特殊液体的恒温控制系统的制作方法

本技术涉及恒温，具体为特殊液体的恒温控制系统。

背景技术：

1、特殊液体的恒温控制系统是一套用于精确控制液体温度的系统。

2、特殊液体的恒温控制系统通常包括温度传感器、控制器和执行机构；在使用时，系统首先通过温度传感器测量特殊液体的实时温度，控制器将测得的实时温度与预设的理想温度进行比较，计算两者的差值，控制器根据温度差值生成误差信号，这个信号表示实际温度与理想温度之间的差距，控制器根据误差信号执行控制算法，通过比较结果来调节执行机构，执行机构接收到控制信号后，会根据信号的要求对特殊液体的温度进行相应的调节，如果误差信号显示温度过低，执行机构会通过向盘管中加入热水对特殊液体进行加热；如果误差信号显示温度过高，执行机构会通过向盘管中加入冷水对特殊液体进行冷却，最后系统会持续监测特殊液体的温度，并通过不断重复上述的调节过程来维持液体温度的稳定，直到达到预设的理想温度。

3、然而，仅仅依靠盘管热交换的方式，可能会导致靠近盘管的温度高，远离盘管的温度低，就会造成系统中特殊液体的温度分布不均匀，从而会导致该系统的热响应性能变差，进而会影响对半导体晶圆操作的精度和结果准确性。为此，我们提出特殊液体的恒温控制系统。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供特殊液体的恒温控制系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：特殊液体的恒温控制系统，包括：外壳，外壳的内部设置有盘热管；

3、其特征在于：

4、搅拌组件，搅拌组件设置在外壳的表面，搅拌组件对系统中的特殊液体进行搅拌；

5、传动组件，传动组件设置在搅拌组件的侧面，传动组件对外壳中的盘热管作幅度较小的上下移动，使盘热管周围的特殊液体受热更加均匀。

6、优选地，搅拌组件包括电机，电机的一端固定连接有转轴一，转轴一的一端固定连接有锥齿轮一，转轴一的表面固定连接有转轮一。

7、优选地，锥齿轮一的表面啮合连接有锥齿轮二，锥齿轮二的表面固定连接有搅拌杆，搅拌杆的表面固定连接有三个相同的固定套，三个固定套的表面固定连接有搅拌叶。

8、优选地，转轮一的表面滑动连接有皮带一。

9、优选地，传动组件包括转轴二，转轴二的表面固定连接有转轮二，转轮二的表面滑动连接有皮带一，转轴二的表面固定连接有转轮三，转轮三的表面滑动连接有皮带二，皮带二的一端滑动连接有转轮四，转轮四的表面固定连接有转轴三。

10、优选地，外壳的表面固定连接有两个相同的支撑柱，两个支撑柱的表面滑动连接有连接杆，连接杆的表面固定连接有传动板，传动板的表面开设有限位槽，限位槽的表面滑动连接有限位块，限位块的表面固定连接有转盘，转盘固定连接于转轴三的表面，连接杆的一端固定连接于盘热管的表面。

11、优选地，外壳的表面开设有进液口，外壳的表面开设有出液口，外壳的表面开设有凹槽，凹槽的表面固定连接有循环泵，循环泵的表面固定连接有传输管，传输管的一端固定连接有进液口，传输管的另一端固定连接有出液口。

12、本实用新型至少具备以下有益效果：

13、搅拌组件中的搅拌杆带动搅拌叶对系统中的特殊液体进行搅拌，搅拌组件给传动组件的运行提供动力，传动组件能够带动盘热管在系统中作幅度较小的上下运动，使得系统中的特殊液体的受热温度分布的更加均匀。搅拌组件和传动组件能够保持特殊液体的恒温控制系统中的特殊液体分布均匀，增加了该系统的热响应性能，使该系统能够快速的响应外部的变化，并保持特殊液体的稳定温度，从而会提高对半导体晶圆操作的精度和结果准确性。

技术特征：

1.特殊液体的恒温控制系统，包括：外壳(1)，所述外壳(1)的内部设置有盘热管(2)；

2.根据权利要求1所述的特殊液体的恒温控制系统，其特征在于：所述转轮一(8)的表面滑动连接有皮带一(13)。

3.根据权利要求1所述的特殊液体的恒温控制系统，其特征在于：所述外壳(1)的表面固定连接有两个相同的支撑柱(20)，两个所述支撑柱(20)的表面滑动连接有连接杆(21)，所述连接杆(21)的表面固定连接有传动板(22)，所述传动板(22)的表面开设有限位槽(23)，所述限位槽(23)的表面滑动连接有限位块(24)，所述限位块(24)的表面固定连接有转盘(25)，所述转盘(25)固定连接于所述转轴三(19)的表面，所述连接杆(21)的一端固定连接于所述盘热管(2)的表面。

4.根据权利要求1所述的特殊液体的恒温控制系统，其特征在于：所述外壳(1)的表面开设有进液口(26)，所述外壳(1)的表面开设有出液口(27)，所述外壳(1)的表面开设有凹槽(28)，所述凹槽(28)的表面固定连接有循环泵(29)，所述循环泵(29)的表面固定连接有传输管(30)，所述传输管(30)的一端固定连接有所述进液口(26)，所述传输管(30)的另一端固定连接有所述出液口(27)。

技术总结本技术涉及恒温技术领域，具体公开了特殊液体的恒温控制系统，包括：外壳，外壳的内部设置有盘热管；搅拌组件，搅拌组件设置在外壳的表面，搅拌组件对系统中的特殊液体进行搅拌；传动组件，传动组件设置在搅拌组件的侧面，传动组件对外壳中的盘热管作幅度较小的上下移动，使盘热管周围的特殊液体受热更加均匀搅拌组件包括电机，电机的一端固定连接有转轴一，转轴一的一端固定连接有锥齿轮一，转轴一的表面固定连接有转轮一。搅拌组件和传动组件能够保持特殊液体的恒温控制系统中的特殊液体分布均匀，增加了该系统的热响应性能，并保持特殊液体的稳定温度，从而会提高对半导体晶圆操作的精度和结果准确性。技术研发人员：钟云强受保护的技术使用者：托普斯（常州）精密机械有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/7/9