一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统的制作方法

本技术涉及半导体生产，尤其涉及一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统。

背景技术：

1、超高流量气体供应设备bsgs主要应用于半导体等产业中，为工艺机台输送工艺气体。一般地，需要在超高流量气体供应设备bsgs设置前置吹扫箱，用于在装载特殊气体的钢瓶或槽车消耗殆尽时，更换钢瓶或槽车时，将原来管路中的残余特殊气体吹扫干净的设备。

2、然而，槽车是一种具有超高容量装载特殊气体能力的容器，但其同时又具有体积巨大，占地空间大，气源不稳定等问题，目前并没有大规模使用。

3、为了解决无法使用槽车进行特殊气体供应的问题，中国实用新型专利cn214369312u公开了一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱。通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求。然而，该技术方案仍存在如下缺陷：

4、1）没有设置主动泄压的结构，只适用于大容量钢瓶的特殊气体输送，无法适用于槽车系统的特殊气体输送；

5、2）工艺气体和吹扫气体采用同一出口排放，导致尾气处理工序的压力较大；

6、3）测试系统设计不合理，对气源气体进行测试，而不是对特殊气体超高流量输送设备进行调压后的供应气体进行测试，对实际生产的帮助意义不大；

7、4）没有对吹扫气体和保压气体进行区分，导致吹扫保压效果较差。

8、目前针对相关技术中存在的吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题，尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

3、第一方面，提供一种前置吹扫箱，用于槽车输送特殊气体，包括：

4、气体供应模块，所述气体供应模块分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通，用于从槽车获取特殊气体以及传输特殊气体至特殊气体输送供应设备；

5、低压吹扫模块，所述低压吹扫模块与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行低压吹扫；

6、高压保压模块，所述高压保压模块与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行高压保压；

7、负压模块，所述负压模块与所述气体供应模块连通，用于向所述气体供应模块进行提供负压；

8、第一排放模块，所述第一排放模块与所述负压模块连通，用于排放特殊气体；

9、第二排放模块，所述第二排放模块与所述负压模块连通，用于排放吹扫气体、保压气体。

10、在其中的一些实施例中，所述气体供应模块包括：

11、气体供应管路，所述气体供应管路分别与槽车、特殊气体输送供应设备连通；

12、第一控制阀，所述第一控制阀设置于所述气体供应管路，并靠近所述气体供应管路的输入端设置，用于控制所述气体供应管路的开闭；

13、第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述气体供应管路，并靠近所述气体供应管路的输出端设置，用于控制所述气体供应管路的开闭。

14、在其中的一些实施例中，所述低压吹扫模块包括：

15、低压吹扫管路，所述低压吹扫管路与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行低压吹扫；

16、微漏阀，所述微漏阀设置于所述低压吹扫管路，并靠近所述低压吹扫管路的输入端设置；

17、第一单向阀，所述第一单向阀设置于所述低压吹扫管路，并位于所述微漏阀的下游；

18、第三控制阀，所述第三控制阀设置于所述低压吹扫管路，并位于所述第一单向阀的下游，用于控制所述低压吹扫管路的开闭。

19、在其中的一些实施例中，所述高压保压模块包括：

20、高压保压管路，所述高压保压管路与所述气体供应模块连通，用于对所述气体供应模块进行高压保压；

21、第四控制阀，所述第四控制阀设置于所述高压保压管路，并靠近所述高压保压管路的输入端设置；

22、第二单向阀，所述第二单向阀设置于所述高压保压管路，并位于所述第四控制阀的下游。

23、在其中的一些实施例中，所述负压模块包括：

24、负压管路，所述负压管路与所述气体供应模块连通；

25、真空发生器，所述真空发生器设置于所述负压管路，用于向所述气体供应模块进行提供负压；

26、第五控制阀，所述第五控制阀设置于所述负压管路，并位于所述真空发生器的上游，用于控制所述负压管路的开闭；

27、第三单向阀，所述第三单向阀设置于所述负压管路，并位于所述第五控制阀的上游；

28、第六控制阀，所述第六控制阀设置于所述负压管路，并位于所述第三单向阀的上游。

29、在其中的一些实施例中，所述第一排放模块包括：

30、第一排放管路，所述第一排放管路与所述负压模块连通，用于排放特殊气体；

31、第七控制阀，所述第七控制阀设置于所述第一排放管路，用于控制所述第一排放管路的开闭。

32、在其中的一些实施例中，所述第一排放模块还包括：

33、第八控制阀，所述第八控制阀设置于所述第一排放管路，用于控制所述第一排放管路的开闭。

34、在其中的一些实施例中，所述第二排放模块包括：

35、第二排放管路，所述第二排放管路与所述负压模块连通，用于排放吹扫气体、保压气体；

36、第九控制阀，所述第九控制阀设置于所述第二排放管路，用于控制所述第二排放管路的开闭。

37、在其中的一些实施例中，所述第二排放模块还包括：

38、第十控制阀，所述第十控制阀设置于所述第二排放管路，用于控制所述第二排放管路的开闭。

39、在其中的一些实施例中，还包括：

40、泄压模块，所述泄压模块分别与所述气体供应模块、所述负压模块连通，用于泄压。

41、在其中的一些实施例中，所述泄压模块包括：

42、泄压管路，所述泄压管路分别与所述气体供应模块、所述负压模块连通，用于泄压；

43、第十一控制阀，所述第十一控制阀设置于所述泄压管路，用于控制所述泄压管路的开闭；

44、泄压阀，所述泄压阀设置于所述泄压管路，并位于所述第十一控制阀的下游；

45、第四单向阀，所述第四单向阀设置于所述泄压管路，并位于所述泄压阀的下游。

46、在其中的一些实施例中，还包括：

47、安全保障模块，所述安全保障模块设置于所述前置吹扫箱，用于监测环境信息。

48、在其中的一些实施例中，所述安全保障模块包括：

49、烟雾监测器，所述烟雾监测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境的烟雾信息；

50、喷淋器，所述喷淋器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于向环境喷淋液体；

51、鼓风器，鼓风器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于将环境的气体排出；

52、紫外红外火焰探测器，所述紫外红外火焰探测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境中是否存在明火；

53、温度监测器，所述温度监测器设置于所述前置吹扫箱所处环境的顶部，用于监测环境的温度。

54、第二方面，提供一种特殊气体输送供应系统，包括：

55、如第一方面所述的前置吹扫箱；

56、特殊气体输送供应设备，所述特殊气体输送供应设备与所述前置吹扫箱连通，用于获取所述前置吹扫箱传输的特殊气体以及供应特殊气体至工艺腔室。

57、第三方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

58、如第一方面所述的前置吹扫箱。

59、第四方面，提供一种半导体工艺系统，包括：

60、如第二方面所述的特殊气体输送供应系统。

61、本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

62、本实用新型的一种前置吹扫箱、特殊气体输送供应系统及半导体工艺系统，设置第一排放模块和第二排放模块，对特殊气体、吹扫气体、保压气体进行区分，使得被排放的特殊气体输送至气体处理设备、吹扫气体和保压气体直接排放，对气体排放进行分区控制，降低后续气体处理的成本，减少环境污染；设置低压吹扫模块和高压保压模块，以使低压吹扫管路与高压保压管路分离，保护管路，提高生产效率；无须设置气体检测分析结构，降低不必要的成本；设置泄压模块对前置吹扫箱进行物理泄压，对槽车系统进行保护。