一种晶圆托盘的制作方法

本技术涉及晶圆，具体而言，涉及一种晶圆托盘。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、目前，在对晶圆进行测试前，需要使用镊子夹取到托盘上，在进行转运，再通过镊子将其夹取到检测设备中，操作不便且繁琐，并且在转运的过程中，晶圆未限位好，在外力的作用下，可能会使得晶圆与托盘的内壁发生碰撞而受损，影响到晶圆的检测效果。

3、因此我们对此做出改进，提出一种晶圆托盘。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：针对目前存在的在对晶圆进行测试前，需要使用镊子夹取到托盘上，在进行转运，再通过镊子将其夹取到检测设备中，操作不便且繁琐，并且在转运的过程中，晶圆未限位好，在外力的作用下，可能会使得晶圆与托盘的内壁发生碰撞而受损，影响到晶圆的检测效果。

2、为了实现上述发明目的，本实用新型提供了晶圆托盘，以改善上述问题。

3、本申请具体是这样的：

4、包括圆盘，所述圆盘的顶部设置有支撑部，所述支撑部上设置有若干筒体，所述筒体上设置有限位组件，所述限位组件由固定机构和锁定机构组成。

5、作为本申请优选的技术方案，所述支撑部包括支撑柱，所述支撑柱顶端的外侧等弧固定设有若干支撑杆，且若干支撑杆与若干筒体一一对应。

6、作为本申请优选的技术方案，所述固定机构包括吸盘，所述吸盘固定安装在筒体的顶端，且吸盘与筒体的内部相通，所述吸盘内设有活塞。

7、作为本申请优选的技术方案，所述固定机构还包括活塞杆，所述活塞杆的顶端与活塞的底端固定连接，所述活塞杆的底端穿出筒体并固定设有圆头，所述圆头的一侧为凸起设置，所述凸起上固定设有u形杆，且u形杆的一端与支撑杆卡合连接。

8、作为本申请优选的技术方案，所述锁定机构由第一锁定部、第二锁定部和传动部组成。

9、作为本申请优选的技术方案，所述第一锁定部包括压盘，所述圆头的底端开设有与压盘相匹配的开槽，且活塞杆的底端开设有与开槽相通的定位槽，所述定位槽的两侧分别设置有第一齿条和第一弹簧，所述第一齿条的底端与压盘固定连接，且第一弹簧固定安装在定位槽与压盘之间。

10、作为本申请优选的技术方案，所述第二锁定部包括限位块，所述限位块固定安装在活塞杆一侧的顶部，所述限位块内开设有限位槽，所述限位槽内设有t形件，所述t形件的一端穿出限位块，且筒体内一侧的底部开设有与t形件相匹配的穿孔。

11、作为本申请优选的技术方案，所述第二锁定部还包括第二弹簧，所述第二弹簧固定安装在t形件与限位槽之间，所述t形件的一侧固定设有第二齿条。

12、作为本申请优选的技术方案，所述传动部包括转动轴，所述活塞杆的顶部内开设有传动槽，且转动轴转动连接在传动槽内，所述转动轴的两侧分别固定设有第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿条的顶端和第二齿条的一端均穿入传动槽并分别与第一齿轮和第二齿轮啮合连接。

13、作为本申请优选的技术方案，所述筒体的顶端固定设有罩体，且吸盘位于罩体内。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

15、在本申请的方案中：

16、为了解决现有技术中在对晶圆进行测试前，需要使用镊子夹取到托盘上，在进行转运，再通过镊子将其夹取到检测设备中，操作不便且繁琐，并且在转运的过程中，晶圆未限位好，在外力的作用下，可能会使得晶圆与托盘的内壁发生碰撞而受损，影响到晶圆的检测效果的问题，本申请通过设置的限位组件，驱动固定机构运作，在固定机构的作用下，配合筒体，可以使得晶圆吸在筒体上，通过锁定机构，可以限位固定机构，使得晶圆固定的更加稳定，当需要取下晶圆时，按压锁定机构的压盘，解除了锁定机构的限位，并且可以使得固定机构的活塞杆移动，进而使得晶圆不再吸在筒体上，通过该托盘，不仅无需使用镊子夹取晶圆，操作便捷，而且固定牢固，使得晶圆不会发生碰撞，防护了晶圆，提高了实用性。

