：扬州纳力新材料科技有限公司技术研发日：20231205技术公布日：2024/7/25