一种真空泄露排查装置及真空泄露排查方法与流程

本申请涉及真空设备故障排查的，尤其涉及一种真空泄露排查装置及真空泄露排查方法。

背景技术：

1、半导体生产的plasma(电浆清洗)阶段需要在真空环境中进行，具体实现方式是提供清洗半导体的密闭腔室，同时抽真空设备通过真空管道连接该密闭腔室，利用抽真空设备抽气以为半导体营造真空环境。根据厂房布置需求，抽真空设备一般需要通过多根真空管道首尾相接后将抽真空设备与密闭腔室连接，各真空管道之间通过法兰板和密封圈密封连接。当机组出现抽真空异常(一般为泄露导致真空压力过大)时，需要排查排查出具体故障的点后进行维修。一般的半导体工厂内没有专用的测试仪器，当发生抽真空泄露时，维修排查的时间较长，甚至要求厂商来厂维修，造成公司修缮费用高，维修效率低和耗时，影响后续工序的进展。

技术实现思路

1、本发明实施例的目的在于：提供一种真空泄露排查装置及真空泄露排查方法，其能够解决现有技术中存在的上述问题。

2、为达上述目的，本申请采用以下技术方案：

3、一种真空泄露排查装置，包括：

4、三通管，具有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口用于与被测真空管连接；

5、真空压力计，连接于所述第二接口，用于监测所述三通管内的真空压力；

6、泄压端盖，连接于所述第三接口，用于控制所述第三接口的打开或关闭。

7、可选的，所述泄压端盖包括端盖座体和端盖板，所述端盖座体固定安装于所述第三接口上，所述端盖座体上具有泄压口，通过所述端盖板的开合控制所述泄压口的开闭，进而实现控制所述第三接口的开闭。

8、可选的，所述端盖座体包括连接筒和固定连接于所述连接筒一端的端板，所述连接筒与所述第三接口套接连接，所述泄压口设置于所述端板上，且所述泄压口的口径小于所述第三接口的口径。

9、可选的，所述端板上凸设有环绕所述泄压口设置的连接嘴。

10、可选的，所述端盖板一侧与所述端板铰接，通过翻转所述端盖板实现控制所述泄压口的开闭。

11、可选的，所述端盖板与所述端盖板之间设置有用于将多数端盖板锁定于封闭所述泄压口的状态的锁扣。

12、可选的，所述端盖板内侧设置有用于抵接所述连接嘴以加强密封的密封圈。

13、另一方面，提供一种真空泄露排查方法，用于排查抽真空设备的管路泄露位置，该抽真空设备包括真空机和若干首尾相接的真空管，包括步骤：

14、拆除待测真空管后端的管路；

15、将三通管的第一接口连接于待测真空管的后端；

16、将真空压力计与真空机电连接；

17、启动真空机，根据真空机的压力显示值判断该真空管前端是否存在泄露；

18、打开泄压端盖泄压，之后拆下三通管。

19、可选的，采用折中法对所有所述真空管进行排查，具体为：

20、s1.选取最中间的真空管作为待测真空管进行排查，当排查结果未发现存在泄露时，表明泄露位置位于该真空管的后方，此时进入步骤s2；当排查结果发现存在泄露时，表明泄露位置位于该真空管的前方，此时进入步骤s3；

21、s2.拆下三通管，将该真空管后方一半数量的真空管重新接上，再重新接上三通管进行检测；

22、s3.拆下三通管，将该真空管前方一半数量的真空管拆除，再重新接上三通管进行检测；

23、重复以上步骤，直至排查出泄露的准确位置。

24、可选的，根据真空机的压力显示值判断该真空管前端是否存在泄露时，若压力显示值小于真空设定值的50％则表明无泄露，若压力显示值大于真空设定值的50％则表明有泄露。

25、本申请的有益效果为：本发明提供了一种真空泄露排查装置及真空泄露排查方法，该装置包括安装于三通管上的真空压力计和泄压端盖，通过真空压力计检测管道内部压力可以判断有无泄压情况，实现快速排查真空泄露；检测后可以通过打开泄压端盖向管路内部泄压，避免内部负压导致真空泄露排查装置拆卸困难的问题。

26、本发明方法中，采用本方案的真空泄露排查装置对管路进行泄露排查，只需进行简单的拆管、真空泄露排查装置的安装以及真空压力计的接线便可，本方案的真空泄露排查装置的体积小，便于对管路上各部位进行排查，同时其安装方便，真空压力计直接接线到真空机上，利用真空机显示实测压力，即，本方案充分利用现有设备实现检测目的，简化了真空泄露排查装置的结构，降低了排查装置的制造成本。

技术特征：

1.一种真空泄露排查装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空泄露排查装置，其特征在于，所述泄压端盖(3)包括端盖座体(31)和端盖板(32)，所述端盖座体(31)固定安装于所述第三接口(13)上，所述端盖座体(31)上具有泄压口(33)，通过所述端盖板(32)的开合控制所述泄压口(33)的开闭，进而实现控制所述第三接口(13)的开闭。

3.根据权利要求2所述的真空泄露排查装置，其特征在于，所述端盖座体(31)包括连接筒(311)和固定连接于所述连接筒(311)一端的端板(312)，所述连接筒(311)与所述第三接口(13)套接连接，所述泄压口(33)设置于所述端板(312)上，且所述泄压口(33)的口径小于所述第三接口(13)的口径。

4.根据权利要求3所述的真空泄露排查装置，其特征在于，所述端板(312)上凸设有环绕所述泄压口(33)设置的连接嘴(313)。

5.根据权利要求4所述的真空泄露排查装置，其特征在于，所述端盖板(32)一侧与所述端板(312)铰接，通过翻转所述端盖板(32)实现控制所述泄压口(33)的开闭。

6.根据权利要求5所述的真空泄露排查装置，其特征在于，所述端盖板(32)与所述端盖板(32)之间设置有用于将多数端盖板(32)锁定于封闭所述泄压口(33)的状态的锁扣(34)。

7.根据权利要求4所述的真空泄露排查装置，其特征在于，所述端盖板(32)内侧设置有用于抵接所述连接嘴(313)以加强密封的密封圈(321)。

8.一种基于权利要求1-7任一所述的真空泄露排查装置的真空泄露排查方法，用于排查抽真空设备的管路泄露位置，该抽真空设备包括真空机和若干首尾相接的真空管，其特征在于，包括步骤：

9.根据权利要求8所述的真空泄露排查方法，其特征在于，采用折中法对所有所述真空管进行排查，具体为：

10.根据权利要求8所述的真空泄露排查方法，其特征在于，根据真空机的压力显示值判断该真空管前端是否存在泄露时，若压力显示值小于真空设定值的50％则表明无泄露，若压力显示值大于真空设定值的50％则表明有泄露。

技术总结本发明提供一种真空泄露排查装置及真空泄露排查方法，该装置包括：三通管，具有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口用于与被测真空管连接；真空压力计，连接于所述第二接口，用于监测所述三通管内的真空压力；泄压端盖，连接于所述第三接口，用于控制所述第三接口的打开或关闭。通过真空压力计检测管道内部压力可以判断有无泄压情况，实现快速排查真空泄露；检测后可以通过打开泄压端盖向管路内部泄压，避免内部负压导致真空泄露排查装置拆卸困难的问题。本方案的真空泄露排查装置仅由三通管、真空压力计和泄压端盖构成，其结构简单，体积小，而且使用方便，仅需简单地连接到被测管路的端部便可。技术研发人员：吴华杰,林俊杰,熊晶晶受保护的技术使用者：杰群电子科技（东莞）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/29