技术特征：

1.一种晶圆托盘，其特征在于，包括圆盘（1），所述圆盘（1）的顶部设置有支撑部（2），所述支撑部（2）上设置有若干筒体（3），所述筒体（3）上设置有限位组件（4），所述限位组件（4）由固定机构（5）和锁定机构（6）组成。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述支撑部（2）包括支撑柱（201），所述支撑柱（201）顶端的外侧等弧固定设有若干支撑杆（202），且若干支撑杆（202）与若干筒体（3）一一对应。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述固定机构（5）包括吸盘（501），所述吸盘（501）固定安装在筒体（3）的顶端，且吸盘（501）与筒体（3）的内部相通，所述吸盘（501）内设有活塞（502）。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述固定机构（5）还包括活塞杆（503），所述活塞杆（503）的顶端与活塞（502）的底端固定连接，所述活塞杆（503）的底端穿出筒体（3）并固定设有圆头（504），所述圆头（504）的一侧为凸起设置，所述凸起上固定设有u形杆（505），且u形杆（505）的一端与支撑杆（202）卡合连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述锁定机构（6）由第一锁定部、第二锁定部和传动部组成。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述第一锁定部包括压盘（601），所述圆头（504）的底端开设有与压盘（601）相匹配的开槽，且活塞杆（503）的底端开设有与开槽相通的定位槽，所述定位槽的两侧分别设置有第一齿条（602）和第一弹簧（603），所述第一齿条（602）的底端与压盘（601）固定连接，且第一弹簧（603）固定安装在定位槽与压盘（601）之间。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述第二锁定部包括限位块（604），所述限位块（604）固定安装在活塞杆（503）一侧的顶部，所述限位块（604）内开设有限位槽，所述限位槽内设有t形件（605），所述t形件（605）的一端穿出限位块（604），且筒体（3）内一侧的底部开设有与t形件（605）相匹配的穿孔。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述第二锁定部还包括第二弹簧（606），所述第二弹簧（606）固定安装在t形件（605）与限位槽之间，所述t形件（605）的一侧固定设有第二齿条（607）。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述传动部包括转动轴（608），所述活塞杆（503）的顶部内开设有传动槽，且转动轴（608）转动连接在传动槽内，所述转动轴（608）的两侧分别固定设有第一齿轮（609）和第二齿轮（610），所述第一齿条（602）的顶端和第二齿条（607）的一端均穿入传动槽并分别与第一齿轮（609）和第二齿轮（610）啮合连接。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆托盘，其特征在于，所述筒体（3）的顶端固定设有罩体（7），且吸盘（501）位于罩体（7）内。

技术总结本申请提供了一种晶圆托盘，包括圆盘，圆盘的顶部设置有支撑部，支撑部上设置有若干筒体，筒体上设置有限位组件，限位组件由固定机构和锁定机构组成。本申请通过设置的限位组件，驱动固定机构运作，在固定机构的作用下，配合筒体，可以使得晶圆吸在筒体上，通过锁定机构，可以限位固定机构，使得晶圆固定的更加稳定，当需要取下晶圆时，按压锁定机构的压盘，解除了锁定机构的限位，并且可以使得固定机构的活塞杆移动，进而使得晶圆不再吸在筒体上，通过该托盘，不仅无需使用镊子夹取晶圆，操作便捷，而且固定牢固，使得晶圆不会发生碰撞，防护了晶圆，提高了实用性。技术研发人员：杨文浩,危长春受保护的技术使用者：深圳荣益超精密科技有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/7/25