一种镀膜电源电路的制作方法

本发明涉及磁控溅射电源，特别涉及一种镀膜电源电路。

背景技术：

1、在真空磁控溅射镀膜工艺过程中，通常因镀膜材料质量差、溅镀功率设置不合理的原因，导致在发生镀膜的真空腔体内会出现打弧现象，电弧出现时电路中的电流不正常升高，常常是正常工作电流的数倍，电源接近短路状态，严重影响电源内部电路的元件安全。随着镀膜工艺不断发展，对灭弧的速度和灭弧是否彻底提出了更高的要求。

2、目前，通常在电源电路上加入储能元件吸收电弧能量，对电弧进行抑制。例如，在电源内部加入电容元件，电容充电吸收电路中电弧能量，或在电源电路中串联大容量的电感，吸收能量，来抑制弧电流对电源的冲击。但是，在电源断开的瞬间，电容或电感释放能量，会产生更强的弧光，威胁电源的安全，打弧现象更加频繁，镀膜几乎不能正常进行，镀膜质量受到很大影响。

3、现有技术中部分电路在抑制电弧电路中加入耗能元件，消耗能量，但绝大多数的电弧抑制电路或吸收电弧只有一个，需要周期性循环消耗，难以满足对电源灭弧的高效、彻底的需求。

4、基于现有技术中的问题，本发明提供一种镀膜电源电路。

技术实现思路

1、本发明目的是：提供一种镀膜电源电路，以解决现有技术中，电源灭弧电路效率不高和灭弧效果不彻底的技术问题。

2、本发明的技术方案是：一种镀膜电源电路，包括供电单元，在所述供电单元的输出端上串联有第一线感组，所述供电单元的输出端和电源输出端之间并联有第一续流支路和第二续流支路，所述供电单元的输出端连接电源输出端的主干路上串联有电源开关件；所述电源输出端通过串联第二线感组连接负载；

3、所述第一续流支路与第二续流支路中均设置有支路开关件；

4、在所述电源开关件闭合，且所述支路开关件均断开状态下，所述供电单元的输出经由所述第一线感组和所述第二线感组向负载供电，进行镀膜；

5、在所述支路开关件均闭合，且所述电源开关件断开状态下，在所述电源开关件两侧形成两个网络吸收回路，用以同步消耗网络吸收回路中的电弧能量。

6、优选的，所述第一续流支路和所述第二续流支路均至少包括用于控制支路开闭的开关件，以及用于消耗电路能量的耗能元件，且所述第一续流支路和所述第二续流支路上的开关件同步开启。

7、优选的，所述第一续流支路对所述第一线感组续流，由所述供电单元，所述第一续流支路及所述第一线感组构成第一能量吸收回路，通过所述第一续流支路中的第一耗能元件吸收消耗回路中的能量；

8、所述第二续流支路对所述第二线感组续流，由负载，所述第二线感组及所述第二续流支路构成第二能量吸收回路，通过所述第二续流支路中的第二耗能元件吸收消耗回路中的能量。

9、优选的，所述第一线感组包括第一线感和第二线感，所述第一线感和所述第二线感分别串接于所述供电单元的输出正、负极上；

10、所述第一续流支路包括串联的第一开关件和所述第一耗能元件，所述第一开关件的一端并联接入所述第一线感和所述电源输出正极之间，所述第一耗能元件的一端并联接入所述第二电感和所述电源输出负极之间。

11、优选的，所述第二线感组包括第三线感和第四线感，所述第三线感和所述第四线感分别串接于所述电源输出正、负极上；

12、所述第二续流支路包括并联的吸收电路和开关电路；

13、所述吸收电路和所述开关电路的一侧公共端并联接入所述第一线感和所述电源输出正极之间，所述吸收电路和所述开关电路的另一侧公共端并联接入所述第二线感和所述电源负极之间。

