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一种信息对比方法、装置、半导体设备及存储介质与流程

  • 国知局
  • 2024-07-31 23:21:24

本申请实施例属于半导体,特别是涉及一种信息对比方法、装置、半导体设备及存储介质。

背景技术:

1、半导体测试机台读取的wafer(晶圆)id(identification,识别),有时会识别错误,测试环节如果不检查此wafer id的正确性,会导致一系列错误的发生,因此在测试生产过程中wafer id的信息一定不能出错,尤其是对于烧写uid(user identification,用户身份证明)的产品,必须要做到零失误。

2、wafer id就和人的身份证差不多,每一片晶圆只有唯一的一个,在晶圆没有在进行切割之前的工序,他是链接我们每一道工序每片wafer信息的唯一码;标准的wafer id的格式整体由3部分组成:lot id(批次标识)、slot id(槽位标识)、check sum(校验码);中间一般以点号、空格、中横线隔开。

3、测试台在进行加工流程前,需要对wafer id与加工流程对应的产品批号进行对比,需要产品批号与lot id格式、内容完全一致才能进入加工流程。在实际中,产品批号提供方可能在原产品批号上扩充其他微信,导致产品批号与lot id格式、内容无法对比。

技术实现思路

1、有鉴于此,本申请实施例提供了一种信息对比方法、装置、半导体设备及存储介质,用以当客户批次信息包含有流程批次标识和其他标识时,能够准确判断客户批次信息与晶圆信息是否匹配。

2、本申请实施例的第一方面提供了一种信息对比方法,包括:

3、获取客户批次信息和晶圆信息;流程批次标识所述客户批次信息包含流程批次标识和其他标识;

4、确定所述客户批次信息的字符特征信息;

5、基于所述字符特征信息以及预设模板,生成对比模板;所述预设模板与所述晶圆信息匹配;

6、采用所述对比模板对比所述流程批次标识和所述晶圆信息,并生成对比结果。

7、本申请实施例的第二方面提供了一种信息对比装置,包括:

8、信息获取模块,用于获取客户批次信息和晶圆信息;流程批次标识所述客户批次信息包含流程批次标识和其他标识;

9、字符特征信息确定模块,用于确定所述客户批次信息的字符特征信息;

10、对比模板生成模块,用于基于所述字符特征信息以及预设模板,生成对比模板;所述预设模板与所述晶圆信息匹配;

11、对比结果生成模块,用于采用所述对比模板对比所述流程批次标识和所述晶圆信息,并生成对比结果。

12、本申请实施例的第三方面提供了一种半导体设备,包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现如上述第一方面所述的信息对比方法。

13、本申请实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面所述的信息对比方法。

14、本申请实施例的第五方面提供了一种计算机程序产品,当所述计算机程序产品在计算机上运行时,使得所述计算机执行上述第一方面所述的信息对比方法。

15、与现有技术相比,本申请实施例具有以下有益效果:

16、本申请实施例通过获取客户批次信息和晶圆信息;所述客户批次信息包含流程批次标识和其他标识;确定所述客户批次信息的字符特征信息;基于所述字符特征信息以及预设模板,生成对比模板;所述预设模板与所述晶圆信息匹配;采用所述对比模板对比所述流程批次标识和所述晶圆信息,并生成对比结果,从而实现基于客户批次信息的字符特征信息以及与晶圆信息匹配的预设模板生成对比模板,使得对比模板能够与客户批次信息、晶圆信息匹配,通过对比模板对比客户批次信息中的流程批次标识和晶圆信息是否对应,避免由于客户批次信息中存在的其他标识,导致无法将客户批次信息与晶圆信息进行对比。

技术特征:

1.一种信息对比方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述字符特征信息包括依次排序第一字符属性及其对应的第一字符格式,所述基于所述字符特征信息以及预设模板,生成对比模板包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述晶圆信息由多个第二字符组成;所述采用所述对比模板对比所述流程批次标识和所述晶圆信息,并生成对比结果包括:

4.根据权要求1或2所述的方法,其特征在于,所述其他标识包括客户标识。

5.根据权利要求1或2或3所述的方法,其特征在于,所述获取客户批次信息包括:

6.根据权利要求1或2或3所述的方法,其特征在于,获取所述晶圆信息的步骤包括:

7.根据权利要求1或2或3所述的方法,其特征在于,所述对比结果包括对比通过和对比不通过中的一种;所述方法还包括:

8.一种信息对比装置,其特征在于,包括:

9.一种半导体设备,包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1-7任一项所述的信息对比方法。

10.一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-7任一项所述的信息对比方法。

技术总结本申请实施例适用于半导体技术领域,提供了一种信息对比方法、装置、半导体设备和存储介质,所述方法包括:包括:获取客户批次信息和晶圆信息;流程批次标识所述客户批次信息包含流程批次标识和其他标识;确定所述客户批次信息的字符特征信息;基于所述字符特征信息以及预设模板,生成对比模板;所述预设模板与所述晶圆信息匹配;采用所述对比模板对比所述流程批次标识和所述晶圆信息,并生成对比结果。本实施例可以实现通过对比模板对比客户批次信息中的流程批次标识和晶圆信息,避免由于客户批次信息中存在的其他标识,导致无法将客户批次信息与晶圆信息进行对比。技术研发人员:陈增亮,李安平,李晓白受保护的技术使用者:深圳米飞泰克科技股份有限公司技术研发日:技术公布日:2024/7/29

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