14、优选的，所述吸收电路包括二极管、电容以及所述第二耗能元件；

15、所述二极管和第二耗能元件并联且并联的一公共端与所述电容一端串联，所述电容的另一端以及所述二极管和第二耗能元件并联的另一公共端分别接入所述电源输出正、负极上。

16、优选的，所述第一耗能元件和所述第二耗能元件均采用电阻。

17、优选的，所述电源开关件、第一开关件以及第二开关件分别采用包括功率开关管，mos管，i gbt器件，机械开关件中的其中一种；

18、所述电源开关件、第一开关件以及第二开关件与控制系统连接，根据负载的镀膜状态，受控开启或断开。

19、与现有技术相比，本发明的优点是：

20、本发明通过在供电单元输出端和电源输出端之间串联接入电源开关件，在发现电弧时，通过断开电源开关件，快速关断电源输出。在供电输出端和电源输出端上分别串联有线感，能够吸收更多的电弧能量，有效抑制弧电流，保护电源。

21、基于快速关断电源输出和电感抑制弧电流，在供电单元输出端上并联第一续流支路，在电源输出端上并联接入第二续流支路，第一续流支路和供电单元及其串联的线感构成第一能量吸收回路，第二续流支路和电源输出端及其串联的线感构成第二能量吸收回路，电源开关件两侧的网络回路，分别给对应的电感续流，保持电路电流稳定变化，且同步吸收能量，能够快速吸收电源内部滤波回路以及线感暂存的能量，提高了灭弧效率且灭弧更彻底，保证电源的安全性和稳定性。

技术特征：

1.一种镀膜电源电路，其特征在于，包括供电单元，在所述供电单元的输出端上串联有第一线感组，所述供电单元的输出端和电源输出端之间并联有第一续流支路和第二续流支路，所述供电单元的输出端连接电源输出端的主干路上串联有电源开关件；所述电源输出端通过串联第二线感组连接负载；

2.根据权利要求1所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述第一续流支路和所述第二续流支路均至少包括用于控制支路开闭的开关件，以及用于消耗电路能量的耗能元件，且所述第一续流支路和所述第二续流支路上的开关件同步开启。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述第一续流支路对所述第一线感组续流，由所述供电单元，所述第一续流支路及所述第一线感组构成第一能量吸收回路，通过所述第一续流支路中的第一耗能元件吸收消耗回路中的能量；

4.根据权利要求3所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述第一线感组包括第一线感和第二线感，所述第一线感和所述第二线感分别串接于所述供电单元的输出正、负极上；

5.根据权利要求4所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述第二线感组包括第三线感和第四线感，所述第三线感和所述第四线感分别串接于所述电源输出正、负极上；

6.根据权利要求5所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述吸收电路包括二极管、电容以及所述第二耗能元件；

7.根据权利要求3所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述第一耗能元件和所述第二耗能元件均采用电阻。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜电源电路，其特征在于，所述电源开关件、第一开关件以及第二开关件分别采用包括功率开关管，mos管，i gbt器件，机械开关件中的其中一种；

技术总结本发明涉及磁控溅射电源技术领域，具体涉及一种镀膜电源电路，通过在供电单元输出端和电源输出端之间串联接入电源开关件，在发现电弧时，通过断开电源开关件，快速关断电源输出；在供电输出端和电源输出端上分别串联有线感，线感能够吸收电弧能量，抑制电路中电弧能量，保护电源；在供电单元输出端上并联第一续流支路，在电源输出端上并联接入第二续流支路，第一续流支路和供电单元及其串联的线感形成第一能量吸收电路，第二续流支路和电源输出端及其串联的线感形成第二能量吸收电路，电源开关件两侧的网络回路同步吸收能量，能够快速吸收电源内部滤波回路以及线感上存储的能量，实现快速灭弧，保证电源的安全性和稳定性。技术研发人员：肖飞,顾学管,周平受保护的技术使用者：苏州四通恒升电源科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29